【技术实现步骤摘要】
本技术涉及喷涂设备,具体地说,涉及一种光刻胶喷涂装置。
技术介绍
1、光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用,印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域,在现有技术条件下,光刻胶喷涂工作需要人工手动完成,工作效率低,工作人员劳动强度大,给光刻胶喷涂工作带来较大影响,鉴于此,针对上述问题深入研究,遂有本案产生。
2、中国专利申请号为cn201921819685.7提出的一种光刻胶喷涂设备,其结构包括喷涂台,所述喷涂台上设置有固定架,所述固定架上设置有推动器,所述推动器的下端设置有推动杆,所述推动杆的下端设置有装置箱,本技术实现了对光刻胶喷涂后进行烘干,加快了光刻胶喷涂后干燥的速度,提高了光刻胶喷涂设备的工作效率。
3、申请人在实施上述方案时发现以下不足
4、1、该装置在使用途中,由于未设置能进行工件夹持的装置,从而在进行光刻胶喷涂过程中,易出现光刻胶喷涂出现偏移的情况,从而造成工件的损坏,进而降低了装置的实用性。
5、2、该装置在使用过程中,无法进行工具的放置,从而对于不经常使用的工具无法进行放置,该装置在使用喷涂过程中无法进行喷涂头的移动,进而在装置喷涂过程中,无法根据工件的具体情况进行有效的喷涂位置调节,进而降低了装置的实用性。
技术实现思路
1、本为实现上述目的,本技术提供如下技术方案,一种光刻胶喷涂装置,包括支撑箱体,所述支撑箱体的底部固定连接有支
2、作为优选方案,所述支撑箱体的顶部固定连接有放置板,所述支撑箱体的顶部固定连接有保护壳体,所述保护壳体的一侧安装有保护门,所述保护壳体与保护门通过铰链进行铰接,通过设置保护门,有利于对于装置内部保护的同时进行装置的打开。
3、作为优选方案,所述保护门的内部开设有观察窗,所述保护门的一侧固定连接有门把手,所述保护壳体的底部固定连接有顶部套筒。
4、作为优选方案,所述顶部套筒的内部套接有伸缩杆,所述伸缩杆的底部固定连接有顶板,所述顶板的底部固定安装有驱动电机,通过设置伸缩杆有利于装置进行高度的调节。
5、作为优选方案,所述驱动电机的一侧安装有轴承,所述轴承的外围套接有固定套筒,所述顶板的底部固定连接有限位板。
6、作为优选方案,所述轴承的一侧固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外围安装有移动块,所述移动块的底部安装有喷涂头,通过设置移动块有利于装置进行水平移动。
7、作为优选方案,所述放置板的顶部固定连接有承重板,所述承重板的内部开设有滑槽,所述滑槽的内部滑动连接有滑板,所述承重板的顶部固定连接有工作台。
8、作为优选方案,所述滑板的内部螺纹连接有旋转手柄,所述滑板与工作台通过旋转手柄进行活动连接,所述滑板的一侧固定连接有推动板,所述推动板的一侧固定连接有挤压板,通过设置挤压板,有利于装置进行工件喷涂时的挤压。
9、有益效果
10、与现有技术相比,本技术提供了一种光刻胶喷涂装置,具备以下有益效果:
11、1、本装置通过转动旋转手柄,使滑板在承重板内部开设的滑槽内部滑动,由于滑板与推动板进行固定连接,进而实现推动板的水平移动,通过推动板与挤压板的固定连接,便于实现推动板推动挤压板进行水平移动,从而实现了挤压板对于工件的夹紧,便于对工件的固定,有利于提高了装置的实用性。
12、2、本装置通过驱动电机带动轴承,在限位板内部套接的固定套筒内部进行旋转,由于轴承与螺纹杆进行安装,从而实现螺纹杆的旋转,通过螺纹杆外围安装的移动块,便于实现螺纹杆转动时带动移动块进行移动,进而实现移动块带动喷涂头进行移动,实现了对装置喷涂位置的确定,有利于提高装置的实用性。
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1.一种光刻胶喷涂装置,包括支撑箱体(1),其特征在于:所述支撑箱体(1)的底部固定连接有支撑柱(2),所述支撑柱(2)的底部固定连接有固定板(3),所述固定板(3)的内部螺纹连接有固定螺丝(4),所述支撑箱体(1)的内部开设有收纳槽(5),所述收纳槽(5)的内部固定连接有分隔板(6),所述收纳槽(5)的一侧安装有盖板(7),所述盖板(7)的一侧铰接有铰链(8),所述支撑箱体(1)与盖板(7)通过铰链(8)进行铰接,所述盖板(7)的一侧固定连接有握把(9),所述支撑箱体(1)的内部开设有放置槽(10)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶喷涂装置,其特征在于:所述支撑箱体(1)的顶部固定连接有放置板(11),所述支撑箱体(1)的顶部固定连接有保护壳体(12),所述保护壳体(12)的一侧安装有保护门(13),所述保护壳体(12)与保护门(13)通过铰链(8)进行铰接。
3.根据权利要求2所述的一种光刻胶喷涂装置,其特征在于:所述保护门(13)的内部开设有观察窗(14),所述保护门(13)的一侧固定连接有门把手(15),所述保护壳体(12)的底部固定连接有顶部
4.根据权利要求3所述的一种光刻胶喷涂装置,其特征在于:所述顶部套筒(16)的内部套接有伸缩杆(17),所述伸缩杆(17)的底部固定连接有顶板(18),所述顶板(18)的底部固定安装有驱动电机(19)。
5.根据权利要求4所述的一种光刻胶喷涂装置,其特征在于:所述驱动电机(19)的一侧安装有轴承(20),所述轴承(20)的外围套接有固定套筒(21),所述顶板(18)的底部固定连接有限位板(22)。
6.根据权利要求5所述的一种光刻胶喷涂装置,其特征在于:所述轴承(20)的一侧固定连接有螺纹杆(23),所述螺纹杆(23)的外围安装有移动块(24),所述移动块(24)的底部安装有喷涂头(25)。
7.根据权利要求2所述的一种光刻胶喷涂装置,其特征在于:所述放置板(11)的顶部固定连接有承重板(26),所述承重板(26)的内部开设有滑槽(27),所述滑槽(27)的内部滑动连接有滑板(28),所述承重板(26)的顶部固定连接有工作台(29)。
8.根据权利要求7所述的一种光刻胶喷涂装置,其特征在于:所述滑板(28)的内部螺纹连接有旋转手柄(30),所述滑板(28)与工作台(29)通过旋转手柄(30)进行活动连接,所述滑板(28)的一侧固定连接有推动板(31),所述推动板(31)的一侧固定连接有挤压板(32)。
...【技术特征摘要】
1.一种光刻胶喷涂装置,包括支撑箱体(1),其特征在于:所述支撑箱体(1)的底部固定连接有支撑柱(2),所述支撑柱(2)的底部固定连接有固定板(3),所述固定板(3)的内部螺纹连接有固定螺丝(4),所述支撑箱体(1)的内部开设有收纳槽(5),所述收纳槽(5)的内部固定连接有分隔板(6),所述收纳槽(5)的一侧安装有盖板(7),所述盖板(7)的一侧铰接有铰链(8),所述支撑箱体(1)与盖板(7)通过铰链(8)进行铰接,所述盖板(7)的一侧固定连接有握把(9),所述支撑箱体(1)的内部开设有放置槽(10)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶喷涂装置,其特征在于:所述支撑箱体(1)的顶部固定连接有放置板(11),所述支撑箱体(1)的顶部固定连接有保护壳体(12),所述保护壳体(12)的一侧安装有保护门(13),所述保护壳体(12)与保护门(13)通过铰链(8)进行铰接。
3.根据权利要求2所述的一种光刻胶喷涂装置,其特征在于:所述保护门(13)的内部开设有观察窗(14),所述保护门(13)的一侧固定连接有门把手(15),所述保护壳体(12)的底部固定连接有顶部套筒(16)。
4.根据权利要求3所述的一种光刻胶喷涂装置,其特征在于:所述顶部套筒(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:安礼余,王定国,
申请(专利权)人:宇弘研科技苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:
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