【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及用于检测流体流动管道中的材料沉积物的传感器。
技术介绍
1、本部分中的说明仅提供与本公开相关的背景信息，可能不构成现有技术。
2、半导体处理系统通常包括处理腔室和多个流体流动管道，通过这些流体流动管道将处理气体供应至处理腔室内，并且通过这些流体流动管道将处理气体从处理腔室移除。随着时间的推移，沉积物可能积聚在流体流动管道内。沉积物的过度积聚会抑制流体流动，并且导致堵塞和/或系统问题。为了监测流体流动管道内的沉积物，可以在流体流动管道中插入一个或多个观测仪器或摄像机。然而，流体流动管道的几何形状和/或沉积物的几何形状可能抑制一个或多个观测仪器/摄像机准确地检测沉积物积聚。
3、本公开解决了与监测流体流动管道内的沉积物积聚有关的这些问题。
技术实现思路
1、本部分提供了本公开的总体概述，并非对其全部范围或其所有特征的全面公开。
2、本公开提供了一种用于检测流体流动管道中的材料沉积物的传感器。该传感器包括主体和设置于主体内的成对温度传感器的阵列，其中每对温度传感器沿流体流动管道的主要流动方向间隔开一定距离。
3、在一些形式中，传感器还包括固定至主体的外部部分的加热器。
4、在一些形式中，传感器还包括与加热器可操作地接合的温度传感器。
5、在一些形式中，传感器还包括设置于加热器上的绝缘构件。
6、在一些形式中，加热器限定了与主体的外部部分的几何形状相匹配的几何形状。
7、在一些形式中，
8、在一些形式中，主体为选自于包括氮化铝(aluminum nitride，aln)和氮化硼(boron nitride)的组的材料。
9、在一些形式中，温度传感器选自于包括热电偶、电阻式温度检测器(rtd)、热敏电阻和集成电路温度变换器的组。
10、在一些形式中，主体限定了多个内部孔，并且每对温度传感器的温度传感器设置于多个内部孔中的一个内部孔内。
11、在一些形式中，多个内部孔的至少一部分设置于主体的内部部分。
12、在一些形式中，内部孔沿主要流动方向纵向延伸。
13、在一些形式中，内部孔垂直于主要流动方向横向延伸。
14、在一些形式中，至少一些温度传感器在内部孔内是弹簧承载的。
15、在一些形式中，传感器还包括固定至主体的外部部分的散热器。
16、在一些形式中，传感器还包括安装装置，用于将主体固定至管道。
17、在一些形式中，安装装置为支架组件和带夹组件之一。
18、本公开提供了一种检测流体流动管道中的材料沉积物的方法。该方法包括：从设置于流体流动管道附近的成对温度传感器的阵列来检测温度，监测成对温度传感器的阵列随时间的温度差异，并且基于温度差异确定材料沉积物的存在。
19、在一些形式中，该方法还包括：在成对温度传感器的阵列附近主动施加热量。
20、本公开提供了一种检测流体流动管道中的材料沉积物的方法。该方法包括：检测沿流体流动管道的第一位置处的第一温度，并且检测沿流体流动管道的第二位置处的第二温度，其中第二位置与第一位置纵向间隔开一定距离。该方法包括：监测第一温度和第二温度之间随时间的温差，并且基于温差确定材料沉积物的存在。
21、在一些形式中，第一温度由第一双线加热器来检测，第二温度由第二双线加热器来检测。
22、在一些形式中，第一温度由第一温度传感器来检测，第二温度由第二温度传感器来检测。
23、在一些形式中，该方法还包括：在第一位置和第二位置附近施加热量。
24、在一些形式中，该方法还包括：检测沿流体管道的附加温度，监测附加温度之间的温差，并且基于附加温差确定材料沉积物的存在。
25、一种用于检测流体流动管道中的材料沉积物的系统，包括用于检测流体流动管道中的材料沉积物的传感器。该传感器包括主体和设置于主体内的成对温度传感器的阵列，其中每对温度传感器沿流体流动管道的主要流动方向间隔开一定距离。该系统包括用于将传感器固定至流体流动管道的安装工具。该系统包括计算装置，该计算装置被配置成从成对温度传感器的阵列来确定温度，监测成对温度传感器的阵列随时间的热响应差异，并且基于热响应差异确定材料沉积物的存在。该系统包括堵塞指示工具。
26、在一些形式中，该系统还包括设置于传感器附近的加热器以及与加热器连通的控制器，其中控制器激活加热器以产生辅助热量，用于主动检测材料沉积物。
27、在一些形式中，计算装置被配置成向成对温度传感器的阵列提供脉冲功率，从而产生热量以主动检测材料沉积物。
28、从本文提供的描述中，进一步的适用范围将变得明显。应当理解，描述和具体示例仅旨在说明的目的，而不旨在限制本公开的范围。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于检测流体流动管道中的材料沉积物的传感器，其特征在于，所述传感器包括：
2.根据权利要求1所述的传感器，其中，所述传感器还包括固定至所述主体的外部部分的加热器。
3.根据权利要求2所述的传感器，其中，所述传感器还包括与所述加热器可操作地接合的温度传感器。
4.根据权利要求2所述的传感器，其中，所述传感器还包括设置于所述加热器上的绝缘构件。
5.根据权利要求2所述的传感器，其中，所述加热器限定了与所述主体的所述外部部分的几何形状相匹配的几何形状。
6.根据权利要求1所述的传感器，其中，所述主体限定了内部部分，所述内部部分具有与所述管道的外部几何形状相匹配的几何轮廓。
7.根据权利要求1所述的传感器，其中，所述主体为选自于包括氮化铝AlN和氮化硼的组的材料。
8.根据权利要求1所述的传感器，其中，所述温度传感器选自于包括热电偶、电阻式温度检测器RTD、热敏电阻和集成电路温度变换器的组。
9.根据权利要求1所述的传感器，其中，所述主体限定了多个内部孔，并且每对温度传感器中的每个温度
10.根据权利要求9所述的传感器，其中，所述多个内部孔的至少一部分设置于所述主体的内部部分。
11.根据权利要求9所述的传感器，其中，所述内部孔沿所述主要流动方向纵向延伸。
12.根据权利要求9所述的传感器，其中，所述内部孔垂直于所述主要流动方向横向延伸。
13.根据权利要求12所述的传感器，其中，所述温度传感器中的至少一些在所述内部孔内是弹簧承载的。
14.根据权利要求1所述的传感器，其中，所述传感器还包括固定至所述主体的外部部分的散热器。
15.根据权利要求1所述的传感器，其中，所述传感器还包括用于将所述主体固定至所述管道的安装装置。
16.根据权利要求15所述的传感器，其中，所述安装装置为支架组件和带夹组件中的一者。
17.一种用于检测流体流动管道中的材料沉积物的系统，其特征在于，所述系统包括：
18.根据权利要求17所述的系统，其中，所述系统还包括：
19.根据权利要求17所述的系统，其中，所述计算装置被配置成向所述成对温度传感器的阵列提供脉冲功率，从而产生热量以主动检测所述材料沉积物。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于检测流体流动管道中的材料沉积物的传感器，其特征在于，所述传感器包括：
2.根据权利要求1所述的传感器，其中，所述传感器还包括固定至所述主体的外部部分的加热器。
3.根据权利要求2所述的传感器，其中，所述传感器还包括与所述加热器可操作地接合的温度传感器。
4.根据权利要求2所述的传感器，其中，所述传感器还包括设置于所述加热器上的绝缘构件。
5.根据权利要求2所述的传感器，其中，所述加热器限定了与所述主体的所述外部部分的几何形状相匹配的几何形状。
6.根据权利要求1所述的传感器，其中，所述主体限定了内部部分，所述内部部分具有与所述管道的外部几何形状相匹配的几何轮廓。
7.根据权利要求1所述的传感器，其中，所述主体为选自于包括氮化铝aln和氮化硼的组的材料。
8.根据权利要求1所述的传感器，其中，所述温度传感器选自于包括热电偶、电阻式温度检测器rtd、热敏电阻和集成电路温度变换器的组。
9.根据权利要求1所述的传感器，其中，所述主体限定了多个内部孔，并且每对温度传感器中的每个温度传感器设置于所述多个内部孔中的一个内部孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：约翰·里尔兰，格兰特·布鲁尔，郑力，特里·马德森，章三红，米兰达·皮泽拉，
申请(专利权)人：沃特洛电气制造公司，
类型：新型
国别省市：
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