【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池镀膜工艺，尤其涉及一种改善镀膜均匀性的进气装置。
技术介绍
1、在晶体硅太阳能电池的生产过程中，需要在电池表面制作能够减少光在硅片表面反射率的减反射膜，膜层也起到钝化作用，可以显著提高晶体硅太阳能电池的转化效率。目前的晶体硅太阳能电池生产中制作减反射膜的设备一般采用管式镀膜设备，在制作减反射膜的过程中，工艺气体均采用沉积腔一端进气，另一端抽气的输送方式。
2、但是，管式镀膜设备在进气的过程中大都不均匀，导致镀膜的均匀性不好，在实验过程中发现从炉口至炉尾，膜厚逐渐下降，这与镀膜进气的方式有关，炉口靠近进气管，炉口远离进气管，气体压力不够，沉积的厚度较低，不良片产生的几率较大。可以通过增加特殊气体含量以及增加时间的方法来使炉内气氛达到一致，但这会损失一部分产能以及增加成本，不利于降本增效。
技术实现思路
1、技术目的
2、针对现有的晶体硅太阳能电池减反射膜镀膜均匀性差的问题，本技术提供了一种改善镀膜均匀性的进气装置。
3、技术方案
4、为实现以上目的，本技术采取了以下技术方案。
5、一种改善镀膜均匀性的进气装置，包括镀膜炉、进气管、进气盒、真空泵和控制系统。镀膜炉的外壁上设置有入料口和取料口，镀膜炉的一端设置有氮气进气口，氮气进气口上设置有压力阀，另一端设置有镀膜炉出气口，真空泵安装于镀膜炉的外壁上，真空泵的抽气口与镀膜炉出气口紧密连接，镀膜炉外壁上还设置有特殊气体进气口，进气盒安装于镀膜炉的外壁上，进气盒
6、初始状态下，控制系统命令氮气进气口上的压力阀导通，向镀膜炉内导入氮气，此时真空泵工作吸出空气，一定时间待环境稳定后控制系统命令关闭压力阀并停止真空泵的工作。此后，控制系统命令进气管所有气孔上的电控阀关闭，只打开末端最后一个电控阀并通过进气盒导入特殊气体，多种特殊气体分别通过特殊气体输入口进入进气盒，并通过同一个特殊气体输出口后经过特殊气体进气口进入镀膜炉中的进气管腔内。一定时间后控制系统关闭所有电控阀并持续导入特殊气体，待进气管中的气压传感器检测到合适的气压后由控制系统命令所有电控阀同时打开、执行镀膜操作。
7、进一步地，进气管系单管结构，进气管沿着镀膜管的长度方向环绕延伸，进气管的相邻圈环紧密贴靠。
8、进一步地，进气管包括第一支管、第二支管和主干管，第一支管和第二支管各自从主干管的末端分出，第一支管和第二支管从镀膜管的一端开始沿着镀膜管的长度方向环绕延伸，第一支管和第二支管的起始端位于以镀膜管为圆心的圆的直径两端，第一支管和第二支管从各自的起始端开始同时沿相同方向螺旋延伸。
9、有益效果
10、本申请提供了一种改善镀膜均匀性的进气装置，通过合理设置进气管的形状结构，有效改善了炉内气体的分布，增加镀膜均匀性，提高了产品的性能稳定性。
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1.一种改善镀膜均匀性的进气装置，其特征在于：包括镀膜炉、进气管、进气盒、真空泵和控制系统；
2.根据权利要求1所述的一种改善镀膜均匀性的进气装置，其特征在于：所述进气管系单管结构，进气管沿着镀膜管的长度方向环绕延伸，进气管的相邻圈环紧密贴靠。
3.根据权利要求1所述的一种改善镀膜均匀性的进气装置，其特征在于：所述进气管包括第一支管、第二支管和主干管，第一支管和第二支管各自从主干管的末端分出，第一支管和第二支管从所述镀膜管的一端开始沿着镀膜管的长度方向环绕延伸，第一支管和第二支管的起始端位于以镀膜管为圆心的圆的直径两端，第一支管和第二支管从各自的起始端开始同时沿相同方向螺旋延伸。
【技术特征摘要】
1.一种改善镀膜均匀性的进气装置，其特征在于：包括镀膜炉、进气管、进气盒、真空泵和控制系统；
2.根据权利要求1所述的一种改善镀膜均匀性的进气装置，其特征在于：所述进气管系单管结构，进气管沿着镀膜管的长度方向环绕延伸，进气管的相邻圈环紧密贴靠。
3.根据权利要求1所述的一种改善镀膜...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈竹铁，施忠林，刘闯，张琳琪，陈冬斌，
申请(专利权)人：江苏润阳悦达光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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