【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光刻机精密位移测量系统，具体而言，涉及一种角锥镜调节装置。
技术介绍
1、角锥镜由三个互相垂直的直角面和一个弦面组成。外形相当于由立方体光学玻璃角隅按一定角度切割成的四面体。如果三角面均为准确的90°，则由弦面入射的的光线依次经三个直角面反射后，仍由原光路方向出射，入射光和出射光不会重叠，两者会错开一个位面，在这一过程中，需要保证角锥镜的入射光和参考光的入射面比较精密，严禁触碰及污染，影响光的信号，利用角锥镜的这一特性，将角锥镜应用于光刻机的工件台零位系统中，通过入射光反射记录工件台的实时位置。
2、在光刻机的位置测量系统中，光刻机的工件台相对于基台的位置测量系统采用激光干涉仪。激光干涉仪是一个增量测量系统，只能提供相对位移的精确测量，因此，在利用激光干涉仪进行位置测量之前，需要用角锥镜和零位传感器为激光干涉仪提供一个初始位置，这个位置为绝对参考位置。角锥镜的安装位置的准确性影响零位传感器的检测信息，也会直接影响工件台的绝对参考位置的准确性，对光刻机的工件台的影响较大。现有技术中采用零位传感器和角锥镜为工件台提供绝对参考位置，还存在角锥镜的定位精度不高以及角锥镜的位置调节不可控，导致工件台绝对参考位置准确性偏低的技术问题。
技术实现思路
1、本技术提供一种角锥镜调节装置，用以解决现有技术中存在角锥镜的定位精度不高以及角锥镜的位置调节不可控，导致工件台绝对参考位置准确性偏低的技术问题。
2、一种角锥镜调节装置，应用于光刻机的工件台零位系统，角锥镜调节
3、角锥镜组件，所述角锥镜组件包括角锥镜和安装座，所述安装座的顶端具有容纳所述角锥镜的容纳槽；
4、细调机构，所述细调机构的动力输出端与所述安装座的底端连接，所述细调机构能够带动所述角锥镜分别沿相互垂直的x向、y向和z向移动。
5、本技术提供的角锥镜调节装置，能够实现角锥镜沿x向、y向和z向的细调，一方面，保证角锥镜安装位置的准确性，从而提高工件台绝对参考位置的准确性；另一方面，操作简单方便，提高检测效率；此外，角锥镜调节过程中，不需要操作者直接接触角锥镜，防止对角锥镜的镜面造成污染，减少光路散射。
6、进一步地，所述角锥镜调节装置还包括粗调机构，所述粗调机构设于所述细调机构上，所述粗调机构包括第一连接轴，所述第一连接轴与所述细调机构连接且相对所述细调机构能够沿z向移动，所述第一连接轴的顶端与所述安装座的底端连接；和/或，所述角锥镜调节装置还包括零位传感器和控制器，所述零位传感器用于检测所述角锥镜的位置信息，所述控制器用于根据所述位置信息对所述细调机构进行x向、y向和/或z向调节。
7、本技术提供的角锥镜调节装置，能够实现角锥镜沿z向的粗调，一方面，操作简单方便，提高检测效率；另一方面，可以减少精调机构z向移动量，减小精调机构的结构尺寸；此外，角锥镜粗调过程中，不需要操作者直接接触角锥镜，防止对角锥镜的镜面造成污染，减少光路散射。
8、进一步地，所述粗调机构还包括与所述第一连接轴相垂直的第二连接轴；
9、所述第二连接轴的第一端与所述细调机构连接，所述第二连接轴的第二端与所述第一连接轴滑动连接，以使所述第一连接轴能够沿所述第二连接轴的轴线方向移动，其中，所述第二连接轴的轴线方向与所述y向平行。
10、本技术提供的角锥镜调节装置，实现角锥镜沿靠近工件台的角点方向的粗调。
11、进一步地，所述粗调机构还包括第一连接件，所述第一连接件与所述第一连接轴滑动连接，且与所述第二连接轴的第二端滑动连接。
12、进一步地，所述第一连接件包括第一夹持座和固设于所述第一夹持座的第二夹持座，所述第一连接轴固定夹持于所述第一夹持座，所述第二连接轴固定夹持于所述第二夹持座。
13、本技术提供的角锥镜调节装置，通过采用第一夹持座和第二夹持座分别与第一连接轴和第二连接轴连接，安装结构简单，便于粗调角锥镜的位置。
14、进一步地，所述第二连接轴设有限位凹槽，所述第二夹持座的内壁设有限位凸条，所述限位凸条与所述限位凹槽配合。
15、本技术提供的角锥镜调节装置，通过在第二连接轴和第二夹持座上设置相互配合的限位凸条和限位凹槽，防止第二连接轴沿第二夹持座的内壁转动，且为第二连接轴沿第二夹持座的内壁滑动提供导向。
16、进一步地，所述粗调机构还包括：弧形支撑件和扇形调节件，所述弧形支撑件与所述细调机构连接，所述弧形支撑件的弧面与所述扇形调节件的弧面相适配且抵接，所述第二连接轴固接于所述扇形调节件。
17、本技术提供的角锥镜调节装置，通过设置弧形支撑件和扇形调节件，实现角锥镜的俯仰角度的调节。
18、进一步地，所述粗调机构还包括固接于扇形调节件的所述第二连接件，所述第二连接件与所述第二连接轴的第一端固接；和/或,
19、所述粗调机构还包括第三连接件，所述第三连接件与所述弧形支撑件连接，且所述第三连接件与所述细调机构连接。
20、进一步地，所述细调机构包括第一支架、z向滑台和xy向滑台，所述z向滑台的固定端与所述第一支架连接，所述z向滑台的动力输出端与所述xy向滑台的固定端连接，所述第三连接件与所述xy向滑台的动力输出端连接。
21、本技术提供的角锥镜调节装置，通过设置z向滑台和xy向滑台，实现角锥镜在x向、y向和z向的精调，并锁定位置，保证角锥镜位置的稳定性，提高工件台绝对参考位置的精度。
22、进一步地，所述细调机构还包括与所述第一支架相对设置的第二支架和与所述z向滑台相对设置的导向部件，所述导向部件与所述第二支架滑动连接，且所述导向部件与所述xy向滑台的固定端连接。
23、本技术提供的角锥镜调节装置，通过设置与z向滑台相对设置的导向部件，为角锥镜的z向移动提供支撑和导向。
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1.一种角锥镜调节装置，其特征在于，应用于光刻机的工件台零位系统，角锥镜调节装置包括：
2.根据权利要求1所述的角锥镜调节装置，其特征在于，所述角锥镜调节装置还包括粗调机构(300)，所述粗调机构(300)设于所述细调机构(200)上，所述粗调机构(300)包括第一连接轴(310)，所述第一连接轴(310)与所述细调机构(200)连接且相对所述细调机构(200)能够沿Z向移动，所述第一连接轴(310)的顶端与所述安装座(120)的底端连接；和/或，所述角锥镜调节装置还包括零位传感器和控制器，所述零位传感器用于检测所述角锥镜(110)的位置信息，所述控制器用于根据所述位置信息对所述细调机构(200)进行X向、Y向和/或Z向调节。
3.根据权利要求2所述的角锥镜调节装置，其特征在于，所述粗调机构(300)还包括与所述第一连接轴(310)相垂直的第二连接轴(330)；
4.根据权利要求3所述的角锥镜调节装置，其特征在于，所述粗调机构(300)还包括第一连接件(320)，所述第一连接件(320)与所述第一连接轴(310)滑动连接，且与所述第二连接轴(3
5.根据权利要求4所述的角锥镜调节装置，其特征在于，所述第一连接件(320)包括第一夹持座(321)和固设于所述第一夹持座(321)的第二夹持座(322)，所述第一连接轴(310)固定夹持于所述第一夹持座(321)，所述第二连接轴(330)固定夹持于所述第二夹持座(322)。
6.根据权利要求5所述的角锥镜调节装置，其特征在于，所述第二连接轴(330)和所述第二夹持座(322)的内壁中的一者设有限位凹槽，另一者设有限位凸条(331)，所述限位凸条(331)与所述限位凹槽配合。
7.根据权利要求3所述的角锥镜调节装置，其特征在于，所述粗调机构(300)还包括：弧形支撑件(360)和扇形调节件(350)，所述弧形支撑件(360)与所述细调机构(200)连接，所述弧形支撑件(360)的弧面与所述扇形调节件(350)的弧面相适配且抵接，所述第二连接轴(330)固接于所述扇形调节件(350)。
8.根据权利要求7所述的角锥镜调节装置，其特征在于，所述粗调机构(300)还包括固接于扇形调节件(350)的第二连接件(340)，所述第二连接件(340)与所述第二连接轴(330)的第一端固接；和/或，
9.根据权利要求1所述的角锥镜调节装置，其特征在于，所述细调机构(200)还包括与所述第一支架(210)相对设置的第二支架(240)和与所述Z向滑台(220)相对设置的导向部件(250)，所述导向部件(250)与所述第二支架(240)滑动连接，且所述导向部件(250)与所述XY向滑台(230)的固定端连接。
...【技术特征摘要】
1.一种角锥镜调节装置，其特征在于，应用于光刻机的工件台零位系统，角锥镜调节装置包括：
2.根据权利要求1所述的角锥镜调节装置，其特征在于，所述角锥镜调节装置还包括粗调机构(300)，所述粗调机构(300)设于所述细调机构(200)上，所述粗调机构(300)包括第一连接轴(310)，所述第一连接轴(310)与所述细调机构(200)连接且相对所述细调机构(200)能够沿z向移动，所述第一连接轴(310)的顶端与所述安装座(120)的底端连接；和/或，所述角锥镜调节装置还包括零位传感器和控制器，所述零位传感器用于检测所述角锥镜(110)的位置信息，所述控制器用于根据所述位置信息对所述细调机构(200)进行x向、y向和/或z向调节。
3.根据权利要求2所述的角锥镜调节装置，其特征在于，所述粗调机构(300)还包括与所述第一连接轴(310)相垂直的第二连接轴(330)；
4.根据权利要求3所述的角锥镜调节装置，其特征在于，所述粗调机构(300)还包括第一连接件(320)，所述第一连接件(320)与所述第一连接轴(310)滑动连接，且与所述第二连接轴(330)的第二端滑动连接。
5.根据权利要求4所述的角锥镜调节装置，其特征在于，所述第一连接件(320)包括第一夹持座(321)和固设于所述第一夹持座(321)的第二夹持座(322)，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：何广腾，孙展，徐裕盛，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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