【技术实现步骤摘要】
本技术涉及微定位平台领域，具体是一种微动平台。
技术介绍
1、微动平台广泛应用于超精密加工、生物工程、微电子封装等精密定位领域，柔性铰链结构是利用构件局部变形而设计的一类弹性支撑，基于柔性铰链制作的微动平台具备运动无摩擦、响应速度快、定位精度高等特点。
2、技术的发展对微动平台的位移行程要求愈来愈高，提高微动平台的位移行程可采用运动范围更大的微驱动器，但会带来平台尺寸及整体造价成本的增加，通过设计柔性铰链布局对原始微驱动器输出进行放大的方法，成本低廉的同时可适用于对平台尺寸要求严苛的场合，微动平台在整个行程内的高定位精度要求决定了其需搭配位移检测单元来使用。
3、在位移检测方面，cn 102324253 b、cn 109140148 a、cn 110421532 a采用电容传感器来检测微动平台的位移，电容位移传感器不仅价格昂贵，同时传感器的安装精度要求较高。
技术实现思路
1、本技术提供一种微动平台及其位移放大方法、位移检测方法，可至少解决上述技术问题之一。
2、为实现上述目的，本技术采用了以下技术方案：
3、一种微动平台，包括：
4、若干位移检测装置，分别与平台基体、移动平台固定连接，检测移动平台的位移量；任一位移检测装置包括一个弹性件和至少一组沿弹性件长度方向分布的应变片；
5、微驱动器，连接所述移动平台，输出伸缩运动，驱动所述移动平台运动。
6、进一步地，所述平台基体上设置有若干安装槽，所述安
7、进一步地，所述位移检测装置还包括应变测量单元，连接应变片，测量所述应变片应变产生的电阻变化，并转化为应变电信号。
8、进一步地，所述位移检测装置包括存储单元，连接应变测量单元，接收所述应变电信号，基于内部储存的电信号—位移信号对应信息，获得移动平台的位移量。
9、进一步地，所述位移检测装置还包括控制单元，连接存储单元，用于控制微驱动器的激励信号。
10、进一步地，还包括，预紧模块，紧靠位移检测装置，用于施加与移动平台移动方向相反的预紧力于位移检测装置，使得位移检测装置与移动平台之间紧密接触。
11、进一步地，所述预紧模块包括预紧件、垫片和弹性可压缩元件；其中垫片设置在预紧件与弹性可压缩元件之间，弹性可压缩元件的另一端与位移检测装置相接触。
12、进一步地，所述移动平台上还设置有位移传递结构，所述位移传递结构与位移检测装置固定连接，用于传递移动平台的位移传递至位移检测装置。
13、进一步地，还包括：位移放大模块，包括：一级放大机构、二级放大机构和三级放大机构；其中，一级放大机构的输出端与二级放大机构的输入端相连，二级放大机构的输出端与三级的输入端相连，三级的输出端与移动平台相连，形成三级位移放大机构。
14、进一步地，还包括：导向模块，设置在位移放大模块的输出端连接移动平台之间，承担移动平台的位移导向和支撑作用。
15、本技术的有益效果在于：
16、1.本技术以弹性件—应变片的组合作为位移检测装置，检测移动平台的位移，安装方便，易于集成，还降低了设备成本；同时位移检测装置还设置有控制单元，可精准控制微动平台的位移；
17、2.本技术中预紧模块采用预紧件—垫片—弹性可压缩元件的方式，给移动平台施加预紧力，同时可以保证弹性件与移动平台的可靠接触，提高系统的动态性能，提高位移检测装置的可靠性；
18、3.本技术提供一种微动平台，其平台基体采用一体化成型制作，结构简单、易于装配；
19、4.本技术的位移放大模块采用菱形放大机构—scott-russell放大机构—杠杆放大机构，采用合理布局，保证平台紧凑性，增加平台的承载能力，同时结合柔性铰链的使用，获得更高的行程；
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1.一种微动平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述平台基体上设置有若干安装槽，所述安装槽设置在所述移动平台的外侧，用于固定所述位移检测装置在所述平台基体上。
3.根据权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述位移检测装置还包括应变测量单元，连接应变片，测量所述应变片应变产生的电阻变化，并转化为应变电信号。
4.根据权利要求3所述的微动平台，其特征在于，所述位移检测装置包括存储单元，连接应变测量单元，接收所述应变电信号，基于内部储存的电信号—位移信号对应信息，获得移动平台的位移量。
5.根据权利要求4所述的微动平台，其特征在于，所述位移检测装置还包括控制单元，连接存储单元，用于控制微驱动器的激励信号。
6.根据权利要求1所述的微动平台，其特征在于，还包括，预紧模块，紧靠位移检测装置，用于施加与移动平台移动方向相反的预紧力于位移检测装置，使得位移检测装置与移动平台之间紧密接触。
7.根据权利要求6所述的微动平台，其特征在于，所述预紧模块包括预紧件、垫片和弹性可压缩元件；其中垫
8.根据权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述移动平台上还设置有位移传递结构，所述位移传递结构与位移检测装置固定连接，用于传递移动平台的位移传递至位移检测装置。
9.根据权利要求1所述的微动平台，其特征在于，还包括：位移放大模块，包括：一级放大机构、二级放大机构和三级放大机构；其中，一级放大机构的输出端与二级放大机构的输入端相连，二级放大机构的输出端与三级的输入端相连，三级的输出端与移动平台相连，形成三级位移放大机构。
10.根据权利要求9所述的微动平台，其特征在于，还包括：导向模块，设置在位移放大模块的输出端连接移动平台之间，承担移动平台的位移导向和支撑作用。
...【技术特征摘要】
1.一种微动平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述平台基体上设置有若干安装槽，所述安装槽设置在所述移动平台的外侧，用于固定所述位移检测装置在所述平台基体上。
3.根据权利要求1所述的微动平台，其特征在于，所述位移检测装置还包括应变测量单元，连接应变片，测量所述应变片应变产生的电阻变化，并转化为应变电信号。
4.根据权利要求3所述的微动平台，其特征在于，所述位移检测装置包括存储单元，连接应变测量单元，接收所述应变电信号，基于内部储存的电信号—位移信号对应信息，获得移动平台的位移量。
5.根据权利要求4所述的微动平台，其特征在于，所述位移检测装置还包括控制单元，连接存储单元，用于控制微驱动器的激励信号。
6.根据权利要求1所述的微动平台，其特征在于，还包括，预紧模块，紧靠位移检测装置，用于施加与移动平台移动方向相反的预紧力于位移检测装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：王朝付，张光宇，杨竣凯，曹桂平，董宁，
申请(专利权)人：合肥埃科光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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