【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及掩膜版，尤其涉及一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质。
技术介绍
1、掩膜版，是一种由表面记载着图形、文字等信息的金属层薄膜或光阻层薄膜和材质为高纯度融石英或其他材质的玻璃载板组合而成的广泛用于ic、fpd、mems、光学器件等行业的模具，pellcile膜是一种满足某些波长光束下透过率极高的特种材料，通过pellcile膜与金属框架结合并贴合在掩膜版上，从而起到避免灰尘颗粒直接掉落在掩膜版上造成污染甚至报废的作用。
2、而对于掩膜版和pellcile膜的贴合效果或贴合度的检测，目前在该方面并没有成熟的检测设备或方法，一般采用人工方式进行检查，因此现有技术对于此问题的解决方式并不完善。
3、上述内容仅用于辅助理解本专利技术的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质，旨在提供一种更高效更准确的检测掩膜版与pellcile膜之间贴合度的方法与装置，提高掩膜版与pellcile薄膜贴合度的检测效率与准确度。
2、为实现上述目的，本专利技术提供一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法，包括：
3、此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种掩膜版与薄膜贴合度检测装置，所述掩膜版与薄膜贴合度检测装置包括：
4、将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；
5、根据预
6、基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度。
7、可选地，所述根据预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测掩膜版与薄膜贴合度的步骤之前还包括：
8、将所述定位转台固定在第一预设角度并接收所述信号发射器发射的检测信号得到所述信号遮挡区的信号分布数据。
9、可选地，所述信号遮挡区数据包括信号遮挡宽度、信号遮挡高度、信号遮挡面积以及信号强度中的至少一种。
10、可选地，所述贴合度模板基于所述薄膜的型号构建。
11、可选地，所述掩膜版与薄膜的贴合度包括边角贴合度，所述贴合度模板包括旋转角—遮挡度模板，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤包括：
12、基于所述信号遮挡区数据构建旋转角—遮挡度对应关系曲线；
13、判断所述旋转角—遮挡度对应关系曲线与所述旋转角—遮挡度模板之间的误差是否满足第一预设条件；
14、若满足第一预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜边角贴合度达标；
15、若不满足第一预设条件，则获取并返回边角贴合不佳点数据。
16、可选地，所述掩膜版与薄膜的贴合度还包括侧边贴合度，所述贴合度模板还包括旋转角信号强度标准模板，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤还包括：
17、基于所述信号分布数据构建所述第一预设角度下的信号强度分布曲线；
18、判断所述第一预设角度下的信号强度分布曲线与所述旋转角信号强度标准模板之间的误差是否满足第二预设条件；
19、若满足第二预设条件，则判定所述掩膜版与所述薄膜侧边贴合度达标；
20、若不满足第二预设条件，则获取并返回侧边贴合不佳点数据。
21、可选地，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤之后还包括：
22、基于所述旋转角—遮挡度对应关系曲线、旋转角—遮挡度模板、信号强度分布曲线以及旋转角信号强度标准模板创建可视化数据图表；
23、基于所述边角贴合不佳点数据和侧边贴合不佳点数据在所述可视化数据图表中标注贴合瑕疵点。
24、此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种掩膜版与薄膜贴合度检测装置，包括信号发射器和信号接收器以及定位转台：
25、所述定位转台用于固定贴合后的薄膜与掩膜版，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；
26、所述信号发射器用于发射检测信号，以使所述信号接收器得到根据预设方向和速度转动所述定位转台时产生的信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；
27、所述装置还包括检测模块：用于基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度。
28、此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种掩膜版与薄膜贴合度检测设备，所述设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的掩膜版与薄膜贴合度检测程序，所述掩膜版与薄膜贴合度检测程序配置为实现如上所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法的步骤。
29、此外，为实现上述目的，本专利技术还提供一种存储介质，所述存储介质上存储有掩膜版与薄膜贴合度检测程序，所述掩膜版与薄膜贴合度检测程序被处理器执行时实现如上所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法的步骤。
30、本专利技术提出的掩膜版与薄膜贴合度检测方法、装置、设备以及存储介质，通过将薄膜与掩膜版贴合后固定于所述定位转台，所述掩膜版与所述定位转台几何中心对齐；根据预设方向和速度转动所述定位转台并接收所述信号发射器发射的检测信号得到信号遮挡区数据，所述检测信号平行穿过所述薄膜与所述掩膜版之间的贴合面，并在所述信号接收器中形成信号遮挡区；基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度，通过这种检测信号覆盖贴合面的所有边和角的方式检测pellcile薄膜与掩膜版之间的贴合度，从而提高了检测的准确度和效率。
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1.一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述方法应用于掩膜版与薄膜贴合度检测装置，所述装置包括信号发射器和信号接收器以及定位转台，所述方法包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述根据预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测掩膜版与薄膜贴合度的步骤之前还包括：
3.如权利要求2所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述信号遮挡区数据包括信号遮挡宽度、信号遮挡高度、信号遮挡面积以及信号强度中的至少一种。
4.如权利要求1所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述贴合度模板基于所述薄膜的型号构建。
5.如权利要求3所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述掩膜版与薄膜的贴合度包括边角贴合度，所述贴合度模板包括旋转角—遮挡度模板，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤包括：
6.如权利要求5所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述掩膜版与薄膜的贴合度还包括侧边贴合度，所述贴合度模板还包括旋转角信号强度标准模
7.如权利要求5所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤之后还包括：
8.一种掩膜版与薄膜贴合度检测装置，其特征在于，包括信号发射器和信号接收器以及定位转台；
9.一种掩膜版与薄膜贴合度检测设备，其特征在于，所述设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的掩膜版与薄膜贴合度检测程序，所述掩膜版与薄膜贴合度检测程序配置为实现如权利要求1至7中任一项所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法的步骤。
10.一种存储介质，其特征在于，所述存储介质上存储有掩膜版与薄膜贴合度检测程序，所述掩膜版与薄膜贴合度检测程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述方法应用于掩膜版与薄膜贴合度检测装置，所述装置包括信号发射器和信号接收器以及定位转台，所述方法包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述根据预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测掩膜版与薄膜贴合度的步骤之前还包括：
3.如权利要求2所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述信号遮挡区数据包括信号遮挡宽度、信号遮挡高度、信号遮挡面积以及信号强度中的至少一种。
4.如权利要求1所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述贴合度模板基于所述薄膜的型号构建。
5.如权利要求3所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，所述掩膜版与薄膜的贴合度包括边角贴合度，所述贴合度模板包括旋转角—遮挡度模板，所述基于预设的贴合度模板与所述信号遮挡区数据检测所述掩膜版与薄膜的贴合度的步骤包括：
6.如权利要求5所述的掩膜版与薄膜贴合度检测方法，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭成恩，廖文超，郑祺弘，崔嘉豪，白永智，
申请(专利权)人：深圳市龙图光罩股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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