【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路温控设备液体传输管路保温，尤其涉及一种集成电路温控设备的传输管路组件和温控系统。
技术介绍
1、随着科技的发展，传输管路在各种行业的适用范围广泛，以集成电路制造行业为例，随着集成电路制程的发展，刻蚀等工艺的温度范围在-120～200℃之间，集成电路温控设备需要通过传输管路对主工艺设备进行控温。传输管路的保温结构采用橡塑保温棉或航空保温材料等。传输管路安装的安装环境不会是完全平整的环境，通常会需要将传输管路折弯避让，但是在折弯避让的过程中，传输管路的保温结构受到挤压的情况难以避免，保温结构挤压变形降低了保温效果，这样的传输管路在低温下容易产生冷凝水，在高温下容易造成保温材料碳化，产生颗粒污染等问题。并且传输管路通常沿着楼层的高度设置，维护传输管路涉及高空作业，维修更换均不方便。如果直接在传输管路上增加保温结构的厚度成本高。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种集成电路温控设备的传输管路组件，用以解决现有技术中难以折弯，以及折弯的传输结构的保温结构容易受到挤压的缺陷。
2、本专利技术还提出一种温控系统。
3、根据本专利技术第一方面实施例提供的集成电路温控设备的传输管路组件，包括：
4、传输管路，所述传输管路包括柔性管段；
5、若干柔性外管，套设于所述柔性管段，所述传输管路和所述柔性外管之间形成有真空隔热腔。
6、根据本专利技术的集成电路温控设备的传
7、根据本专利技术的一个实施例，在所述柔性管段和所述柔性外管之间设置有若干支撑件，所述支撑件沿着所述隔热腔的延伸方向间隔设置。
8、根据本专利技术的一个实施例，所述支撑件为十字环。
9、根据本专利技术的一个实施例，所述柔性管段为波纹管。
10、根据本专利技术的一个实施例，所述柔性外管包括波纹段和位于所述波纹段两端的连接段，所述连接段设置有连通所述真空隔热腔的接口。
11、根据本专利技术的一个实施例，所述传输管路包括多段相互间隔的所述柔性管段，所述柔性外管和所述柔性管段一一对应设置。
12、根据本专利技术的一个实施例，所述传输管路包括位于相邻的所述柔性管段之间的连接管段，所述连接管段的外部包裹有充气隔膜，所述充气隔膜内部设置有充气腔，所述充气隔膜具有充气状态和收缩状态，在所述充气状态，所述充气腔充气，所述充气隔膜膨胀变大；在所述收缩状态，所述充气腔泄气，所述充气隔膜缩小。
13、根据本专利技术的一个实施例，所述传输管路包括位于相邻的所述柔性管段之间的连接管段，所述连接管段的外部包裹有变形框架，所述变形框架形成所述连接管段的保护空间，所述变形框架具有张开状态和收缩状态，在所述张开状态朝向所述收缩状态切换的过程中，所述保护空间减小；在所述收缩状态朝向所述张开状态切换的过程中，所述保护空间增大。
14、根据本专利技术的一个实施例，对应一根所述传输管路，所述柔性外管的数量为一个，且所述柔性外管的长度和所述传输管路的长度相匹配。
15、根据本专利技术第二方面实施例提供的温控系统，包括集成电路温控设备和上述的集成电路温控设备的传输管路组件，所述传输管路连接于所述集成电路温控设备。
16、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，在所述柔性管段(310)和所述柔性外管(400)之间设置有若干支撑件(500)，所述支撑件(500)沿着所述隔热腔的延伸方向间隔设置。
3.根据权利要求2所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，所述支撑件(500)为十字环。
4.根据权利要求1所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，所述柔性管段(310)为波纹管。
5.根据权利要求4所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，所述柔性外管(400)包括波纹段(420)和位于所述波纹段(420)两端的连接段(430)，所述连接段(430)设置有连通所述真空隔热腔(410)的接口(440)。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，所述传输管路(300)包括多段相互间隔的所述柔性管段(310)，所述柔性外管(400)和所述柔性管段(310)一一对应设置。
7.根据权利要
8.根据权利要求6所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，所述传输管路(300)包括位于相邻的所述柔性管段(310)之间的连接管段(320)，所述连接管段(320)的外部包裹有变形框架(100)，所述变形框架(100)形成所述连接管段(320)的保护空间(101)，所述变形框架(100)具有张开状态和收缩状态，在所述张开状态朝向所述收缩状态切换的过程中，所述保护空间(101)减小；在所述收缩状态朝向所述张开状态切换的过程中，所述保护空间(101)增大。
9.根据权利要求1至5中任意一项所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，对应一根所述传输管路(300)，所述柔性外管(400)的数量为一个，且所述柔性外管(400)的长度和所述传输管路(300)的长度相匹配。
10.一种温控系统，其特征在于，包括集成电路温控设备和权利要求1至9中任意一项所述的集成电路温控设备的传输管路组件，所述传输管路(300)连接于所述集成电路温控设备。
...【技术特征摘要】
1.一种集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，在所述柔性管段(310)和所述柔性外管(400)之间设置有若干支撑件(500)，所述支撑件(500)沿着所述隔热腔的延伸方向间隔设置。
3.根据权利要求2所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，所述支撑件(500)为十字环。
4.根据权利要求1所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，所述柔性管段(310)为波纹管。
5.根据权利要求4所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，所述柔性外管(400)包括波纹段(420)和位于所述波纹段(420)两端的连接段(430)，所述连接段(430)设置有连通所述真空隔热腔(410)的接口(440)。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，所述传输管路(300)包括多段相互间隔的所述柔性管段(310)，所述柔性外管(400)和所述柔性管段(310)一一对应设置。
7.根据权利要求6所述的集成电路温控设备的传输管路组件，其特征在于，所述传输管路(300)包括位于相邻的所述柔性管段(310)之间的连接管段(320)，所述连接管段(320...
【专利技术属性】
技术研发人员：芮守祯，董春辉，贾正帅，何茂栋，曹小康，刘紫阳，胡文达，靳李富，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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