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【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电子封装的领域,尤其是涉及一种cob固晶机与cob固晶方法。
技术介绍
1、cob固晶指的是芯片直接焊接到pcb板(printed circuit board,印刷电路板)上并用封装树脂进行保护的一种封装技术。cob固晶机是用于实现cob固晶工艺的专用设备,而cob固晶方法则是具体的固晶工艺流程。
2、相关cob技术中采用倒装技术,芯片通过固晶头移动至指定位置后,pcb板通过晶圆盘移动相对位置,通过固晶头和晶圆盘一同移动,将芯片放置于pcb板一侧并将芯片焊接至pcb板一侧。
3、针对上述中的相关技术,当固晶头和晶圆盘移动时,当移动速度过快时,定位方位存在偏差,影响装置定位的精准度,影响产品的加工质量。
技术实现思路
1、为了保证固晶头和晶圆盘稳定移动至指定方位,保证装置定位的精准度,保证产品的加工质量,本申请提供一种cob固晶机与cob固晶方法。
2、本申请提供的一种cob固晶机与cob固晶方法采用如下的技术方案:
3、一种cob固晶机包括机架、移动装置、调节装置、固晶头和晶圆盘,所述移动装置包括上移动机构和下移动机构,所述上移动机构设置于机架顶部,所述固晶头设置于上移动机构一端并用于对待加工材料加工,所述调节装置设置于机架底部,所述调节装置包括调节电机、驱动组件和行星齿轮组,所述调节电机沿x轴方向固定连接于机架,所述驱动组件设置于调节电机的输出端一侧,所述行星齿轮组包括行星轮、行星架、齿圈和太阳轮,所述太阳轮设置于驱动组件
4、通过采用上述技术方案,上移动机构设置于机架顶部并用于驱动固晶头移动,从而将上晶头移动至指定方位,与此同时,调节电机开始工作,调节电机用于驱动驱动组件进行工作,当驱动组件带动太阳轮工作转动时,太阳轮作为输入端输入动力,动力通过太阳轮进入装置,齿圈作为输出端输出动力时,对装置动力进行降速,从而有利于带动晶圆盘精准移动至指定程序位置,进而在保证晶圆盘移动速度的同时保证晶圆盘的移动精度,从而有利于将晶圆盘和上晶头均移动至指定方位,当驱动组件带动太阳轮和行星架一同工作转动时,行星架和太阳轮一同作为输入端输入动力,将行星架和太阳轮视为整体,动力通过齿圈作为输出端输出动力时,齿圈将动力输出,从而有利于使得下移动机构带动晶圆盘快速沿x轴方向进行移动,保证装置移动的效率,从而保证固晶头和晶圆盘稳定移动至指定方位,保证装置定位的精准度,保证产品的加工质量。
5、可选的,所述驱动组件包括齿套、定位齿轮、调节齿轮、联动杆、杆套和调节部件,所述联动杆固定连接于调节电机的输出端,所述联动杆远离调节电机一侧穿设于定位齿轮并固定连接于太阳轮,所述定位齿轮固定连接于联动杆,所述定位齿轮沿y轴方向设置,所述齿套与定位齿轮啮合,所述调节部件用于驱动齿套沿x轴方向移动,当所述齿套沿x轴方向移动时,所述齿套与定位齿轮啮合并与调节齿轮啮合,所述调节齿轮沿y轴方向设置,所述杆套套设于联动杆并固定连接于调节齿轮,所述杆套远离调节齿轮一端固定连接于行星架。
6、通过采用上述技术方案,当齿套与定位齿轮啮合,未沿x轴方向移动至与调节齿轮啮合时,联动杆设置于调节电机的输出端,调节电机带动联动杆转动,联动杆带动太阳轮转动,太阳轮转动的同时将动力通过齿圈输出,对装置起到降速调节的作用,当齿套通过调节部件沿x轴方向移动至与定位齿轮啮合的同时与调节齿轮啮合时,调节电机带动联动杆转动,联动杆带动太阳轮转动的同时,联动杆带动定位齿轮转动,由于齿套与定位齿轮啮合的同时与调节齿轮啮合,定位齿轮带动齿套转动进而带动调节齿轮转动,调节齿轮带动杆套转动并带动行星架转动,动力通过太阳轮和行星架一同输入装置,从而有利于使得下移动机构带动晶圆盘快速沿x轴方向进行移动,保证装置移动的效率,从而有利于保证加工时的稳定性,进而有利于保证晶圆盘和上晶头配合工作时的产品成型质量,保证成型产品的生产质量。
7、可选的,所述调节部件包括驱动电机、自锁件、移动块和转动螺杆,所述驱动电机固定连接于机架,所述自锁件设置于驱动电机的输出端,所述自锁件用于对驱动电机单向自锁,所述转动螺杆设置于自锁件的输出端,所述转动螺杆沿水平方向设置,所述机架沿竖直方向开设有调节槽,所述调节槽沿水平方向设置,所述移动块穿设于调节槽并沿水平方向滑移配合于调节槽,所述移动块固定连接于齿套。
8、通过采用上述技术方案,当驱动电机工作时,驱动电机带动自锁件传递动力,自锁件带动转动螺杆转动,当转动螺杆转动时,转动螺杆带动移动块沿调节槽方向滑移移动,当移动块沿调节槽方向滑移移动时,带动齿套沿水平方向移动,从而带动齿套与调节齿轮啮合,进而控制装置的移动速度,通过驱动电机带动转动螺杆对齿套位置的调节,从而有利于保证晶圆盘移动的稳定性,进而有利于保证晶圆盘移动的精准度,保证产品的加工质量。
9、可选的,所述齿套外周面开设有环形槽,所述环形槽沿齿套外周面周向设置,所述移动块穿设于环形槽并卡接配合于环形槽。
10、通过采用上述技术方案,通过移动块和齿套的卡接配合,从而使得移动块沿调节槽方向移动时,带动移动块移动,进而控制齿套与调节齿轮的啮合状态,从而有利于对装置进行调节,环形槽的设置有利于对齿套进行限位,进而有利于保证齿套的拆装方便,有利于降低工作人员的安装时长,保证装置的稳定性和有效性。
11、可选的,所述下移动机构包括调节螺杆、调节块和转动组件,所述调节螺杆固定连接于齿圈,所述调节螺杆沿x轴方向设置,所述调节螺杆远离齿圈一端穿设于调节块并螺纹连接于调节块,所述机架开设有滑移槽,所述滑移槽沿水平方向设置,所述调节块沿x轴方向穿设于滑移槽并滑移配合于滑移槽,所述转动组件设置于调节块顶部并用于驱动晶圆盘转动。
12、通过采用上述技术方案,当行星齿轮组的齿圈转动时,行星齿轮组的齿圈带动调节螺杆转动,调节螺杆的转动带动调节块沿x轴方向穿设于滑移槽并滑移配合于滑移槽,当调节块沿x轴方向移动时,带动转动组件沿x轴方向移动并带动晶圆盘沿x轴方向移动,转动组件用于驱动晶圆盘转动,有利于通过晶圆盘的转动,从而有利于多方位对晶圆盘进行移动,多方位对晶圆盘移动有利于保证晶圆盘有效移动至指定方位,进而有利于保证装置移动的精准度,保证成型产品的生产质量。
13、可选的,所述转动组件包括减速器和步进电机,所述步进电机固定连接于调节块,所述步进电机沿竖直方向设置,所述减速器固定连接于步进电机的输出端,所述减速器用于降低步进电机的转速,所述晶圆盘固定连接于减速器的输出端。
14、通过采用上述技术方案,当调节块沿x轴方向移动至指定位置时,步进电机开始工作,步进电机的动力传递至本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种COB固晶机,其特征在于:包括机架(1)、移动装置(2)、调节装置(3)、固晶头(4)和晶圆盘(5),所述移动装置(2)包括上移动机构(6)和下移动机构(7),所述上移动机构(6)设置于机架(1)顶部,所述固晶头(4)设置于上移动机构(6)一端并用于对待加工材料加工,所述调节装置(3)设置于机架(1)底部,所述调节装置(3)包括调节电机(31)、驱动组件(32)和行星齿轮组(33),所述调节电机(31)沿X轴方向固定连接于机架(1),所述驱动组件(32)设置于调节电机(31)的输出端一侧,所述行星齿轮组(33)包括行星轮(331)、行星架(332)、齿圈(333)和太阳轮(334),所述太阳轮(334)设置于驱动组件(32)一侧,所述行星轮(331)设置有若干,若干所述行星轮(331)均转动连接于太阳轮(334)并均啮合于太阳轮(334),所述齿圈(333)设置于若干行星轮(331)外周并与若干行星轮(331)啮合,所述行星架(332)设置于驱动组件(32)一侧,所述行星架(332)转动连接于行星轮(331)并用于辅助驱动若干行星轮(331)转动,所述驱动组件(32)用于
2.根据权利要求1所述的一种COB固晶机,其特征在于:所述驱动组件(32)包括齿套(321)、定位齿轮(322)、调节齿轮(323)、联动杆(324)、杆套(325)和调节部件(326),所述联动杆(324)固定连接于调节电机(31)的输出端,所述联动杆(324)远离调节电机(31)一侧穿设于定位齿轮(322)并固定连接于太阳轮(334),所述定位齿轮(322)固定连接于联动杆(324),所述定位齿轮(322)沿Y轴方向设置,所述齿套(321)与定位齿轮(322)啮合,所述调节部件(326)用于驱动齿套(321)沿X轴方向移动,当所述齿套(321)沿X轴方向移动时,所述齿套(321)与定位齿轮(322)啮合并与调节齿轮(323)啮合,所述调节齿轮(323)沿Y轴方向设置,所述杆套(325)套设于联动杆(324)并固定连接于调节齿轮(323),所述杆套(325)远离调节齿轮(323)一端固定连接于行星架(332)。
3.根据权利要求2所述的一种COB固晶机,其特征在于:所述调节部件(326)包括驱动电机(3261)、自锁件(3262)、移动块(3263)和转动螺杆(3264),所述驱动电机(3261)固定连接于机架(1),所述自锁件(3262)设置于驱动电机(3261)的输出端,所述自锁件(3262)用于对驱动电机(3261)单向自锁,所述转动螺杆(3264)设置于自锁件(3262)的输出端,所述转动螺杆(3264)沿水平方向设置,所述机架(1)沿竖直方向开设有调节槽(12),所述调节槽(12)沿水平方向设置,所述移动块(3263)穿设于调节槽(12)并沿水平方向滑移配合于调节槽(12),所述移动块(3263)固定连接于齿套(321)。
4.根据权利要求3所述的一种COB固晶机,其特征在于:所述齿套(321)外周面开设有环形槽(3211),所述环形槽(3211)沿齿套(321)外周面周向设置,所述移动块(3263)穿设于环形槽(3211)并卡接配合于环形槽(3211)。
5.根据权利要求1所述的一种COB固晶机,其特征在于:所述下移动机构(7)包括调节螺杆(71)、调节块(72)和转动组件(73),所述调节螺杆(71)固定连接于齿圈(333),所述调节螺杆(71)沿X轴方向设置,所述调节螺杆(71)远离齿圈(333)一端穿设于调节块(72)并螺纹连接于调节块(72),所述机架(1)开设有滑移槽(13),所述滑移槽(13)沿水平方向设置,所述调节块(72)沿X轴方向穿设于滑移槽(13)并滑移配合于滑移槽(13),所述转动组件(73)设置于调节块(72)顶部并用于驱动晶圆盘(5)转动。
6.根据权利要求5所述的一种COB固晶机,其特征在于:所述转动组件(73)包括减速器(731)和步进电机(732),所述步进电机(732)固定连接于调节块(72),所述步进电机(732)沿竖直方向设置,所述减速器(731)固定连接于步进电机(732)的输出端,所述减速器(731)用于降低步进电机(732)的转速,所述晶圆盘(5)固定连接于减速器(731)的输出端。
7.根据权利要求1所述的一种COB固晶机,其特征在于:所述上移动机构(6)包括X轴移动组件(61),所述X轴移动组件(61)包括移动电机(611)、双向螺杆(612)和定位块(613),所述移动电机(611)固定连接于机架...
【技术特征摘要】
1.一种cob固晶机,其特征在于:包括机架(1)、移动装置(2)、调节装置(3)、固晶头(4)和晶圆盘(5),所述移动装置(2)包括上移动机构(6)和下移动机构(7),所述上移动机构(6)设置于机架(1)顶部,所述固晶头(4)设置于上移动机构(6)一端并用于对待加工材料加工,所述调节装置(3)设置于机架(1)底部,所述调节装置(3)包括调节电机(31)、驱动组件(32)和行星齿轮组(33),所述调节电机(31)沿x轴方向固定连接于机架(1),所述驱动组件(32)设置于调节电机(31)的输出端一侧,所述行星齿轮组(33)包括行星轮(331)、行星架(332)、齿圈(333)和太阳轮(334),所述太阳轮(334)设置于驱动组件(32)一侧,所述行星轮(331)设置有若干,若干所述行星轮(331)均转动连接于太阳轮(334)并均啮合于太阳轮(334),所述齿圈(333)设置于若干行星轮(331)外周并与若干行星轮(331)啮合,所述行星架(332)设置于驱动组件(32)一侧,所述行星架(332)转动连接于行星轮(331)并用于辅助驱动若干行星轮(331)转动,所述驱动组件(32)用于驱动行星架(332)或太阳轮(334)转动,所述下移动机构(7)设置于齿圈(333)一侧并用于驱动晶圆盘(5)移动。
2.根据权利要求1所述的一种cob固晶机,其特征在于:所述驱动组件(32)包括齿套(321)、定位齿轮(322)、调节齿轮(323)、联动杆(324)、杆套(325)和调节部件(326),所述联动杆(324)固定连接于调节电机(31)的输出端,所述联动杆(324)远离调节电机(31)一侧穿设于定位齿轮(322)并固定连接于太阳轮(334),所述定位齿轮(322)固定连接于联动杆(324),所述定位齿轮(322)沿y轴方向设置,所述齿套(321)与定位齿轮(322)啮合,所述调节部件(326)用于驱动齿套(321)沿x轴方向移动,当所述齿套(321)沿x轴方向移动时,所述齿套(321)与定位齿轮(322)啮合并与调节齿轮(323)啮合,所述调节齿轮(323)沿y轴方向设置,所述杆套(325)套设于联动杆(324)并固定连接于调节齿轮(323),所述杆套(325)远离调节齿轮(323)一端固定连接于行星架(332)。
3.根据权利要求2所述的一种cob固晶机,其特征在于:所述调节部件(326)包括驱动电机(3261)、自锁件(3262)、移动块(3263)和转动螺杆(3264),所述驱动电机(3261)固定连接于机架(1),所述自锁件(3262)设置于驱动电机(3261)的输出端,所述自锁件(3262)用于对驱动电机(3261)单向自锁,所述转动螺杆(3264)设置于自锁件(3262)的输出端,所述转动螺杆(3264)沿水平方向设置,所述机架(1)沿竖直方向开设有调节槽(12),所述调节槽(12)沿水平方向设置,所述移动块(3263)穿设于调节槽(12)并沿水平方向滑移配合于调节槽(12),所述移动块(3263)固定连接于齿套(321)。
4.根据权利要求3所述的一种cob固晶机,其特征在于:所述齿套(321)外周面开设有...
【专利技术属性】
技术研发人员:汤建平,方佳,刘伟,
申请(专利权)人:江西麦特微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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