【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路新材料生产，尤其是涉及一种用于电子级双氧水槽车灌装的装置；本专利技术还涉及一种用于电子级双氧水槽车灌装的方法。
技术介绍
1、双氧水水溶液又被称为双氧水，是一种生产过氧乙酸、过氧化硫脲等过氧化物的重要原料，并广泛用于医药、纺织印染，造纸漂白等行业。高浓度双氧水具有强氧化性和不稳定性，常温下为透明、无色液体，具有刺激性气味，黏度稍大于水，该物质属于甲类火灾危险品，主要特点包括助燃性、易分解产生水和氧气。
2、电子级过氧化氢是大规模集成电路生产工艺中所必需的电子化工原料，主要用于半导体硅晶片清洗剂，蚀刻剂和光刻胶去除剂，还可用于高级绝缘层制取，电镀液无机杂质去除，电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理，以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。电子级过氧化氢的质量直接影响到集成电路性能及其生产的连续性和稳定性。电子级过氧化氢水溶液一般是以工业级过氧化氢水溶液作原料，经一系列精制、净化得到。因受生产技术的限制，以前国内电子级过氧化氢市场主要由外国产品垄断，近年来国内产品逐步有所发展，但质量与国外先进水平仍有差距，要保障电子级过氧化氢的质量，除在生产上采用技术提高过氧化氢的纯度外，在储存运输环节，也需防止对电子级过氧化氢带来污染。
3、cn208313093u公开了一种桶装双氧水的灌装装置，包括灌装架和搬运架，灌装架的侧壁开设有灌装槽，搬运架插接至灌装槽内，搬运架内装配有储液桶，灌装架的顶部开设有与灌装槽相连通的装配槽，灌装架的顶部固定装配有升降机构，灌装架通过升降机构固定连接有灌装机构，灌装机构位于装配槽
4、现有技术中，有些商家采用槽车来灌装电子级过氧化氢，因槽车的气、液相管在与灌装设施连接时，存在对电子级过氧化氢带来污染的风险。此外，对灌装进槽车内的双氧水存在取样不方便等问题
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种用于电子级双氧水槽车灌装的装置及灌装方法，能有效地避免环境中的杂质污染灌装电子级过氧化氢的槽车，降低对电子级过氧化氢带来污染的风险；同时方便对灌装进槽车内的双氧水进行取样，控制产品质量。
2、为了解决上述技术问题，一方面，本专利技术提供一种用于电子级双氧水槽车灌装的装置，包括柜体，设置在所述柜体内的电控系统，与所述柜体连接的终端控制系统，与所述柜体连接的鼓风机，与所述柜体连接对所述鼓风机向柜体内鼓入的空气进行过滤的空气过滤器，与所述柜体连接的纯水供给管道，与所述纯水供给管道连接的纯水冲洗喷枪，与所述柜体连接的氮气供给管道，与所述氮气供给管道连接的氮气吹扫枪，与所述柜体连接的电子级双氧水供给管道，第一端与所述电子级双氧水供给管道连接、另一端用于与槽车液相管连接的自动灌装阀，与所述电子级双氧水供给管道连接的取样管，与所述取样管连接的取样台，与所述柜体连接的泄气管道，第一端与所述泄气管道连接、另一端用于与槽车气相管连接的补气泄气阀，设置在所述泄气管道上的泄气阀，第一端与所述氮气供给管道连通、另一端与补气泄气阀和泄气阀之间的泄气管道连通的补气管，设置在所述补气管上的补气控制阀，与所述自动灌装阀连接的第一清洗循环管，设置在所述第一清洗循环管上的第一清洗循环控制阀；所述电控系统为用电设备提供高压或低压电源；所述终端控制系统包括plc，与所述plc电连接的触摸屏控制器，各操作或控制阀门与所述plc控制连接。
3、作为进一步改进技术方案，本专利技术提供的用于电子级双氧水槽车灌装的装置，还具有第一端与所述氮气供给管道连接，另一端与电子级双氧水供给管道连接的管路吹扫管，设置在所述管路吹扫管上的吹扫控制阀。
4、作为进一步改进技术方案，本专利技术提供的用于电子级双氧水槽车灌装的装置，还具有与所述电子级双氧水供给管道连接的手动供液管道，第一端与所述手动供液管道连接、另一端用于与槽车液相管连接的手动灌装阀，与所述手动供液管道连接的第二取样管，与所述手动供液管道连接的第二清洗循环管，设置在所述第二清洗循环管上的第二清洗循环控制阀，第一端与所述氮气供给管道连接，另一端与手动供液管道连接的第二管路吹扫管，设置在所述第二管路吹扫管上的第二吹扫控制阀；所述第二取样管与取样台连接。
5、作为进一步改进技术方案，本专利技术提供的用于电子级双氧水槽车灌装的装置，还具有为各用气设备供气的压缩空气管。
6、为了解决上述技术问题，另一方面，本专利技术提供用于电子级双氧水槽车灌装的方法，应用于前述的用于电子级双氧水槽车灌装的装置，灌装过程包括以下步骤：
7、1）提起纯水冲洗喷枪对自动灌装阀和补气泄气阀它们的周边环境进行冲洗；
8、2）提起氮气吹扫枪对自动灌装阀和补气泄气阀及它们的周边环境进行吹扫；
9、3）补气泄气阀处于关闭状态，开启补气控制阀和泄气阀，对泄气管道进行吹扫；吹扫完成后关闭补气控制阀和泄气阀；
10、4）打开槽车顶盖，取下槽车液相管和槽车气相管，将槽车液相管与自动灌装阀连接，将槽车气相管与补气泄气阀连接，并确保正确安装，连接可靠；
11、5）操作终端控制系统，开启第一清洗循环控制阀，将自动灌装阀的流向切换至流向第一清洗循环管，将电子级双氧水供给管道的来料送往生产车间回用；
12、6）开启取样台上自动灌装管路的取样阀门，对电子级双氧水进行取样检测，检测合格后，关闭第一清洗循环控制阀，将自动灌装阀的流向切换至流向槽车液相管进行灌装作业，开启补气泄气阀和泄气阀；
13、7）罐装完成后，关闭自动灌装阀和泄气阀，开启补气控制阀向槽车内通入氮气达到试压压力要求后，关闭补气泄气阀，将槽车液相管从自动灌装阀取出并收回至槽车内，检查槽车密封性能达到要求后，将槽车气相管从补气泄气阀取出并收回至槽车内；清理残留液体和现场物品。
14、作为进一步改进技术方案，本专利技术提供的用于电子级双氧水槽车灌装的方法，所述用于电子级双氧水槽车灌装的装置还具有第一端与所述氮气供给管道连接，另一端与电子级双氧水供给管道连接的管路吹扫管，设置在所述管路吹扫管上的吹扫控制阀；灌装过程还包括以下步骤：
15、在步骤7）罐装完成后，将电子级双氧水供给管道的来料的总阀门关闭，开启第一清洗循环控制阀，将自动灌装阀的流向切换至流向第一清洗循环管，开启吹扫控制阀对电子级双氧水供给管道进行吹扫。
16、作为进一步改进技术方案，本专利技术提供的用于电子级双氧水槽车灌装的方法，所述用于电子级双氧水槽车灌装的装置还具有与所述电子级双氧水供给管道连接的手动供液管道，第一端与所述手动供液管道连接、另一端用于与槽车液相管连接的手动灌装阀，与所述手动供液管道连接的第二取样管，与所述手动供液管道连接的第二清本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于电子级双氧水槽车灌装的装置，包括柜体（1），设置在所述柜体（1）内的电控系统（2），与所述柜体（1）连接的终端控制系统（3），其特征在于，还包括与所述柜体（1）连接的鼓风机（4），与所述柜体（1）连接对所述鼓风机（4）向柜体（1）内鼓入的空气进行过滤的空气过滤器（5），与所述柜体（1）连接的纯水供给管道（6），与所述纯水供给管道（6）连接的纯水冲洗喷枪（7a、7b），与所述柜体（1）连接的氮气供给管道（8），与所述氮气供给管道（8）连接的氮气吹扫枪（9a、9b），与所述柜体（1）连接的电子级双氧水供给管道（10），第一端与所述电子级双氧水供给管道（10）连接、另一端用于与槽车液相管连接的自动灌装阀（11），与所述电子级双氧水供给管道（10）连接的取样管（12），与所述取样管（12）连接的取样台（13），与所述柜体（1）连接的泄气管道（14），第一端与所述泄气管道（14）连接、另一端用于与槽车气相管连接的补气泄气阀（15），设置在所述泄气管道（14）上的泄气阀（16），第一端与所述氮气供给管道（8）连通、另一端与补气泄气阀（15）和泄气阀（16）之间的泄气管道连通的补气
2.根据权利要求1所述的用于电子级双氧水槽车灌装的装置，其特征在于，还具有第一端与所述氮气供给管道（8）连接，另一端与电子级双氧水供给管道（10）连接的管路吹扫管（18），设置在所述管路吹扫管（18）上的吹扫控制阀（19）。
3.根据权利要求1所述的用于电子级双氧水槽车灌装的装置，其特征在于，还具有与所述电子级双氧水供给管道（10）连接的手动供液管道（22），第一端与所述手动供液管道（22）连接、另一端用于与槽车液相管连接的手动灌装阀（23），与所述手动供液管道（22）连接的第二取样管（24），与所述手动供液管道（22）连接的第二清洗循环管（25），设置在所述第二清洗循环管（25）上的第二清洗循环控制阀（26），第一端与所述氮气供给管道（8）连接，另一端与手动供液管道（22）连接的第二管路吹扫管（27），设置在所述第二管路吹扫管（27）上的第二吹扫控制阀（28）；所述第二取样管（24）与取样台（13）连接。
4.根据权利要求1所述的用于电子级双氧水槽车灌装的装置，其特征在于，还具有为各用气设备供气的压缩空气管（29）。
5.一种用于电子级双氧水槽车灌装的方法，应用于权利要求1所述的用于电子级双氧水槽车灌装的装置，其特征在于，灌装过程包括以下步骤：
6.根据权利要求5所述的用于电子级双氧水槽车灌装的方法，其特征在于，所述用于电子级双氧水槽车灌装的装置还具有第一端与所述氮气供给管道（8）连接，另一端与电子级双氧水供给管道（10）连接的管路吹扫管（18），设置在所述管路吹扫管（18）上的吹扫控制阀（19）；灌装过程还包括以下步骤：
7.根据权利要求5所述的用于电子级双氧水槽车灌装的方法，其特征在于，所述用于电子级双氧水槽车灌装的装置还具有与所述电子级双氧水供给管道（10）连接的手动供液管道（22），第一端与所述手动供液管道（22）连接、另一端用于与槽车液相管连接的手动灌装阀（23），与所述手动供液管道（22）连接的第二取样管（24），与所述手动供液管道（22）连接的第二清洗循环管（25），设置在所述第二清洗循环管（25）上的第二清洗循环控制阀（26），第一端与所述氮气供给管道（8）连接，另一端与手动供液管道（22）连接的第二管路吹扫管（27），设置在所述第二管路吹扫管（27）上的第二吹扫控制阀（28）；所述第二取样管（24）与取样台（13）连接；当自动灌装生产线不能使用时，采用手动生产线进行灌装，灌装过程包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种用于电子级双氧水槽车灌装的装置，包括柜体（1），设置在所述柜体（1）内的电控系统（2），与所述柜体（1）连接的终端控制系统（3），其特征在于，还包括与所述柜体（1）连接的鼓风机（4），与所述柜体（1）连接对所述鼓风机（4）向柜体（1）内鼓入的空气进行过滤的空气过滤器（5），与所述柜体（1）连接的纯水供给管道（6），与所述纯水供给管道（6）连接的纯水冲洗喷枪（7a、7b），与所述柜体（1）连接的氮气供给管道（8），与所述氮气供给管道（8）连接的氮气吹扫枪（9a、9b），与所述柜体（1）连接的电子级双氧水供给管道（10），第一端与所述电子级双氧水供给管道（10）连接、另一端用于与槽车液相管连接的自动灌装阀（11），与所述电子级双氧水供给管道（10）连接的取样管（12），与所述取样管（12）连接的取样台（13），与所述柜体（1）连接的泄气管道（14），第一端与所述泄气管道（14）连接、另一端用于与槽车气相管连接的补气泄气阀（15），设置在所述泄气管道（14）上的泄气阀（16），第一端与所述氮气供给管道（8）连通、另一端与补气泄气阀（15）和泄气阀（16）之间的泄气管道连通的补气管（17），设置在所述补气管（17）上的补气控制阀（30），与所述自动灌装阀（11）连接的第一清洗循环管（20），设置在所述第一清洗循环管（20）上的第一清洗循环控制阀（21）；所述电控系统（2）为用电设备提供高压或低压电源；所述终端控制系统（3）包括plc，与所述plc电连接的触摸屏控制器，各操作或控制阀门与所述plc控制连接。
2.根据权利要求1所述的用于电子级双氧水槽车灌装的装置，其特征在于，还具有第一端与所述氮气供给管道（8）连接，另一端与电子级双氧水供给管道（10）连接的管路吹扫管（18），设置在所述管路吹扫管（18）上的吹扫控制阀（19）。
3.根据权利要求1所述的用于电子级双氧水槽车灌装的装置，其特征在于，还具有与所述电子级双氧水供给管道（10）连接的手动供液管道（22），第一端与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵涸浜，秦加美，李卫红，易颖朋，杨云强，曾翔，
申请(专利权)人：湖南双阳高科化工有限公司，
类型：发明
国别省市：
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