【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片加工，特别涉及一种opa芯片端面超声波抛光系统。
技术介绍
1、抛光是完成诸如切割或磨削以提供光滑表面的预处理的过程。可以提高诸如表面纹理，尺寸精度，平面度和圆度之类的几何形状的精度；抛光的方法大致分为两类：一种是通过将硬而细的砂轮固定到金属上的“固定磨粒加工方法”，另一种是“自由磨粒加工方法”，其中将砂粒与液体混合；其中包括电解抛光、超精加工、流体抛光以及振动抛光，振动抛光和原理和超声波抛光类似，是将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中，依靠超声波的振荡作用，使磨料在工件表面磨削抛光；对于芯片这种超精密的电子元件，其抛光处理是非常麻烦的，芯片的原材料晶圆在生产加工过程中，是需要进行抛光处理的，但目前利用超声波对晶圆抛光时，其定位工装是个较为麻烦的技术问题，一般对晶圆进行定位安装后，不能保证在一次加工处理作业中，对晶圆进行全区域抛光，使得抛光作业效率低下；基于此，本专利技术提出一种超声波抛光系统，能在一次加工处理作业中，对晶圆进行全区域抛光处理，省去多次安装操作，提高抛光作业效率；公告号为cn105856052b的中国专利公开一种超声波抛光设备，其技术方案为：包括抛光槽和至少一个震动机构，震动机构包括超声波单元、震板和多束弹性丝，多束所述弹性丝连接在震板上；从记载的内容上看，该专利只是记载了关于超声波抛光的技术方案，没有记载进行抛光处理时，对晶圆定位安装问题，没有解决上述技术问题。
技术实现思路
1、针对上述技术问题，本专利技术能在一次加工处理作业中，对晶圆进
2、本专利技术所使用的技术方案为：一种opa芯片端面超声波抛光系统，包括底座，底座上设置有用于抛光处理的超声波抛光箱，以及用于清洁处理的清洁箱；在底座上设置有定位工装件，用于定位安装工件；定位工装件包括滑动安装在底座上的滑座，滑座上固定连接有安装架，安装架上旋转安装有转盘，转盘上升降滑动设置有定位架，定位架上开设有呈圆形阵列布置的定位通孔；在定位架的上下端面上分别设置有点位支撑件，点位支撑件呈圆形阵列布置在定位架上；通过定位架上下端面对应的点位支撑件对工件进行支撑定位；点位支撑件包括滑动安装在定位架上的支撑滑座，支撑滑座上固定连接有支撑安装架，支撑安装架上旋转安装有支撑转盘，支撑转盘的端面上固定连接有支撑球杆；支撑转盘在支撑安装架上呈线性排列，且两个支撑转盘之间旋转安装有联动齿轮，联动齿轮分别与相邻的支撑转盘构成齿轮副；在呈圆形排布布置的支撑滑座上旋转安装有控制齿环，控制齿环与支撑转盘构成齿轮副；在定位架的上下端面分别设置有辅助支撑件，辅助支撑件包括滑动安装在定位架上的辅助连接架，辅助连接架的一端设置有辅助支撑球杆，辅助支撑球杆位于支撑转盘、支撑球杆的内侧；在底座的一侧设置有转移件，用于对工件进行夹持转移；转移件包括滑动安装在底座侧面的转移座，转移座上滑动设置有夹持杆，通过夹持杆对工件进行夹持转移。
3、进一步地，所述底座的顶部固定设置有电机一，以及旋转设置有丝杆一，电机一用于驱动丝杆一，丝杆一用于驱动定位工装件。
4、进一步地，所述定位工装件包括固定设置在滑座上的换位电机，换位电机的输出轴上连接有换位齿轮，换位齿轮与转盘构成齿轮副，转盘上设置有升降电机，升降电机的输出轴上连接有皮带结构，升降电机用于驱动定位架。
5、进一步地，所述定位架上固定设置有升降导杆和升降丝杆，升降导杆和升降丝杆滑动设置有转盘上，升降电机输出轴上皮带结构的一端与升降丝杆构成螺旋副。
6、进一步地，所述定位架的上下端面上分别连接有安装筒，安装筒的内部固定设置有控制电机，控制电机的输出轴上连接有控制转轴，控制转轴的一端连接有驱动齿轮；在安装筒的端面上旋转设置有啮合齿轮，啮合齿轮上设置有电磁夹筒，且啮合齿轮呈圆形阵列布置在安装筒的端面上，啮合齿轮与驱动齿轮构成齿轮副。
7、进一步地，所述安装筒的外侧旋转安装有调节丝杆，以及固定安装有调节导杆，调节导杆和调节丝杆呈圆形阵列布置在安装筒的外侧，且调节丝杆朝向啮合齿轮的一端位于电磁夹筒的内侧，通过电磁夹筒夹持调节丝杆的端部，以使啮合齿轮和调节丝杆同步转动，调节丝杆用于驱动点位支撑件。
8、进一步地，所述点位支撑件上的支撑滑座滑动设置在调节导杆和调节丝杆上，且支撑滑座与调节丝杆构成螺旋副；在支撑滑座上设置有限位轮，控制齿环旋转设置在限位轮上，限位轮用于限位控制齿环；在呈圆形阵列布置的支撑滑座中，其中一个支撑滑座上设置有防护密封电机，防护密封电机的输出轴上连接有控制齿轮，控制齿轮与控制齿环构成齿轮副。
9、进一步地，所述辅助支撑件包括设置在定位架上的辅助安装箱，辅助安装箱的内部设置有辅助控制电缸，辅助控制电缸的伸缩杆与辅助连接架固定连接。
10、进一步地，所述转移件包括设置在底座侧面的转移电机，转移电机的输出轴上连接有皮带结构，在转移座的端面上固定连接有转移丝杆和转移导杆，转移丝杆和转移导杆滑动设置在底座的侧面，且转移丝杆与转移电机输出轴上皮带结构的一端构成螺旋副；在转移座上设置有夹持电缸，夹持电缸用于控制电磁夹筒移动。
11、本专利技术与现有技术相比的有益效果是：（1）本专利技术中，工件位于超声波抛光箱中时，在超声波抛光箱中形成超声波场，通过超声波与磨料悬浮液对工件（晶圆）进行抛光处理；抛光完毕后，转移工件至清洁箱中，以进行后续的清洁处理；（2）本专利技术中，工件通过位于定位架上下两端的支撑球杆进行夹持固定，且支撑球杆与工件表面位点接触，不仅能起到定位固定的作用，还减少与工件的接触面积，在进行抛光处理时，能对工件表面进行充分抛光；（3）本专利技术中，通过调节支撑球杆的角度，进行支撑点位调整变换操作，即使得初始支撑位就暴露在外，可完成对工件的全区域抛光处理；（4）本专利技术中，在完成抛光处理后，将工件转移至清洁箱中，以进行清洁处理；为节省人工卸下工件的时间，通过转移件对工件进行拆除转移。
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1.一种OPA芯片端面超声波抛光系统，包括底座（1），底座（1）上设置有用于抛光处理的超声波抛光箱（5），以及用于清洁处理的清洁箱（6）；其特征在于：在底座（1）上设置有定位工装件，用于定位安装工件；定位工装件包括滑动安装在底座（1）上的滑座（4），滑座（4）上固定连接有安装架（7），安装架（7）上旋转安装有转盘（8），转盘（8）上升降滑动设置有定位架（14），定位架（14）上开设有呈圆形阵列布置的定位通孔；在定位架（14）的上下端面上分别设置有点位支撑件，点位支撑件呈圆形阵列布置在定位架（14）上；通过定位架（14）上下端面对应的点位支撑件对工件进行支撑定位；点位支撑件包括滑动安装在定位架（14）上的支撑滑座（24），支撑滑座（24）上固定连接有支撑安装架（26），支撑安装架（26）上旋转安装有支撑转盘（28），支撑转盘（28）的端面上固定连接有支撑球杆（29）；支撑转盘（28）在支撑安装架（26）上呈线性排列，且两个支撑转盘（28）之间旋转安装有联动齿轮（27），联动齿轮（27）分别与相邻的支撑转盘（28）构成齿轮副；在呈圆形排布布置的支撑滑座（24）上旋转安装有控制齿环（1
2.根据权利要求1所述的一种OPA芯片端面超声波抛光系统，其特征在于：所述底座（1）的顶部固定设置有电机一（2），以及旋转设置有丝杆一（3），电机一（2）用于驱动丝杆一（3），丝杆一（3）用于驱动定位工装件。
3.根据权利要求2所述的一种OPA芯片端面超声波抛光系统，其特征在于：所述定位工装件包括固定设置在滑座（4）上的换位电机（13），换位电机（13）的输出轴上连接有换位齿轮（12），换位齿轮（12）与转盘（8）构成齿轮副，转盘（8）上设置有升降电机（9），升降电机（9）的输出轴上连接有皮带结构，升降电机（9）用于驱动定位架（14）。
4.根据权利要求3所述的一种OPA芯片端面超声波抛光系统，其特征在于：所述定位架（14）上固定设置有升降导杆（10）和升降丝杆（11），升降导杆（10）和升降丝杆（11）滑动设置有转盘（8）上，升降电机（9）输出轴上皮带结构的一端与升降丝杆（11）构成螺旋副。
5.根据权利要求4所述的一种OPA芯片端面超声波抛光系统，其特征在于：所述定位架（14）的上下端面上分别连接有安装筒（20），安装筒（20）的内部固定设置有控制电机（32），控制电机（32）的输出轴上连接有控制转轴（33），控制转轴（33）的一端连接有驱动齿轮（21）；在安装筒（20）的端面上旋转设置有啮合齿轮（30），啮合齿轮（30）上设置有电磁夹筒（31），且啮合齿轮（30）呈圆形阵列布置在安装筒（20）的端面上，啮合齿轮（30）与驱动齿轮（21）构成齿轮副。
6.根据权利要求5所述的一种OPA芯片端面超声波抛光系统，其特征在于：所述安装筒（20）的外侧旋转安装有调节丝杆（23），以及固定安装有调节导杆（22），调节导杆（22）和调节丝杆（23）呈圆形阵列布置在安装筒（20）的外侧，且调节丝杆（23）朝向啮合齿轮（30）的一端位于电磁夹筒（31）的内侧，通过电磁夹筒（31）夹持调节丝杆（23）的端部，以使啮合齿轮（30）和调节丝杆（23）同步转动，调节丝杆（23）用于驱动点位支撑件。
7.根据权利要求6所述的一种OPA芯片端面超声波抛光系统，其特征在于：所述点位支撑件上的支撑滑座（24）滑动设置在调节导杆（22）和调节丝杆（23）上，且支撑滑座（24）与调节丝杆（23）构成螺旋副；在支撑滑座（24）上设置有限位轮（25），控制齿环（19）旋转设置在限位轮（25）上，限位轮（25）用于限位控制齿环（19）；在呈圆形阵列布置的支撑滑座（24）中，其中一个支撑滑座（24）上设置有防护密封电机（34），防护密封电机（34）的输出轴上连接有控制齿轮（35），控制齿轮（35）与控制齿环（19）构成齿轮副。
8.根据权利要求1所述的一种OPA芯片端面超声波抛光系统，其特征在于：所述辅助支撑件包括设置在定位架（14）上的辅助安装箱（15），辅助安装箱（15）的内部设置有辅助控制电缸（16），辅助控制电缸（16）的伸缩杆与辅助...
【技术特征摘要】
1.一种opa芯片端面超声波抛光系统，包括底座（1），底座（1）上设置有用于抛光处理的超声波抛光箱（5），以及用于清洁处理的清洁箱（6）；其特征在于：在底座（1）上设置有定位工装件，用于定位安装工件；定位工装件包括滑动安装在底座（1）上的滑座（4），滑座（4）上固定连接有安装架（7），安装架（7）上旋转安装有转盘（8），转盘（8）上升降滑动设置有定位架（14），定位架（14）上开设有呈圆形阵列布置的定位通孔；在定位架（14）的上下端面上分别设置有点位支撑件，点位支撑件呈圆形阵列布置在定位架（14）上；通过定位架（14）上下端面对应的点位支撑件对工件进行支撑定位；点位支撑件包括滑动安装在定位架（14）上的支撑滑座（24），支撑滑座（24）上固定连接有支撑安装架（26），支撑安装架（26）上旋转安装有支撑转盘（28），支撑转盘（28）的端面上固定连接有支撑球杆（29）；支撑转盘（28）在支撑安装架（26）上呈线性排列，且两个支撑转盘（28）之间旋转安装有联动齿轮（27），联动齿轮（27）分别与相邻的支撑转盘（28）构成齿轮副；在呈圆形排布布置的支撑滑座（24）上旋转安装有控制齿环（19），控制齿环（19）与支撑转盘（28）构成齿轮副；在定位架（14）的上下端面分别设置有辅助支撑件，辅助支撑件包括滑动安装在定位架（14）上的辅助连接架（17），辅助连接架（17）的一端设置有辅助支撑球杆（18），辅助支撑球杆（18）位于支撑转盘（28）、支撑球杆（29）的内侧；在底座（1）的一侧设置有转移件，用于对工件进行夹持转移；转移件包括滑动安装在底座（1）侧面的转移座（39），转移座（39）上滑动设置有夹持杆（41），通过夹持杆（41）对工件进行夹持转移。
2.根据权利要求1所述的一种opa芯片端面超声波抛光系统，其特征在于：所述底座（1）的顶部固定设置有电机一（2），以及旋转设置有丝杆一（3），电机一（2）用于驱动丝杆一（3），丝杆一（3）用于驱动定位工装件。
3.根据权利要求2所述的一种opa芯片端面超声波抛光系统，其特征在于：所述定位工装件包括固定设置在滑座（4）上的换位电机（13），换位电机（13）的输出轴上连接有换位齿轮（12），换位齿轮（12）与转盘（8）构成齿轮副，转盘（8）上设置有升降电机（9），升降电机（9）的输出轴上连接有皮带结构，升降电机（9）用于驱动定位架（14）。
4.根据权利要求3所述的一种opa芯片端面超声波抛光系统，其特征在于：所述定位架（14）上固定设置有升降导杆（10）和升降丝杆（11），升降导杆（10）和升降丝杆（11）滑动设置有转盘（8）上，升降电...
【专利技术属性】
技术研发人员：王亮，庄雅婷，王家俊，姜大成，
申请(专利权)人：扬州群发光芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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