【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子成像领域，尤其是涉及一种电镜扫描成像方法。
技术介绍
1、sem扫描电子显微镜是一种用于观察微观结构的仪器，它使用电子束来显微物体的表面，具有高分辨率和深部焦点的优点。样品台扫描(stage scan)是sem中的一项功能，它用于自动扫描样本的表面，以获得高质量的图像和图像合成。在扫描电镜的样品台扫描(stage scan)过程中，如果样品台移动不精准，可能会导致图像之间产生错位，这将导致后续图像拼接难度增加，运算耗时增长，甚至最终拼接结果不尽人意，使用户花费更多的时间进行重新采集。
2、为了避免该问题，通常会在相邻图像采集过程中，相邻图像设置相应比例的重叠信息区域，如附图1所示，利用重叠的相同信息区域对相邻图像进行特征点计算、仿射变换从而解决图像错位问题。具体为：样品台扫描时进行冗余的信息采集，通过相邻图像的重叠信息区域，进行特征点计算与匹配，就能得到相应的错位信息。再通过仿射变换将相邻图像对齐，再将图像拼接在一起形成一个更大的图像。同时，需要考虑重叠区域的像素值的融合，以避免拼接处的不连续性。
3、目前样品台扫描(stage scan)常用等待所有图像采集完毕后，集中进行离线计算，而这种大规模的图像处理，需要大量的计算资源，而这种采图错位的问题，会增加整个处理流程的计算量。
4、同时，在半导体芯片的扫描电镜高放大倍率下样品台扫描(stage scan)的拼接中，这种错位信息存在的同时，加之芯片样品图像信息高同质化，很难提取到准确的特征点后再利用仿射变换进行还原，很容易导致
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的之一在于提供一种能够在电镜序列采图过程中自动错位监测及自动纠正的电镜扫描成像方法。
2、本专利技术的目的之一采用如下技术方案实现：
3、一种电镜扫描成像方法，包括以下步骤：
4、s1：设置图像采集过程中重叠区域比例；
5、s2：对每相邻的两幅图像，根据相应比例的重叠信息区域，进行滑动的模板匹配，得到两幅相邻图像匹配度最高时的偏移像素距离dpix；
6、s3：当偏移像素距离dpix小于等于预先设定的阈值时，根据当前的采集参数获取当前单帧图像的视场，根据偏移像素距离dpix计算出两幅相邻图像在采集过程中的实际错位偏移距离dreal；
7、s4：当实际错位偏移距离dreal小于等于预先设定的阈值时，保证样品台锁止不移动的前提下，采用电子束偏移的方式进行补偿修正，并对该帧图像进行重采；
8、s5：重复步骤s2至s5，直至所有图像序列采集完毕。
9、进一步地，步骤s1中，重叠区域比例为10％-20％。
10、进一步地，在步骤s3中，当偏移像素距离dpix大于预先设定的阈值时，提醒用户检查电镜。
11、进一步地，在步骤s4中，当实际错位偏移距离dreal大于预先设定的阈值时，提醒用户检查电镜。
12、相比现有技术，本专利技术电镜扫描成像方法对每相邻的两幅图像，根据相应比例的重叠信息区域，进行滑动的模板匹配，得到两幅相邻图像匹配度最高时的偏移像素距离dpix，当偏移像素距离dpix小于等于预先设定的阈值时，根据当前的采集参数获取当前单帧图像的视场，根据偏移像素距离dpix计算出两幅相邻图像在采集过程中的实际错位偏移距离dreal，当实际错位偏移距离dreal小于等于预先设定的阈值时，保证样品台锁止不移动的前提下，采用电子束偏移的方式进行补偿修正，并对该帧图像进行重采，通过上述步骤，可有效监测序列采图过程中错位信息，若错位较小，则使用精度更高的电子束偏移代替样品台运动进行补偿后重采，实现自动纠正；若错位较大，则及时提醒用户介入，避免导致拼接效果不佳。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种电镜扫描成像方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的电镜扫描成像方法，其特征在于：步骤S1中，重叠区域比例为10％-20％。
3.根据权利要求1所述的电镜扫描成像方法，其特征在于：在步骤S3中，当偏移像素距离Dpix大于预先设定的阈值时，提醒用户检查电镜。
4.根据权利要求1所述的电镜扫描成像方法，其特征在于：在步骤S4中，当实际错位偏移距离Dreal大于预先设定的阈值时，提醒用户检查电镜。
【技术特征摘要】
1.一种电镜扫描成像方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的电镜扫描成像方法，其特征在于：步骤s1中，重叠区域比例为10％-20％。
3.根据权利要求1所述的电镜扫描成像方法，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：于潇，王冬，潘苏贵，纪永亮，丁新，
申请(专利权)人：屹东光学技术苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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