【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆推拉力测试机，具体为一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机。
技术介绍
1、晶圆作为一种半导体硅晶片，其通常需要通过引脚焊接在电路板上，而为了测试晶圆引脚与电路板的焊接牢固度，需要使用到推拉力测试机。
2、现有的推拉力测试机通常未设置有电路板夹紧力度控制机构，在装夹过程中容易导致电路板损坏，同时夹紧过程中未设置有自动纠偏功能，对上料时电路板的放置位置要求高，现有的推拉力测试机通常依靠精确驱动机构推动检测模块移动，然而该驱动方式耗费时间长，一定程度上降低了检测效率，并且现有的推拉力测试机依靠电传感器控制推拉力测试的启停，一般在检测到指定推拉力时停止移动，然而在检测与驱动的过程中不可避免的会具有一定的时间差，这会导致在检测过程中晶圆收到的推拉力大于预定值，继而导致晶圆与电路板的脱焊，现有的推拉力测试机难以快速更换推力测试与拉力测试，其更换过程复杂，且耗时长，进一步的降低了检测效率，针对上述问题，需要对现有设备进行改进。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的推拉力测试机通常未设置有电路板夹紧力度控制机构，对上料时电路板的放置位置要求高，现有的推拉力测试机通常依靠精确驱动机构推动检测模块移动，然而该驱动方式耗费时间长，一定程度上降低了检测效率，并且现有的推拉力测试机依靠电传感器控制推拉力测试的启停，在检测过程中晶圆收到的推拉力大于预定值，继而导致晶圆与电路板的脱焊，现有的推拉力测试机
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，包括机架、液压夹紧机构、滑台、推拉测试机构和液压油箱，所述机架中部固定有工作台，且工作台表面开设有放置槽，所述工作台内部与放置槽内部安装有液压夹紧机构，所述机架上侧滑动安装有滑台，且机架顶部固定安装有第一丝杠驱动装置，同时滑台两侧与第一丝杠驱动装置相连接；
3、所述滑台顶部四角均固定安装有液压驱动装置，且四个液压驱动装置均贯穿滑台与回形架相连接，所述回形架底部四角均固定安装有液压阻尼器，且液压阻尼器外侧设置有定位柱，同时定位柱固定安装在回形架底部，所述回形架中心安装有x轴丝杠驱动装置，且x轴丝杠驱动装置底部安装有y轴丝杠驱动装置，所述y轴丝杠驱动装置底部固定安装推拉测试机构，且y轴丝杠驱动装置左侧固定安装有液压油箱，所述液压油箱内部固定安装有第一液压泵，且第一液压泵通过叉管与推拉测试机构相连通。
4、优选的，所述液压夹紧机构包括夹板、液压主管、第一液压缸、第一液压杆、复位弹簧和第二液压泵，所述液压主管开设在工作台内部，且液压主管与工作台底部固定安装的第二液压泵相连通，所述工作台内部开设有第一液压缸，且第一液压缸与液压主管相连通，所述第一液压缸内部滑动安装有第一液压杆，且第一液压杆与第一液压缸之间安装有复位弹簧，所述第一液压杆贯穿工作台与夹板相连接，且夹板滑动安装有放置槽内部；
5、通过采用上述技术方案，第二液压泵通过向液压主管内加压，随后四个第一液压缸也随液压主管加压，四个第一液压缸内的第一液压杆同时向工作台中心移动，在第一液压杆上的夹板装夹电路板时，四个第一液压杆对夹板的压力相同，便于将夹板装夹在工作台中心。
6、优选的，所述夹板设置有四个，且四个夹板一放置槽为中心呈“十”字型设置；
7、通过采用上述技术方案，四个夹板分别被四个第一液压杆推动，“十”字型便于装夹电路板的四个侧面，使电路板装夹更加稳固。
8、优选的，所述推拉测试机构包括模块箱、凹槽、拉力测试模块、推力测试模块和电磁推杆，所述模块箱固定安装在y轴丝杠驱动装置底部，且模块箱底部前后两侧均开设有凹槽，所述模块箱前侧的凹槽内部放置有拉力测试模块，且模块箱后侧的凹槽内部放置有推力测试模块，所述拉力测试模块以及推力测试模块均通过电磁推杆与模块箱相连接；
9、通过采用上述技术方案，两个电磁推杆分别推动推力测试模块与拉力测试模块，使推力测试模块伸出凹槽的同时拉力测试模块缩入凹槽，或者拉力测试模块伸出凹槽的同时推力测试模块缩入凹槽，同时通过y轴丝杠驱动装置快速调节模块箱的位置，便于根据测试需求快速选择拉力测试模块和推力测试模块。
10、优选的，所述拉力测试模块包括第二液压缸、第二液压杆和拉钩，所述第二液压缸固定安装在电磁推杆底部，且第二液压缸底部滑动安装有第二液压杆，同时第二液压杆底部固定安装有拉钩，所述第二液压缸与第二液压杆均呈竖直设置；
11、通过采用上述技术方案，x轴丝杠驱动装置与y轴丝杠驱动装置配合移动拉钩的水平位置，同时第二液压缸推动第二液压杆上的拉钩垂直移动，便于通过拉钩拉动晶圆完成测试。
12、优选的，所述推力测试模块包括第三液压缸、第三液压杆和推板，所述第三液压缸固定安装在电磁推杆底部，且第三液压缸左侧滑动安装有第三液压杆，同时第三液压杆左侧安装有推板，所述第三液压缸与第三液压杆均呈水平设置；
13、通过采用上述技术方案，x轴丝杠驱动装置与y轴丝杠驱动装置配合移动推板的水平位置，同时第三液压缸推动第三液压杆上的推板进一步接触晶圆，便于通过推动晶圆完成测试。
14、优选的，所述推力测试模块的最下端与拉力测试模块的最下端位于同一水平面上；
15、通过采用上述技术方案，使得推力测试模块与拉力测试缩入凹槽内的深度相同。避免推力测试模块与拉力测试模块互相干扰。
16、优选的，所述叉管同时与第二液压缸以及第三液压缸相连通，且叉管与第二液压缸连通处位于第二液压缸最下端，同时叉管与第三液压缸的连通处位于第三液压缸的最右端；
17、通过采用上述技术方案，第一液压泵通过叉管向第二液压缸内输送液压油，便于第二液压缸内第二液压杆上升，第一液压泵通过叉管向第三液压缸内输送液压油，便于第三液压缸内的第三液压杆向左移动。
18、优选的，所述叉管内部靠近第一液压泵的一端安装有液压传感器，且叉管内部靠近推拉测试机构的一端安装有电磁换向阀；
19、通过采用上述技术方案，第一液压泵通过叉管向第二液压缸或第三液压缸内输送液压油，电磁换向阀控制叉管内液压油的流向，而液压传感器检测第二液压缸以及第三液压缸内的油压，便于第一液压泵根据油压控制第二液压缸内的第二液压杆以及第三液压缸内的第三液压杆的位移，继而根据第二液压杆与第三液压杆的受力控制对晶圆的推拉力。
20、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，
21、(1)液压夹紧机构和放置槽，放置槽上滑动安装有四个夹板，且四个夹板均与第一液压杆相连接，第二液压泵通过液压主管同时向四个第一液压缸输送液压油，由于液压原理，四个第一液压杆受到的推力相同，使得四个夹板的推力也相同，便于四个夹板配合装夹电路板并本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，包括机架(1)、液压夹紧机构(4)、滑台(5)、推拉测试机构(13)和液压油箱(14)，其特征在于：所述机架(1)中部固定有工作台(2)，且工作台(2)表面开设有放置槽(3)，所述工作台(2)内部与放置槽(3)内部安装有液压夹紧机构(4)，所述机架(1)上侧滑动安装有滑台(5)，且机架(1)顶部固定安装有第一丝杠驱动装置(6)，同时滑台(5)两侧与第一丝杠驱动装置(6)相连接；
2.根据权利要求1所述的一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，其特征在于：所述液压夹紧机构(4)包括夹板(41)、液压主管(42)、第一液压缸(43)、第一液压杆(44)、复位弹簧(45)和第二液压泵(46)，所述液压主管(42)开设在工作台(2)内部，且液压主管(42)与工作台(2)底部固定安装的第二液压泵(46)相连通，所述工作台(2)内部开设有第一液压缸(43)，且第一液压缸(43)与液压主管(42)相连通，所述第一液压缸(43)内部滑动安装有第一液压杆(44)，且第一液压杆(44)与第一液压缸(43)之间安装有复位弹簧(45)，所述第一液压
3.根据权利要求2所述的一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，其特征在于：所述夹板(41)设置有四个，且四个夹板(41)一放置槽(3)为中心呈“十”字型设置。
4.根据权利要求1所述的一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，其特征在于：所述推拉测试机构(13)包括模块箱(131)、凹槽(132)、拉力测试模块(133)、推力测试模块(134)和电磁推杆(135)，所述模块箱(131)固定安装在Y轴丝杠驱动装置(12)底部，且模块箱(131)底部前后两侧均开设有凹槽(132)，所述模块箱(131)前侧的凹槽(132)内部放置有拉力测试模块(133)，且模块箱(131)后侧的凹槽(132)内部放置有推力测试模块(134)，所述拉力测试模块(133)以及推力测试模块(134)均通过电磁推杆(135)与模块箱(131)相连接。
5.根据权利要求4所述的一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，其特征在于：所述拉力测试模块(133)包括第二液压缸(1331)、第二液压杆(1332)和拉钩(1333)，所述第二液压缸(1331)固定安装在电磁推杆(135)底部，且第二液压缸(1331)底部滑动安装有第二液压杆(1332)，同时第二液压杆(1332)底部固定安装有拉钩(1333)，所述第二液压缸(1331)与第二液压杆(1332)均呈竖直设置。
6.根据权利要求4所述的一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，其特征在于：所述推力测试模块(134)包括第三液压缸(1341)、第三液压杆(1342)和推板(1343)，所述第三液压缸(1341)固定安装在电磁推杆(135)底部，且第三液压缸(1341)左侧滑动安装有第三液压杆(1342)，同时第三液压杆(1342)左侧安装有推板(1343)，所述第三液压缸(1341)与第三液压杆(1342)均呈水平设置。
7.根据权利要求4所述的一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，其特征在于：所述推力测试模块(134)的最下端与拉力测试模块(133)的最下端位于同一水平面上。
8.根据权利要求1所述的一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，其特征在于：所述叉管(16)同时与第二液压缸(1331)以及第三液压缸(1341)相连通，且叉管(16)与第二液压缸(1331)连通处位于第二液压缸(1331)最下端，同时叉管(16)与第三液压缸(1341)的连通处位于第三液压缸(1341)的最右端。
9.根据权利要求1所述的一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，其特征在于：所述叉管(16)内部靠近第一液压泵(15)的一端安装有液压传感器(17)，且叉管(16)内部靠近推拉测试机构(13)的一端安装有电磁换向阀(18)。
...【技术特征摘要】
1.一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，包括机架(1)、液压夹紧机构(4)、滑台(5)、推拉测试机构(13)和液压油箱(14)，其特征在于：所述机架(1)中部固定有工作台(2)，且工作台(2)表面开设有放置槽(3)，所述工作台(2)内部与放置槽(3)内部安装有液压夹紧机构(4)，所述机架(1)上侧滑动安装有滑台(5)，且机架(1)顶部固定安装有第一丝杠驱动装置(6)，同时滑台(5)两侧与第一丝杠驱动装置(6)相连接；
2.根据权利要求1所述的一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，其特征在于：所述液压夹紧机构(4)包括夹板(41)、液压主管(42)、第一液压缸(43)、第一液压杆(44)、复位弹簧(45)和第二液压泵(46)，所述液压主管(42)开设在工作台(2)内部，且液压主管(42)与工作台(2)底部固定安装的第二液压泵(46)相连通，所述工作台(2)内部开设有第一液压缸(43)，且第一液压缸(43)与液压主管(42)相连通，所述第一液压缸(43)内部滑动安装有第一液压杆(44)，且第一液压杆(44)与第一液压缸(43)之间安装有复位弹簧(45)，所述第一液压杆(44)贯穿工作台(2)与夹板(41)相连接，且夹板(41)滑动安装有放置槽(3)内部。
3.根据权利要求2所述的一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，其特征在于：所述夹板(41)设置有四个，且四个夹板(41)一放置槽(3)为中心呈“十”字型设置。
4.根据权利要求1所述的一种便于控制夹紧力度的晶圆推拉力测试机，其特征在于：所述推拉测试机构(13)包括模块箱(131)、凹槽(132)、拉力测试模块(133)、推力测试模块(134)和电磁推杆(135)，所述模块箱(131)固定安装在y轴丝杠驱动装置(12)底部，且模块箱(131)底部前后两侧均开设有凹槽(132)，所述模块箱(131)前侧的凹槽(132)内部放置有拉力测试模块(133)，且模块箱(131)后侧的凹槽(132)内部放置有推力测...
【专利技术属性】
技术研发人员：王政雄，
申请(专利权)人：广西华芯振邦半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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