【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工，尤其涉及一种刀轮切削校准装置及晶圆修边设备。
技术介绍
1、随着3d ic(3d堆叠芯片)技术的不断发展，需要堆叠的晶圆数量越来越多。相邻两片晶圆进行堆叠时，如果边缘不平整易导致晶圆合并不够紧密，后续晶圆研磨减薄(grinding)工序中容易产生裂纹或碎片，严重影响品质及良率。为避免上述情况的发生，在两片晶圆进行合并之前先对其中一片晶圆进行修边(trim)处理，即用特殊的研磨刀轮将晶圆的边缘磨削凹陷处理，形成台阶槽。
2、晶圆修边用刀轮为金刚石和树脂混合压制成的一个圆环，刀轮在晶圆修边过程中会不断地被磨损，导致刀轮的外径逐渐减小；如果不对刀轮的磨损情况进行检测并将磨损量补偿到晶圆修边的切削深度中，则会导致晶圆修边形成的台阶槽厚度不一致，从而影响晶圆的修边质量和加工良率。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种刀轮切削校准装置及晶圆修边设备，能够对刀轮的磨损量进行检测和补偿，从而提高晶圆的修边质量和加工良率。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、刀轮切削校准装置，包括：
4、空气主轴，所述空气主轴用于装载刀轮并驱动所述刀轮旋转；
5、对射传感器，所述对射传感器沿z轴方向设置在所述刀轮的下方，所述对射传感器包括间隔设置在同一水平高度的发射端和接收端，所述发射端能够向所述接收端发射光线，所述接收端用于接收所述发射端发出的所述光线并检测所述刀轮的遮光率a；
6、z轴运动模组，所述空气
7、作为优选地，所述刀轮切削校准装置还包括清洗组件，所述清洗组件包括冲洗管，所述冲洗管用于向所述对射传感器喷洒清洗液。
8、作为优选地，所述清洗组件还包括吹气管，所述吹气管用于向所述对射传感器吹送气流，以使湿润的所述对射传感器干燥。
9、作为优选地，所述刀轮切削校准装置还包括保护组件，所述保护组件包括保护盖，所述保护盖具有开启位置和关闭位置，在所述关闭位置，所述保护盖罩设在所述对射传感器上；在所述开启位置，所述保护盖远离所述对射传感器，所述刀轮能够沿所述z轴移动至所述发射端和所述接收端之间。
10、作为优选地，所述保护组件还包括驱动件，所述驱动件与所述保护盖连接，所述驱动件能够驱动所述保护盖在所述关闭位置和所述开启位置之间转动。
11、作为优选地，所述z轴运动模组包括第一丝杠、第一滑轨、第一滑台以及第一丝杠电机，所述第一丝杠沿所述z轴设置，所述第一滑轨平行于所述第一丝杠设置，所述第一滑台滑动设置在所述第一滑轨上且与所述第一丝杠螺纹配合，所述第一丝杠电机用于驱动所述第一丝杠转动，所述空气主轴设置在所述第一滑台上。
12、晶圆修边设备，包括上述刀轮切削校准装置，还包括：
13、旋转平台，所述旋转平台用于承载并固定所述晶圆，所述旋转平台能够带动所述晶圆转动；
14、y轴运动模组，所述对射传感器和所述旋转平台间隔设置在所述y轴运动模组上，所述y轴运动模组能够带动所述对射传感器沿y轴移动至所述刀轮的下方，所述y轴运动模组还能够带动所述旋转平台沿所述y轴移动至所述刀轮的下方。
15、本技术的有益效果在于：
16、本技术提供的刀轮切削校准装置，由于刀轮设置在空气主轴上，所以刀轮能够在空气主轴的驱动下旋转，为后续刀轮整体的遮光率检测创造条件，从而提高刀轮校准的准确性；由于沿z轴在刀轮下方设置有对射传感器，对射传感器包括间隔设置在同一水平高度的发射端和接收端，通过将空气主轴设置在z轴运动模组上，z轴运动模组能够带动空气主轴沿z轴移动，因此刀轮能够在空气主轴的带动下沿z轴向下移动至发射端和接收端之间，从而对发射端发出的光线进行遮挡并形成遮光率a；当刀轮切削完一组晶圆后，通过z轴运动模组将刀轮沿z轴下移至对射传感器上进行遮光，通过对比切削晶圆前后刀轮达到相同遮光率a时下降的距离，即可测算出刀轮在切削该组晶圆时的磨损量，之后根据磨损量，使用z轴运动模组调整刀轮的进刀量，以实现对刀轮磨损量的补偿，从而保证每组晶圆修边形成的台阶槽厚度一致，能够提高晶圆的修边质量和加工良率。
17、本技术提供的晶圆修边设备，采用上述刀轮切削校准装置，能够对刀轮切削晶圆过程中的磨损量进行检测并对刀轮的进刀量进行校准和补偿，从而保证晶圆修边形成的台阶槽厚度一致，能够提高晶圆的修边质量和加工良率。
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1.刀轮切削校准装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的刀轮切削校准装置，其特征在于，所述刀轮(100)切削校准装置还包括清洗组件(4)，所述清洗组件(4)包括冲洗管，所述冲洗管用于向所述对射传感器(2)喷洒清洗液。
3.根据权利要求2所述的刀轮切削校准装置，其特征在于，所述清洗组件(4)还包括吹气管，所述吹气管用于向所述对射传感器(2)吹送气流，以使湿润的所述对射传感器(2)干燥。
4.根据权利要求1所述的刀轮切削校准装置，其特征在于，所述刀轮(100)切削校准装置还包括保护组件(5)，所述保护组件(5)包括保护盖(51)，所述保护盖(51)具有开启位置和关闭位置，在所述关闭位置，所述保护盖(51)罩设在所述对射传感器(2)上；在所述开启位置，所述保护盖(51)远离所述对射传感器(2)，所述刀轮(100)能够沿所述Z轴移动至所述发射端(21)和所述接收端(22)之间。
5.根据权利要求4所述的刀轮切削校准装置，其特征在于，所述保护组件(5)还包括驱动件(52)，所述驱动件(52)与所述保护盖(51)连接，所述驱动件(52
6.根据权利要求1所述的刀轮切削校准装置，其特征在于，所述Z轴运动模组包括第一丝杠、第一滑轨、第一滑台以及第一丝杠电机，所述第一丝杠沿所述Z轴设置，所述第一滑轨平行于所述第一丝杠设置，所述第一滑台滑动设置在所述第一滑轨上且与所述第一丝杠螺纹配合，所述第一丝杠电机用于驱动所述第一丝杠转动，所述空气主轴(1)设置在所述第一滑台上。
7.晶圆修边设备，其特征在于，包括权利要求1-6任一项所述的刀轮切削校准装置，还包括：
...【技术特征摘要】
1.刀轮切削校准装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的刀轮切削校准装置，其特征在于，所述刀轮(100)切削校准装置还包括清洗组件(4)，所述清洗组件(4)包括冲洗管，所述冲洗管用于向所述对射传感器(2)喷洒清洗液。
3.根据权利要求2所述的刀轮切削校准装置，其特征在于，所述清洗组件(4)还包括吹气管，所述吹气管用于向所述对射传感器(2)吹送气流，以使湿润的所述对射传感器(2)干燥。
4.根据权利要求1所述的刀轮切削校准装置，其特征在于，所述刀轮(100)切削校准装置还包括保护组件(5)，所述保护组件(5)包括保护盖(51)，所述保护盖(51)具有开启位置和关闭位置，在所述关闭位置，所述保护盖(51)罩设在所述对射传感器(2)上；在所述开启位置，所述保护盖(51)远离所述对射传感器(2)，所述刀轮...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱松，万先进，田鑫，张怀东，秦宝宏，边逸军，
申请(专利权)人：宁波芯丰精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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