【技术实现步骤摘要】
本申请涉及芯片测试，具体而言，涉及一种解锁装置及测试设备。
技术介绍
1、随着半导体行业的快速发展，现代芯片趋向高集成化和微型化，且设计、生产和制造日益繁杂，任何环节的失误都容易导致产品的失效。芯片在完成加工制造工序后，为验证功能的正常与完整性，需要进行测试和分选，剔除掉不良品以降低后序成本的损失。芯片在分选和测试时，在上料工位由供料专用机械手自动将芯片放置于料盘中，经过水平或者竖直输送，并经过测试工位后，在卸料工位将料盘上的芯片由卸除专用机械手将芯片全部取下，空载料盘通过流转装置传送至上料工位，形成循环回流。料盘上矩阵式排列设置多个插入件，用于放置芯片，插入件在料盘内可沿料盘的厚度方向运动，其中，芯片底部贴紧插入件内腔底部，芯片四周与插入件内腔四周小间隙配合，在插入件打开的情况下，芯片可在内腔内沿厚度方向移动，实现芯片的上料和下料。芯片在搬运和测试过程中，通过两侧扭簧带动可沿各自中心轴转动的翅片压住芯片上表面，限制住厚度方向的自由度。
2、在芯片上料和下料的过程中，需要对插入件进行打开解锁，现有的解锁组件采用固定行数的解锁结构，料盘在移动过程中，解锁结构对插入件的固定行数的插入件进行解锁，当解锁结构行数过多时，料盘上芯片的行数与解锁机构的行数不匹配，使得有一些行的解锁结构空解锁，对解锁结构进行不必要的磨损，从而减小了解锁结构的使用寿命；而当解锁结构行数过少时，需要多次移动料盘，降低解锁效率。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种解锁装置及测试设备，能够提高解锁结
2、本申请的实施例一方面提供了一种解锁装置，包括底座，以及设置于底座上的步进移动组件和定位打开组件，步进移动组件和定位打开组件用于分别与料盘连接，料盘上矩阵式排列有m*n个锁合结构，其中，m、n均为大于2的正整数，步进移动组件用于带动料盘沿第一方向步进运动，定位打开组件沿第一方向依次间隔排列有多组，多组定位打开组件沿第二方向顶升后分别对应打开料盘上的锁合结构，多组定位打开组件相互独立设置，第一方向与竖直方向垂直。
3、作为一种可实施的方式，定位打开组件包括与底座固定连接的驱动件，以及与驱动件的驱动端连接的定位打开板，定位打开板远离驱动件的一侧矩阵式排列有x*n个定位打开结构，驱动件带动定位打开板沿第二方向运动，以使定位打开结构与锁合结构接触，打开x*n个锁合结构，其中，x为不小于1，且小于m的正整数。
4、作为一种可实施的方式，底座与定位打开板之间还平行设置有多个导向轴，导向轴沿第二方向穿过底座，多个导向轴背离定位打开板的端部通过固定板相互连接，导向轴通过直线轴承与底座连接。
5、作为一种可实施的方式，定位打开结构包括打开座和至少两个定位柱，定位柱用于与锁合结构的定位孔配合实现锁合结构的固定，打开座用于打开锁合结构。
6、作为一种可实施的方式，定位打开板沿第三方向的两端分别设置有定位销，定位销用于与料盘上的定位销孔配合，实现料盘的定位，第三方向垂直于第一方向与第二方向确定的平面。
7、作为一种可实施的方式，定位打开板对应驱动件的驱动端设置有活动接头，驱动件的驱动端和定位打开板通过活动接接头实现对定位打开板的顶升。
8、作为一种可实施的方式，驱动件包括气缸，气缸上还设置有传感器，传感器用于检测气缸的驱动端的伸出位置。
9、作为一种可实施的方式，对应于一个定位打开组件，驱动件沿第三方向依次间隔排列有两个，对应每个驱动件设置至少两个导向轴，一个驱动件的导向轴通过一个固定板连接。
10、作为一种可实施的方式，固定板上还固定设置有用于抵接底座的缓冲器。
11、本申请的实施例另一方面提供了一种测试设备，包括上述解锁装置。
12、本申请实施例的有益效果包括：
13、本申请提供的解锁装置，包括底座，以及设置于底座上的步进移动组件和定位打开组件，步进移动组件和定位打开组件用于分别与料盘连接，料盘上矩阵式排列有m*n个锁合结构，其中，m、n均为大于2的正整数，步进移动组件用于带动料盘沿第一方向步进运动，定位打开组件沿第一方向依次间隔排列有多组，多组定位打开组件沿第二方向顶升后用于分别对应打开料盘上的锁合结构，多组定位打开组件相互独立设置，第一方向与第二方向垂直，其中，将定位打开组件设置为沿第一方向排列的多组，多组定位打开组件分别对应打开料盘上的锁合结构，且多组定位打开组件相互独立，使得多组定位打开组件可以单独运行，当料盘的行数与多组定位打开组件能够打开的锁合结构的行数不匹配时，或者料盘中芯片没有装满时，可以根据芯片的行数控制定位打开组件顶升时的个数，从而使得定位打开组件能够与锁合结构的行数进行匹配，避免了定位打开组件空解锁，减少了定位打开组件不必要的磨损，从而延长了定位打开组件的使用寿命。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种解锁装置，其特征在于，包括底座，以及设置于所述底座上的步进移动组件和定位打开组件，所述步进移动组件用于带动料盘沿第一方向步进运动，所述料盘上矩阵式排列有M*N个锁合结构，其中，M、N均为大于2的正整数；所述定位打开组件沿第一方向依次间隔排列有多组，多组所述定位打开组件沿第二方向朝向所述料盘移动并分别对应打开所述料盘上的锁合结构，多组所述定位打开组件相互独立设置，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。
2.根据权利要求1所述的解锁装置，其特征在于，所述定位打开组件包括与所述底座固定连接的驱动件，以及与所述驱动件的驱动端连接的定位打开板，所述定位打开板远离所述驱动件的一侧矩阵式排列有X*N个定位打开结构，所述驱动件带动所述定位打开板沿第二方向运动，以使所述定位打开结构与所述锁合结构接触，打开X*N个锁合结构，其中，X为不小于1，且小于M的正整数。
3.根据权利要求2所述的解锁装置，其特征在于，所述底座与所述定位打开板之间还平行设置有多个导向轴，所述导向轴沿所述第二方向穿过所述底座，多个所述导向轴背离所述定位打开板的端部通过固定板相互连接，所述导向轴通过直
4.根据权利要求2所述的解锁装置，其特征在于，所述定位打开结构包括打开座和至少两个定位柱，所述定位柱用于与所述锁合结构的定位孔配合实现锁合结构的固定，所述打开座用于打开所述锁合结构。
5.根据权利要求2所述的解锁装置，其特征在于，所述定位打开板沿第三方向的两端分别设置有定位销，所述定位销用于与料盘上的定位销孔配合，实现所述料盘的定位，所述第三方向垂直于所述第一方向与所述第二方向确定的平面。
6.根据权利要求2所述的解锁装置，其特征在于，所述定位打开板对应所述驱动件的驱动端设置有活动接头，所述驱动件的驱动端和所述定位打开板通过所述活动接头实现对所述定位打开板的顶升。
7.根据权利要求6所述的解锁装置，其特征在于，所述驱动件包括气缸，所述气缸上还设置有传感器，所述传感器用于检测所述气缸的驱动端的伸出位置。
8.根据权利要求5所述的解锁装置，其特征在于，对应于一个所述定位打开组件，所述驱动件沿所述第三方向依次间隔排列有两个，对应每个驱动件设置至少两个导向轴，一个所述驱动件的导向轴通过一个固定板连接。
9.根据权利要求8所述的解锁装置，其特征在于，所述固定板上还固定设置有用于抵接所述底座的缓冲器。
10.一种测试设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的解锁装置。
...【技术特征摘要】
1.一种解锁装置，其特征在于，包括底座，以及设置于所述底座上的步进移动组件和定位打开组件，所述步进移动组件用于带动料盘沿第一方向步进运动，所述料盘上矩阵式排列有m*n个锁合结构，其中，m、n均为大于2的正整数；所述定位打开组件沿第一方向依次间隔排列有多组，多组所述定位打开组件沿第二方向朝向所述料盘移动并分别对应打开所述料盘上的锁合结构，多组所述定位打开组件相互独立设置，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。
2.根据权利要求1所述的解锁装置，其特征在于，所述定位打开组件包括与所述底座固定连接的驱动件，以及与所述驱动件的驱动端连接的定位打开板，所述定位打开板远离所述驱动件的一侧矩阵式排列有x*n个定位打开结构，所述驱动件带动所述定位打开板沿第二方向运动，以使所述定位打开结构与所述锁合结构接触，打开x*n个锁合结构，其中，x为不小于1，且小于m的正整数。
3.根据权利要求2所述的解锁装置，其特征在于，所述底座与所述定位打开板之间还平行设置有多个导向轴，所述导向轴沿所述第二方向穿过所述底座，多个所述导向轴背离所述定位打开板的端部通过固定板相互连接，所述导向轴通过直线轴承与所述底座连接。
4.根据权利要求2所述的解锁装置，其特征在于，所述定位打开结...
【专利技术属性】
技术研发人员：金俊呈，包荣剑，张东东，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。