【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及陀螺仪，尤其涉及一种硅陀螺校正方法及装置。
技术介绍
1、陀螺仪是一种重要的惯性敏感器件，是用来测量角速度或者角位移的传感器。根据工作原理或结构的不同，陀螺仪大抵上可以分为三类：机械陀螺仪、光学陀螺仪和微机械(micro-electro-mechanical system，mems)陀螺仪，与其他传统的陀螺仪相对比，微机械陀螺仪具有体积小、重量轻、功耗低和可靠性高等特点，被广泛地应用于载体的测量与控制、汽车和制导系统等领域。
2、但是高精度的硅微机械陀螺仪(简称“硅陀螺”)的产出比较低，基本是从大量的陀螺样本中筛选得出，绝大多数陀螺处于中低精度状态，纵观硅微机械陀螺仪加工制造过程，由于微机械陀螺广泛采用真空封装技术，系统的阻尼力很小，由阻尼不对称产生的阻尼耦合力可以忽略，由结构加工产生的误差(主要表现形式为正交误差)是目前影响陀螺精度的主要因素，其原因主要是由于加工后结构的弹性主轴发生偏斜，弹性主轴发生偏斜的等效输入角速率比较大，而且该误差针对不同陀螺结构个体呈现不同的误差值，导致硅微机械陀螺仪的角速度测量的精度低，可靠性差的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种硅陀螺校正方法及装置，用以解决现有技术中硅陀螺的角速度测量的精度低，可靠性差的技术问题。
2、第一方面，本专利技术提供一种硅陀螺校正方法，包括：
3、生成两路脉宽调制波；所述两路脉宽调制波用于使硅陀螺表芯中的正交耦合对消梳齿，在y轴方向上产生用于抵消驱动模态和检测
4、将所述两路脉宽调制波分别施加到所述正交耦合对消梳齿的电极。
5、在一些实施例中，所述生成两路脉宽调制波，包括：
6、生成两路互补输出的正交脉宽调制波。
7、在一些实施例中，所述方法还包括：
8、调节两路脉宽调制波的占空比，并记录每一占空比对应的硅陀螺的测量精度；
9、分析占空比和对应的硅陀螺的测量精度确定最佳的占空比。
10、在一些实施例中，所述方法还包括：
11、对驱动位移信号和检测位移信号进行数字解调滤波。
12、在一些实施例中，所述方法还包括：
13、采用数字锁相环和数字自动增益控制的方式实现驱动梳齿驱动闭环控制。
14、在一些实施例中，所述脉宽调制波为正弦波或方波。
15、第二方面，本专利技术还提供一种硅陀螺，包括：波形生成器和正交耦合对消梳齿；
16、所述波形生成器的输出端与所述正交耦合对消梳齿的电极连接；
17、所述波形生成器生成的两路脉宽调制波作用于所述正交耦合对消梳齿，在y轴方向上产生用于抵消驱动模态和检测模态间的耦合刚度的校正力。
18、第三方面，本专利技术还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述第一方面任一种所述硅陀螺校正方法。
19、第四方面，本专利技术还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述第一方面任一种所述硅陀螺校正方法。
20、第五方面，本专利技术还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述第一方面任一种所述硅陀螺校正方法。
21、本专利技术提供的硅陀螺校正方法及装置，通过生成的两路脉宽调制波，使硅陀螺表芯中的正交耦合对消梳齿，在y轴方向上产生用于抵消驱动模态和检测模态间的耦合刚度的校正力，提高了硅陀螺的测量精度。
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1.一种硅陀螺校正方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的硅陀螺校正方法，其特征在于，所述生成两路脉宽调制波，包括：
3.根据权利要求1所述的硅陀螺校正方法，其特征在于，所述方法还包括：
4.根据权利要求1所述的硅陀螺校正方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.根据权利要求1所述的硅陀螺校正方法，其特征在于，所述方法还包括：
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的硅陀螺校正方法，其特征在于，所述脉宽调制波为正弦波或方波。
7.一种硅陀螺，其特征在于，包括：波形生成器和正交耦合对消梳齿；
8.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1至6任一项所述硅陀螺校正方法。
9.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至6任一项所述硅陀螺校正方法。
10.一种计算机程序产品，包括计算机程序，其特征在于，所述计算机
...【技术特征摘要】
1.一种硅陀螺校正方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的硅陀螺校正方法，其特征在于，所述生成两路脉宽调制波，包括：
3.根据权利要求1所述的硅陀螺校正方法，其特征在于，所述方法还包括：
4.根据权利要求1所述的硅陀螺校正方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.根据权利要求1所述的硅陀螺校正方法，其特征在于，所述方法还包括：
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的硅陀螺校正方法，其特征在于，所述脉宽调制波为正弦波或方波。
7.一种硅陀螺，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：于正慧，廖兴才，付润娟，张旭东，毛润雨，温诗谦，
申请(专利权)人：北京晨晶电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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