【技术实现步骤摘要】
本申请涉及薄膜沉积，特别是涉及辅助工装、处理设备及其使用的方法。
技术介绍
1、处理设备是用于对位于自身设备腔体内部的工件进行处理的设置，处理设备可以是热处理设备、扩散设备、薄膜沉积设备等。
2、对于一些设备腔体，需要使用管件提供处理场所，管件通常选用但不限于石英管。管件沿设备腔体的高度方向通常布置有多根，对于安装高度较高的管件，由于管件的质量和体积较大，往往需要多名工人配合升降车辆完成其安装，管件安装效率不高且费力。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对处理设备在放置管件时安装效率低且费力的问题，提供一种辅助工装、处理设备及其使用的方法。
2、一种辅助工装，包括：
3、机架；
4、安装座，设置于所述机架，且沿所述机架的高度方向可升降设置；
5、升降组件，与所述安装座连接，用于驱动所述安装座升降；及
6、移动组件，设于所述安装座，且被构造为可支撑水平放置于所述安装件的管件相对所述安装座沿设定方向移动，所述设定方向被配置为与放置于所述安装座的管件的纵长方向相平行。
7、在一些实施例中，所述移动组件包括滑动辊，所述滑动辊滚动支撑位于所述安装座的管件。
8、在一些实施例中，所述滑动辊的辊面设置有包胶层。
9、在一些实施例中，所述移动组件包括多组所述滑动辊，各组所述滑动辊沿所述设定方向间隔布置；每组所述滑动辊均包括多个滑动辊，同组的各所述滑动辊的辊面外相切于同一圆周。
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11、所述移动组件布置于所述安装通道内，并支撑位于所述安装通道内的管件。
12、在一些实施例中，所述安装座包括吊装部和支撑部，所述支撑部合围形成所述安装通道，所述移动组件设置于所述支撑部；
13、所述吊装部连接所述支撑部，所述升降组件吊装所述吊装部，且可驱动所述吊装部升降。
14、在一些实施例中，所述升降组件包括吊装绳、滑轮和驱动组件，所述吊装绳绕设于所述滑轮，且其一端连接所述吊装部，另一端收卷于所述驱动组件，所述驱动组件能够收放所述吊装绳。
15、在一些实施例中，所述驱动组件包括旋转电机、传动杆和滚筒，所述旋转电机经由所述传动杆驱动所述滚筒转动，所述滚筒用于收卷所述吊装绳。
16、在一些实施例中，所述滚筒的数量为两个，所述旋转电机a经由所述传动杆b驱动两个所述滚筒同步转动，两个所述滚筒收卷不同的所述吊装绳；和/或，
17、所述滚筒上设置有周向环绕设置的卷绕槽，所述吊装绳收卷于所述卷绕槽内。
18、在一些实施例中，所述升降组件的传动方式包括丝杆传动、同步带传动、齿轮齿条传动、链条传动中的至少一种。
19、在一些实施例中，所述辅助工装还包括控制装置，所述升降组件包括动力件，所述动力件与所述安装座连接，用于提供促使所述安装座升降的动力；
20、所述控制装置与所述动力件控制连接，且能够点动控制所述动力件工作。
21、在一些实施例中，所述辅助工装还包括防滑组件，所述防滑组件布置于所述安装座；所述防滑组件相对所述安装座可在允许所述安装座上的管件沿所述设定方向移动的状态、以及限制所述安装座上的管件沿所述设定方向移动的状态之间切换。
22、在一些实施例中，所述防滑组件包括止动件，所述止动件相对所述安装座可升降，且在升降过程中可在止挡所述管件的位置和避让所述管件的位置之间切换；
23、所述防滑组件还包括旋转把手，所述旋转把手可旋转的安装于所述安装座；所述止动件螺纹连接于所述旋转把手，且受所述旋转把手驱动可升降。
24、在一些实施例中，所述止动件具有摩擦面，所述止动件位于止挡所述管件的位置时，所述摩擦面摩擦接触并止动所述管件。
25、在一些实施例中，所述辅助工装还包括防坠件，所述防坠件设置于所述机架，所述防坠件相对所述机架能够在避让所述安装座升降的第一状态、以及阻挡于所述安装座下方的第二状态之间切换。
26、在一些实施例中，所述机架上构造有沿所述高度方向间隔布置的多个插孔部，所述防坠件可拆卸的插设于其中之一所述插孔部；
27、位于所述第一状态的所述防坠件拆离所述插孔部，位于所述第二状态的所述防坠件插设于所述插孔部。
28、在一些实施例中，所述机架具有收容部，所述防坠件可旋转的设置于所述机架；
29、所述防坠件旋转至所述第一状态时，所述防坠件收容于所述收容部；所述防坠件旋转至所述第二状态时，所述防坠件退出所述收容部。
30、在一些实施例中，所述辅助工装还包括微调支撑部，所述微调支撑部设置于所述防坠件；
31、在所述防坠件处于所述第一状态时，所述微调支撑部支撑所述安装座，且所述微调支撑部在所述高度方向上相对所述防坠件的位置可调。
32、在一些实施例中，所述辅助工装还包括用于点动控制所述升降组件的动力件工作的控制装置，所述控制装置每次点动控制所述动力件驱动所述安装座升降的升降距离为l，所述微调支撑部的最大调整距离为m，满足：l>m。
33、在一些实施例中，所述辅助工装还包括工作台，所述工作台设置于所述机架，且具有布置于所述安装座下方的工作位置。
34、在一些实施例中，所述机架内形成有升降通道，所述安装座沿所述升降通道升降；所述工作台可拆卸地安装于所述机架，位于所述工作位置的所述工作台安装于所述机架，且所述工作台位于所述升降通道内。
35、在一些实施例中，所述机架上具有多个安装位，所述多个安装位沿所述高度方向间隔布置，所述工作台可选择地安装于其中之一所述安装位。
36、在一些实施例中，所述辅助工装包括推送组件，所述推送组件设置于所述安装座；
37、所述推送组件包括推送板，所述移动组件支撑于所述推送板；所述推送板能够沿所述设定方向移动，且在移动过程中可伸出或缩回所述安装座。
38、在一些实施例中，所述推送组件包括限位件，所述限位件设置于所述安装座；
39、所述推送板在移动过程中具有第一极限位置和第二极限位置，位于所述第一极限位置的所述推送板缩回至所述安装座，位于所述第二极限位置的所述推送板伸出所述安装座，所述第一极限位置和所述第二极限位置布置有所述限位件。
40、在一些实施例中，所述辅助工装还包括导向件，所述导向件设置于所述机架，所述安装座沿所述导向件可升降设置；和/或，
41、所述机架的底部设置有行走轮，至少部分所述行走轮能够在可滚动状态和静止状态之间切换。
42、在一些实施例中，所述辅助工装还包括阻挡件，所述安装座具有最高上升位置，所述阻挡件对应所述最高上升位置布置于所述机架上，所述阻挡件用于止挡位于所述最高上升位置的所述安装座；和/或，
43、所述辅助工装还包括传感本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种辅助工装(100)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述移动组件(140)包括滑动辊(141)，所述滑动辊(141)滚动支撑位于所述安装座(120)的管件(300)。
3.根据权利要求2所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述滑动辊(141)的辊面设置有包胶层。
4.根据权利要求2所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述移动组件(140)包括多组所述滑动辊(141)，各组所述滑动辊(141)沿所述设定方向(x)间隔布置；每组所述滑动辊(141)均包括多个滑动辊(141)，同组的各所述滑动辊(141)的辊面外相切于同一圆周。
5.根据权利要求1所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述安装座(120)包括沿所述设定方向(x)贯通设置的安装通道(T)，所述安装通道(T)用于插装管件(300)；
6.根据权利要求1所述的辅助工装(100)，其特征在于，所述安装座(120)包括吊装部(122)和支撑部(121)，所述移动组件(140)设置于所述支撑部(121)；
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