【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于太阳能电池，具体涉及一种采用pecvd法制备隧穿氧化层所用石墨舟的清洗工艺。
技术介绍
1、topcon(tunnel oxide passivated contact)电池是继perc(passivatedemitterand rear cell)电池后最具量产的技术路线，已从实验室迈向批量化生产，其背面的隧穿氧化钝化层制备有两种主要的方式，lpcvd法和pecvd法。lpcvd镀膜采用石英舟，而石英舟为消耗品，生产成本高。pecvd法采用石墨舟，镀膜过程中会持续在石墨舟表面形成siox和poly-si交替层结构(siox/poly-si层)，当镀膜到一定厚度时会严重影响镀膜质量，需要去除在石墨舟表面形成的siox/poly-si层，目前主要使用硝酸和氢氟酸的混合水溶液进行清洗，部分采用碱洗后进行氢氟酸洗。
2、在topcon电池的制备过程中，会在硅沉底背面制备poly-si层，pecvd法是poly-si层制作的主要方法之一，在生产过程中，石墨舟表面会沉积siox/poly-si层，从而影响成膜质量。目前主要的石墨舟去siox/poly-si层清洗方法有三种，一是用氢氟酸和硝酸的混合溶液与siox/poly-si层进行反应，这种方法效果良好，但是涉及到氮排放问题，废液处理成本高；二是用koh、naoh等热碱加上添加剂与poly-si进行反应，这种方法即清洗不彻底，又会在石墨舟表面形成碱残留，酸洗后形成盐聚集，且不易去除，这种离子残留在镀膜时即污染硅片，又会造成打火高频现象，严重影响镀膜质量。三是用氢
技术实现思路
1、为了克服上述存在的问题，本专利技术提供一种石墨舟的清洗工艺，其针对的是pecvd法制备隧穿氧化层所用的石墨舟，该pecvd法在镀膜过程中会持续在石墨舟表面形成siox和poly-si交替层结构，本清洗工艺不仅清洗效果好，还可以有效的降低洗舟时间，提高化学品的利用率。
2、为了实现上述目的，本专利技术的技术方案为：
3、一种采用pecvd法制备隧穿氧化层所用石墨舟的清洗工艺，包括如下步骤：
4、(1)配置初配溶液，并将石墨舟静置于初配溶液中，初配溶液中盐酸含量为15-25wt.％，过氧化氢的浓度为3-7wt.％，氢氟酸的浓度为3-7wt.％，余量为水；
5、(2)每小时向初配溶液中添加补充溶液，静置至石墨舟表面镀层被完全去除；
6、(3)将石墨舟取出放入水洗槽喷淋清洗0.5-1小时；
7、(4)将水洗后的石墨舟放至弱酸中鼓泡清洗0.7-1.2小时；
8、(5)将酸洗后的石墨舟喷淋清洗0.5-1小时；
9、(6)再用清水漂洗3-5小时，最后慢提拉沥干。
10、作为本专利技术的进一步改进：步骤(2)中所述补充溶液包括盐酸添加液、过氧化氢添加液和氢氟酸添加液，其中盐酸添加液中盐酸用量为初配溶液中盐酸用量的4-6％，过氧化氢添加液中过氧化氢用量为初配溶液中过氧化氢用量的10-14％，氢氟酸添加液中氢氟酸用量为初配溶液中氢氟酸用量的10-14％。
11、作为本专利技术的进一步改进：上述补充溶液中，先将盐酸添加液、过氧化氢添加液在遮光、密闭条件下充分反应后再进行添加。
12、作为本专利技术的优选实施例：所述盐酸添加液浓度为35-40wt.％、过氧化氢添加液浓度为25-30wt.％。
13、盐酸添加液、过氧化氢添加液在遮光、密闭条件下可发生如下三种可逆反应：
14、hcl+h2o2＝＝＝hclo+h2o；
15、2hcl+h2o2＝＝＝cl2↑+2h2o；
16、hcl+3h2o2＝＝＝hclo3+3h2o；
17、因此充分反应后混合溶液中含有hclo、cl2、hclo3，溶液呈现淡黄色。cl2溶于水后又会产生hclo，hclo具有极强的氧化性，可以快速的将si氧化成sio2，将硅氧化成sio2，溶液中的氢氟酸与sio2反应先生成溶于水的sif4，sif4与水反生成h2sio4，从而达到不断溶解poly-si和siox的叠层作用。
18、作为本专利技术的进一步改进：步骤(4)中所以弱酸以氢氟酸溶液：盐酸溶液：水按体积比4:1:16-18配比而成，其中氢氟酸溶液浓度为47-52wt.％，盐酸溶液浓度为35-40wt.％。
19、本专利技术的有益效果为：
20、本专利技术采用盐酸、过氧化氢和氢氟酸的混合水溶液与siox/poly-si层进行反应，即不涉及氮排放的环保问题，也能达到连续有效的清洗siox/poly-si层的作用。
21、本专利技术在补充溶液过程中，先将盐酸和过氧化氢的补液方式为这两种化学品在遮光、密闭条件下混合5-10分钟充分反应后，再与氢氟酸添加液一起加入初配溶液，盐酸和过氧化氢充分反应后的混合溶液中含有hclo、cl2、hclo3，cl2溶于水后又会产生hclo，hclo具有极强的氧化性，可以快速的将si氧化成sio2，将硅氧化成sio2，溶液中的氢氟酸与sio2反应先生成溶于水的sif4，sif4与水反生成h2sio4，从而达到不断溶解poly-si和siox的叠层作用。
22、本专利技术反应后的混合溶液补加到洗舟槽中，hclo与poly-si会快速反应，有效的降低洗舟时间。
23、本专利技术能达到有效的去除siox/poly-si层的目的，生成的化合物溶于水，连续洗舟效果好。
24、本专利技术在有效的降低洗舟时间的同时还能提高化学品的利用率。
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1.一种采用PECVD法制备隧穿氧化层所用石墨舟的清洗工艺，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的采用PECVD法制备隧穿氧化层所用石墨舟的清洗工艺，其特征在于，步骤(2)中所述补充溶液包括盐酸添加液、过氧化氢添加液和氢氟酸添加液，其中盐酸添加液中盐酸用量为初配溶液中盐酸用量的4-6％，过氧化氢添加液中过氧化氢用量为初配溶液中过氧化氢用量的10-14％，氢氟酸添加液中氢氟酸用量为初配溶液中氢氟酸用量的10-14％。
3.根据权利要求2所述的采用PECVD法制备隧穿氧化层所用石墨舟的清洗工艺，其特征在于：上述补充溶液中，先将盐酸添加液、过氧化氢添加液在遮光、密闭条件下充分反应后再进行添加。
4.根据权利要求2或3所述的采用PECVD法制备隧穿氧化层所用石墨舟的清洗工艺，其特征在于：所述盐酸添加液浓度为35-40wt.％、过氧化氢添加液浓度为25-30wt.％。
5.根据权利要求1所述的采用PECVD法制备隧穿氧化层所用石墨舟的清洗工艺，其特征在于：步骤(4)中所以弱酸以氢氟酸溶液：
【技术特征摘要】
1.一种采用pecvd法制备隧穿氧化层所用石墨舟的清洗工艺，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的采用pecvd法制备隧穿氧化层所用石墨舟的清洗工艺，其特征在于，步骤(2)中所述补充溶液包括盐酸添加液、过氧化氢添加液和氢氟酸添加液，其中盐酸添加液中盐酸用量为初配溶液中盐酸用量的4-6％，过氧化氢添加液中过氧化氢用量为初配溶液中过氧化氢用量的10-14％，氢氟酸添加液中氢氟酸用量为初配溶液中氢氟酸用量的10-14％。
3.根据权利要求2所...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘兆彬，黄辉巍，谢超凡，
申请(专利权)人：常州顺风太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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