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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及凸点回流设备,具体涉及一种双电动气缸的凸点回流设备。
技术介绍
1、回流焊工艺是电子制程领域的重要工艺流程,主要用于焊接一些微小的元器件。在半导体先进封装制程中也会采用回流焊的工艺,用于加工成型芯片的引脚。传统回流焊工艺采用助焊剂方式时进行,需要预先涂覆助焊剂,回流工艺结束后还需清先助焊剂,工艺复杂,生产成本高。半导体先进封装制程采用更为先进的甲酸回流工艺,无需旋涂、清洗助焊剂,具有工艺简单,成本低,产能高的优点。
2、如中国专利所公开的一种回流焊工艺模块结构,申请号:202122580264.7,包括下加热盘体、上加热盘体、装载单元、冷板单元、旋转传片单元、上密封腔体、下密封腔体等结构。装载单元及旋转传片单元负责将晶圆从foup中传递到下加热盘体中,进行回流工艺时上密封腔体下降,与下密封腔体形成密封的真空腔体,控制下加热盘体与上加热盘体温度,同时向腔体内填充含有甲酸的氮气,完成晶圆的回流工艺后,冷板单元用于冷却工艺结束后的晶圆。本技术适用于晶圆封装制程中的回流焊工艺,与传统的回流焊设备相比,具有工艺简单,产能高,单片的工艺成本低等特点。
3、上述现有技术工艺较为复杂,产能较低,单片的工艺成本高。
技术实现思路
1、为此,本专利技术实施例提供一种双电动气缸的凸点回流设备,以解决上述技术存在的问题。
2、为了实现上述目的,本专利技术实施例提供如下技术方案:
3、一种双电动气缸的凸点回流设备,包括主腔体、上真空仓、下真空仓和
4、可选地,所述主腔体包括进料机构、矩形插板阀、上腔盖、底盘、固定机构、驱动机构;
5、矩形插板阀固定在进料机构的进口端,晶圆从矩形插板阀进入进料机构的进口端,上腔盖和底盘之间通过固定机构进行固定,上腔盖与底盘之间设置有转盘,驱动机构驱动转盘转动。
6、可选地,所述进料机构包括第一气缸、第一波纹管、外上盖、内上盖;
7、外上盖固定于上腔盖上,内上盖设置于外上盖内,第一气缸固定连接于外上盖上;
8、第一气缸的输出端贯穿外上盖与内上盖固定连接,第一波纹管套设于第一气缸的输出端。
9、可选地,所述上真空仓包括电动气缸、真空过滤器、第二波纹管、上仓盖板、陶瓷加热板和上加热固定板;
10、第二气缸的输出端与上加热固定板的固定连接,上加热固定板设置于上仓盖板内,真空过滤器设置于上仓盖板顶部,并连接上仓盖板内部,第二波纹管套设于第二气缸的输出端,陶瓷加热板固定连接于上加热固定板的底部。
11、可选地,进料机构还包括导向杆、导柱密封杆;
12、内上盖上设置有多个盲孔,导向杆滑动连接于盲孔内,导柱密封杆套设与导向杆上,且导柱固定杆固定于外上盖上,盲孔的数量与导向杆的数量相同。
13、可选地,进料机构还包括梯形密封挡板和密封块,内上盖一侧为梯形,斜边的一侧与密封盖斜边相契合,密封块的斜边设置有凹槽,凹槽设置密封圈,密封块的一端固定于矩形插板阀的进口端,密封块的另一个斜边的另一端跟内上盖的梯形端相配合密封。
14、可选地,所述固定机构包括u型夹,所述u型夹夹持固定于上腔盖和底盘上。
15、可选地,所述驱动机构为伺服电机。
16、本专利技术至少具有以下有益效果:
17、本专利技术通过设置第一预热区真空仓、第二预热区真空仓、高温区真空仓、第一冷却区和第二冷却区与主腔体形成密封独立区,并且与下真空仓一一对应,使得各个真空仓能够独立进行工作,进而提高产能,降低工艺复杂程度,减少成本。
18、内上盖一端为梯形,斜边的一侧恰好跟密封块的斜边契合,并且在密封块的斜边设有凹槽,凹槽内放入密封圈,该设置能够方便内上盖上下移动并且密封效果最好。
19、双电动气缸可以通过2个气缸对密封进行调节,避免单个气缸只能一侧进行调节,形成的密封效果更好。
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1.一种双电动气缸的凸点回流设备,其特征在于:包括主腔体、上真空仓、下真空仓和晶圆机械手,所述主腔体与上真空仓和下真空仓形成密封独立真空仓,上真空仓与下真空仓一一对应,所述独立真空仓设置有五个,分别为第一预热仓、第二预热仓、高温区真空仓、第一冷却仓和第二冷却仓。
2.根据权利要求1所述的一种双电动气缸的凸点回流设备,其特征在于:所述主腔体包括进料机构、矩形插板阀、上腔盖、底盘、固定机构和驱动机构;
3.根据权利要求2所述的一种双电动气缸的凸点回流设备,其特征在于:所述进料机构包括第一气缸、第一波纹管、外上盖和内上盖;
4.根据权利要求1所述的一种双电动气缸的凸点回流设备,其特征在于:所述上真空仓包括电动气缸、真空过滤器、第二波纹管、上仓盖板、陶瓷加热板和上加热固定板;
5.根据权利要求2所述的一种双电动气缸的凸点回流设备,其特征在于:所述进料机构还包括导向杆、导柱密封杆;
6.根据权利要求2所述的一种双电动气缸的凸点回流设备,其特征在于:所述进料机构还包括梯形密封挡板和密封块,内上盖一侧为梯形,斜边的一侧与密封盖斜边相契
7.根据权利要求2所述的一种双电动气缸的凸点回流设备,其特征在于:所述固定机构包括U型夹,所述U型夹夹持固定于上腔盖和底盘上。
8.根据权利要求2所述的一种双电动气缸的凸点回流设备,其特征在于:所述驱动机构为伺服电机。
...【技术特征摘要】
1.一种双电动气缸的凸点回流设备,其特征在于:包括主腔体、上真空仓、下真空仓和晶圆机械手,所述主腔体与上真空仓和下真空仓形成密封独立真空仓,上真空仓与下真空仓一一对应,所述独立真空仓设置有五个,分别为第一预热仓、第二预热仓、高温区真空仓、第一冷却仓和第二冷却仓。
2.根据权利要求1所述的一种双电动气缸的凸点回流设备,其特征在于:所述主腔体包括进料机构、矩形插板阀、上腔盖、底盘、固定机构和驱动机构;
3.根据权利要求2所述的一种双电动气缸的凸点回流设备,其特征在于:所述进料机构包括第一气缸、第一波纹管、外上盖和内上盖;
4.根据权利要求1所述的一种双电动气缸的凸点回流设备,其特征在于:所述上真空仓包括电动气缸、真空过滤器、第二波纹管、上仓盖板、陶...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵永先,张延忠,赵登宇,邓燕,文爱新,
申请(专利权)人:北京仝志伟业科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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