【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及坩埚移动装置，特别涉及一种石墨坩埚吊装装置及方法。
技术介绍
1、直拉硅单晶在生长时石墨热场是必不可少的部件，石墨热场包括石墨电极、保温材料、石墨坩埚杆、加热器、石墨埚托、石墨坩埚、导流筒等，在每次半导体级单晶硅棒在每次生长完后都会拆卸石墨坩埚送往热场清理间进行清理后再安装在单晶炉内的热场中；随着单晶硅棒直径及投料量的增加，对应的石墨坩埚也越来越大，人工安装拆卸易造成石墨坩埚掉落或者其他热场部件的损坏，因此需要采用吊具进行石墨坩埚的安装和拆卸。
2、现有石墨坩埚吊具结构繁琐，不易清洁，导致粉尘带入热场，污染晶棒，降低晶棒品质；同时还存在固定不牢在进行吊装时易出现脱落的问题。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种石墨坩埚吊装装置及方法，用于解决现有技术中石墨坩埚吊具结构繁琐不易操作、易引入污染的问题。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：
3、本专利技术实施例提供一种石墨坩埚吊装装置，包括：
4、吊装连接件、多个提升臂以及多个提升支座；
5、所述提升臂的第一端均与所述吊装连接件连接，第二端均与所述提升支座连接；
6、所述提升支座包括：套筒、提升旋转轴、提升脚板以及限位手柄；
7、所述提升旋转轴的第一端嵌套于所述套筒内；所述提升旋转轴的第二端与所述提升脚板连接；
8、所述限位手柄穿过所述提升臂和所述套筒与所述提升旋转轴连接，用于控制所述提
9、所述套筒的第二端设置有第一轴承，用于将所述套筒和所述提升旋转轴进行固定。
10、进一步地，所述提升臂上设置有移动轨道；
11、所述提升支座沿所述移动轨道与所述提升臂可滑动连接。
12、进一步地，所述提升臂上还设置有限位块，用于将所述提升支座固定于所述提升臂的所述移动轨道上。
13、进一步地，所述提升旋转轴的第一端设置有第二轴承、轴承盖以及锁紧螺母；
14、通过所述锁紧螺母压紧所述第二轴承的内环，通过所述轴承盖压紧所述第二轴承的外环，将所述限位手柄固定于所述提升旋转轴上。
15、进一步地，所述限位手柄，包括：
16、过度法兰和设置于所述过度法兰第一端的旋转手柄；
17、所述过度法兰的第二端穿过所述提升臂和所述套筒与所述提升旋转轴连接，用以控制所述提升旋转轴旋转。
18、进一步地，所述限位手柄，还包括：
19、限位柱塞，用于对所述旋转手柄进行锁死。
20、进一步地，所述吊装连接件，包括：
21、连接板和吊环；
22、所述连接板与所述吊环固定连接；
23、所述吊装连接件通过所述连接板与所述提升臂的第一端连接。
24、进一步地，所述连接板包括：多个悬臂；
25、所述悬臂的数量与所述提升臂一一对应；
26、所述悬臂的第一端均与所述吊环连接，第二端与对应的所述提升臂的第一端连接。
27、进一步地，所述提升脚板，包括：
28、第一石墨垫片和第二石墨垫片；
29、所述第一石墨垫片设置于所述提升脚板的顶面，所述第二石墨垫片设置于所述提升脚板的侧面；
30、所述套筒外壁靠近所述连接件的一侧设置有第三石墨垫片。
31、本专利技术实施例还提供一种石墨坩埚吊装方法，应用于如上所述的石墨坩埚吊装装置，包括：
32、将吊装连接件与吊装设备连接，并通过所述吊装设备将所述石墨坩埚吊装装置移动至石墨坩埚上方；
33、通过限位手柄控制提升旋转轴旋转，使提升脚板均位于所述石墨坩埚侧面的切线方向上；
34、控制所述石墨坩埚吊装装置下降，直至所述提升脚板的顶面比所述石墨坩埚底部低预设距离；
35、通过所述限位手柄控制所述提升旋转轴旋转，使所述提升脚板均位于所述石墨坩埚侧面底部；
36、通过所述吊装设备提升所述石墨坩埚吊装装置，直至将所述石墨坩埚吊起。
37、本专利技术的有益效果是：
38、本专利技术实施例的一种石墨坩埚吊装装置，通过所述提升支座包括套筒以及嵌套于所述套筒中的提升旋转轴，能够控制所述提升支座相对于所述套筒旋转，从而带动所述提升脚板旋转；通过所述提升脚板对所述石墨坩埚进行支撑固定，并所述提升脚板可旋转，能够通过旋转所述提升脚板对石墨坩埚进行固定提升和拆卸放置，操作方便。本专利技术实施例的石墨坩埚吊装装置结构简单，操作简便，易清洁，解决了现有技术石墨坩埚吊具结构繁琐不易操作、易引入污染的问题。
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1.一种石墨坩埚吊装装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，所述提升臂上设置有移动轨道；
3.根据权利要求2所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，所述提升臂上还设置有限位块，用于将所述提升支座固定于所述提升臂的所述移动轨道上。
4.根据权利要求1所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，所述提升旋转轴的第一端设置有第二轴承、轴承盖以及锁紧螺母；
5.根据权利要求1所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，所述限位手柄，包括：
6.根据权利要求5所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，所述限位手柄，还包括：
7.根据权利要求1所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，所述吊装连接件，包括：
8.根据权利要求7所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，所述连接板包括：多个悬臂；
9.根据权利要求1所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，所述提升脚板，包括：
10.一种石墨坩埚吊装方法，应用于权利要求1至9任一项所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.一种石墨坩埚吊装装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，所述提升臂上设置有移动轨道；
3.根据权利要求2所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，所述提升臂上还设置有限位块，用于将所述提升支座固定于所述提升臂的所述移动轨道上。
4.根据权利要求1所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，所述提升旋转轴的第一端设置有第二轴承、轴承盖以及锁紧螺母；
5.根据权利要求1所述的石墨坩埚吊装装置，其特征在于，所述限...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴世海，
申请(专利权)人：西安芯晖设备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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