【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种真空保压滤水装置及真空水气分离管路。
技术介绍
1、晶圆抛光机是一种用于化学机械抛光的全自动精密工具。用于实现图形/器件晶圆的平坦度、均匀性和平面化。晶圆抛光机是自动晶圆处理，并能够两个台板，两步抛光处理，以最大限度地提高晶圆生产能力和质量。晶圆抛光机的设计目的是使晶圆从100毫米平面化到200毫米，非常适合需要重复性和操作和加工灵活性的材料抛光应用。
2、图1是现有技术中晶圆抛光机机台的真空管路的示意图。所述晶圆抛光机机台的真空管路包括氮气腔11、阻水杯12、真空发生器13、排水杯14以及排水管15。图1所示晶圆抛光机机台的真空管路中，输入的气液混合物经过在氮气腔11中的液氮降温后，气液混合物中分离出的水进入阻水杯12；从阻水杯12底部排出部分水到底部的排水管15后，剩余的气液混合物通入真空发生器13，同时向所述真空发生器13通入压缩空气(clean dry air，简称cda)；排水杯14罩在真空发生器13外，通过排水杯14把此部分产生的水排入排水管15。但是机台采用图1中的真空管路的情况下，当机台机械臂吸取晶圆片时会吸入部分浆料(slurry)和水，导致管道内负压下降从而出现了晶圆片掉片碎片的问题，使得机台的工作效率下降。
3、如何减少晶圆抛光机吸取晶圆片时出现掉片碎片问题是现有技术亟需解决的问题。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是提供一种真空水气分离管路，减少晶圆抛光机吸取晶圆片时的出现掉片碎片问
2、为了解决上述问题，本专利技术提供了一种真空保压滤水装置，包括：进气管，用于通入待处理气体；出气管，用于排出处理后的气体；气液分离腔，所述气液分离腔的内部设置有挡水罩，所述进气管将待处理气体通入所述气液分离腔，所述进气管在所述气液分离腔内的出气口、以及所述出气管的抽气口分别朝向所述挡水罩的相对两侧，所述挡水罩能够分离出所述待处理气体中的液体；出水管，设置于所述气液分离腔的底部，用于排出所述待处理气体中分离出的液体。
3、在一些实施例中，所述气液分离腔为密封腔。
4、在一些实施例中，所述挡水罩的形状为圆锥形。
5、在一些实施例中，所述进气管的进气口设置于所述气液分离腔的底部。
6、在一些实施例中，所述进气管的进气口设置于所述气液分离腔的侧壁。
7、在一些实施例中，所述出气管的抽气口设置于所述气液分离腔的顶部。
8、在一些实施例中，所述气液分离腔的底部设置有支撑装置。
9、在一些实施例中，所述出气管与真空发生器相连。
10、在一些实施例中，所述出水管与泄水发生器相连，所述泄水发生器将液体排到排水管。
11、为了解决上述问题，本专利技术还提供了一种真空水气分离管路，包括真空管路以及所述真空保压滤水装置，所述真空保压滤水装置设置于所述真空管路的前端，将所述真空保压滤水装置的所述出气管排出的所述处理后的气体作为真空管路的输入。
12、上述技术方案，提供一种真空保压滤水装置，包括进气管、出气管、气液分离腔、以及出水管，通过所述气液分离腔的内部设置有挡水罩，所述进气管将待处理气体通入所述气液分离腔，所述进气管在所述气液分离腔内的出气口、以及所述出气管的抽气口分别朝向所述挡水罩的相对两侧，所述挡水罩能够分离出所述待处理气体中的液体，进而滤除所述进气管的气体中的悬浮液滴。并且，通过将所述真空保压滤水装置设置于真空管路的前端形成真空水气分离管路，所述真空保压滤水装置的所述出气管排出的处理后的气体作为所述真空管路的输入，能够进一步滤除真空管路中的液体，减少晶圆抛光机吸取晶圆片时的掉片碎片问题。
13、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本专利技术。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种真空保压滤水装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述气液分离腔为密封腔。
3.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述挡水罩的形状为圆锥形。
4.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述进气管的进气口设置于所述气液分离腔的底部。
5.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述进气管的进气口设置于所述气液分离腔的侧壁。
6.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述出气管的抽气口设置于所述气液分离腔的顶部。
7.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述气液分离腔的底部设置有支撑装置。
8.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述出气管与真空发生器相连。
9.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述出水管与泄水发生器相连，所述泄水发生器将所述待处理气体中分离出的液体排到排水管。
10.一种真空水气分离管路，其特征在于，包括真空管路以及
...【技术特征摘要】
1.一种真空保压滤水装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述气液分离腔为密封腔。
3.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述挡水罩的形状为圆锥形。
4.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述进气管的进气口设置于所述气液分离腔的底部。
5.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述进气管的进气口设置于所述气液分离腔的侧壁。
6.根据权利要求1所述的真空保压滤水装置，其特征在于，所述出气管的抽气口设置于所述气液分离腔的顶部。
...【专利技术属性】
技术研发人员：汪海亮，刘路，
申请(专利权)人：上海新傲科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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