System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 晶圆版图生成方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸_技高网

晶圆版图生成方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

技术编号:40536321 阅读:11 留言:0更新日期:2024-03-01 13:58
本公开提供了晶圆版图生成方法、装置、设备及存储介质,涉及量子计算机、量子芯片、量子仿真技术领域。具体实现方案为:确定测试结构中的目标器件构型;其中,测试结构用于测量目标器件构型所对应的特征参数值;目标器件构型的几何参数的取值能够影响目标器件构型所对应的特征参数值;目标器件构型具有多个几何参数;确定N个目标参数的参数变化特征;其中,N个目标参数中的目标参数为多个几何参数之一;N为大于等于1的整数;生成晶圆版图;其中,晶圆版图中包括基于目标器件构型和参数变化特征绘制的M个测试结构,且M个测试结构中至少部分测试结构中目标器件构型的目标参数的取值不同;M为大于等于2的整数。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及计算机,尤其涉及量子计算机、量子芯片、量子仿真。


技术介绍

1、众所周知,量子比特的比特频率是超导量子芯片最核心的特征参数之一,其具体取值除了与外电路层有关,还取决于目标器件的参数,比如,取决于约瑟夫森结的结面积。然而在实践中,微纳加工并不能保证制备出的目标器件,比如约瑟夫森结的参数与设计目标值相吻合。因此,需要预先制备一系列不同参数值的测试结构,比如,制备一系列不同结面积的约瑟夫森测试结,因此,如何高效地完成这一任务是量子芯片(比如超导量子芯片)的设计阶段所需面临的一个挑战。


技术实现思路

1、本公开提供了一种晶圆版图生成方法、装置、设备及存储介质。

2、根据本公开的一方面,提供了一种晶圆版图生成方法,包括:

3、确定测试结构中的目标器件构型;其中,所述测试结构用于测量所述目标器件构型所对应的特征参数值;所述目标器件构型的几何参数的取值能够影响所述目标器件构型所对应的特征参数值;所述目标器件构型具有多个几何参数;

4、确定n个目标参数的参数变化特征,其中,所述n个目标参数中的目标参数为所述多个几何参数之一;n为大于等于1的整数;

5、生成晶圆版图;其中,所述晶圆版图中包括基于所述目标器件构型和所述参数变化特征绘制的m个测试结构,且所述m个测试结构中至少部分测试结构中目标器件构型的目标参数的取值不同;m为大于等于2的整数。

6、根据本公开的另一方面,提供了一种晶圆版图生成装置,包括:

7、第一获取单元,用于确定测试结构中的目标器件构型;其中,所述测试结构用于测量所述目标器件构型所对应的特征参数值;所述目标器件构型的几何参数的取值能够影响所述目标器件构型所对应的特征参数值;所述目标器件构型具有多个几何参数;

8、第二获取单元,用于确定n个目标参数的参数变化特征,其中,所述n个目标参数中的目标参数为所述多个几何参数之一;n为大于等于1的整数;

9、版图生成单元,用于生成晶圆版图;其中,所述晶圆版图中包括基于所述目标器件构型和所述参数变化特征绘制的m个测试结构,且所述m个测试结构中至少部分测试结构中目标器件构型的目标参数的取值不同;m为大于等于2的整数。

10、根据本公开的再一方面,提供了一种计算设备,包括:

11、至少一个量子处理单元qpu;

12、存储器,耦合到所述至少一个qpu并用于存储可执行指令,

13、所述指令被所述至少一个qpu执行,以使所述至少一个qpu能够执行以上所述的方法;

14、或者,包括:

15、至少一个处理器;以及

16、与所述至少一个处理器通信连接的存储器;其中,

17、所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令,所述指令被所述至少一个处理器执行,以使所述至少一个处理器能够执行以上所述的方法。

18、根据本公开的再一方面,提供了一种存储有计算机指令的非瞬时计算机可读存储介质,当至少一个量子处理单元执行时,所述计算机指令使得所述至少一个量子处理单元执行以上所述的方法;

19、或者,所述计算机指令用于使所述计算机执行以上所述的方法。

20、根据本公开的再一方面,提供了一种计算机程序产品,包括计算机程序,所述计算机程序在被至少一个量子处理单元执行时实现以上所述的方法;

21、或者所述计算机程序在被处理器执行时实现以上所述的方法。

22、这样,本公开方案能够基于测试结构中的目标器件构型,以及目标器件构型中所需调整的目标参数的参数变化特征,自动化生成包含有多个测试结构的晶圆版图,且该晶圆版图所包含的至少部分测试结构中目标器件构型的目标参数的取值不同,如此,有效提升了晶圆版图绘制的效率,且该过程无需人工干预,灵活性强、准确度高,进而极大地提高了量子芯片的设计效率,从而为加速量子芯片设计迭代提供了有力支持。

23、应当理解,本部分所描述的内容并非旨在标识本公开的实施例的关键或重要特征,也不用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

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【技术保护点】

1.一种晶圆版图生成方法,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,还包括:

3.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述生成晶圆版图,包括:

4.根据权利要求3所述的方法,其中,所述基于所述N个目标参数中各目标参数的第i取值,得到第i测试结构,以生成包括第i测试结构的晶圆版图,包括:

5.根据权利要求3或4所述的方法,其中,所述生成包括第i测试结构的晶圆版图,包括:

6.根据权利要求1-5任一项所述的方法,还包括:

7.根据权利要求1-6任一项所述的方法,还包括:

8.根据权利要求1-6任一项所述的方法,还包括:

9.根据权利要求1-8任一项所述的方法,其中,所述晶圆版图包括多个测试结组;其中,所述多个测试结组中的测试结组包括所述M个测试结构;不同测试结组位于所述晶圆版图中的不同位置。

10.根据权利要求1-9任一项所述的方法,其中,所述目标器件构型包括目标器件,以及用于承载所述目标器件的承载结构。

11.根据权利要求10所述的方法,其中,所述目标器件为约瑟夫森结

12.根据权利要求1-11任一项所述的方法,其中,所述目标器件构型与形成量子比特所需的目标器件构型相关;

13.根据权利要求12所述的方法,其中,所述测试结构中包含有至少两个检测区域;所述至少两个检测区域中各检测区域用于放置检测探针,以形成检测回路,得到所述目标器件构型所对应的特征参数值。

14.根据权利要求13所述的方法,其中,所述检测区域的有效面积大于量子比特中放置检测探针的有效区域的区域面积。

15.一种晶圆版图生成装置,包括:

16.根据权利要求15所述的装置,还包括:

17.根据权利要求15或16所述的装置,其中,所述版图生成单元,具体用于:

18.根据权利要求17所述的装置,其中,所述版图生成单元,具体用于:

19.根据权利要求17或18所述的装置,其中,所述版图生成单元,具体用于:

20.根据权利要求15-19任一项所述的装置,还包括:

21.根据权利要求15-20任一项所述的装置,还包括:

22.根据权利要求15-20任一项所述的装置,还包括:

23.根据权利要求15-22任一项所述的装置,其中,所述晶圆版图包括多个测试结组;其中,所述多个测试结组中的测试结组包括所述M个测试结构;不同测试结组位于所述晶圆版图中的不同位置。

24.根据权利要求15-23任一项所述的装置,其中,所述目标器件构型包括目标器件,以及用于承载所述目标器件的承载结构。

25.根据权利要求24所述的装置,其中,所述目标器件为约瑟夫森结。

26.根据权利要求15-25任一项所述的装置,其中,所述目标器件构型与形成量子比特所需的目标器件构型相关;

27.根据权利要求26所述的装置,其中,所述测试结构中包含有至少两个检测区域;所述至少两个检测区域中各检测区域用于放置检测探针,以形成检测回路,得到所述目标器件构型所对应的特征参数值。

28.根据权利要求27所述的装置,其中,所述检测区域的有效面积大于量子比特中放置检测探针的有效区域的区域面积。

29.一种计算设备,包括:

30.一种存储有计算机指令的非瞬时计算机可读存储介质,其特征在于,当至少一个量子处理单元执行时,所述计算机指令使得所述至少一个量子处理单元执行根据权利要求1-14任一项所述的方法;

31.一种计算机程序产品,包括计算机程序,所述计算机程序在被至少一个量子处理单元执行时实现根据权利要求1-14中任一项所述的方法;

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【技术特征摘要】

1.一种晶圆版图生成方法,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,还包括:

3.根据权利要求1或2所述的方法,其中,所述生成晶圆版图,包括:

4.根据权利要求3所述的方法,其中,所述基于所述n个目标参数中各目标参数的第i取值,得到第i测试结构,以生成包括第i测试结构的晶圆版图,包括:

5.根据权利要求3或4所述的方法,其中,所述生成包括第i测试结构的晶圆版图,包括:

6.根据权利要求1-5任一项所述的方法,还包括:

7.根据权利要求1-6任一项所述的方法,还包括:

8.根据权利要求1-6任一项所述的方法,还包括:

9.根据权利要求1-8任一项所述的方法,其中,所述晶圆版图包括多个测试结组;其中,所述多个测试结组中的测试结组包括所述m个测试结构;不同测试结组位于所述晶圆版图中的不同位置。

10.根据权利要求1-9任一项所述的方法,其中,所述目标器件构型包括目标器件,以及用于承载所述目标器件的承载结构。

11.根据权利要求10所述的方法,其中,所述目标器件为约瑟夫森结。

12.根据权利要求1-11任一项所述的方法,其中,所述目标器件构型与形成量子比特所需的目标器件构型相关;

13.根据权利要求12所述的方法,其中,所述测试结构中包含有至少两个检测区域;所述至少两个检测区域中各检测区域用于放置检测探针,以形成检测回路,得到所述目标器件构型所对应的特征参数值。

14.根据权利要求13所述的方法,其中,所述检测区域的有效面积大于量子比特中放置检测探针的有效区域的区域面积。

15.一种晶圆版图生成装置,包括:

16.根据权利要求15所述的装置,还包括:

17.根据权利要求15或16所述的装置,其中,所述版图生成单...

【专利技术属性】
技术研发人员:李明珅晋力京
申请(专利权)人:北京百度网讯科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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