一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室制造技术

技术编号:40527518 阅读:23 留言:0更新日期:2024-03-01 13:47
本技术涉及材料加工技术领域,尤其为一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室,包括腔体和观察管,所述观察管的外侧安装有法兰盖,所述观察管与法兰盖之间安装有观察镜,所述观察管的内侧开设有转槽,所述观察管的内侧设置有挡盘,所述挡盘的上侧固定连接有连接件,所述连接件的上端固定连接有转钮,所述挡盘的下侧固定连接有连接杆,所述连接杆的下端固定连接有收卷轮,所述收卷轮的外侧固定连接有弹性绳,所述弹性绳的另一端与腔体的外端面固定连接,所述观察管的内壁两侧均开设有轨槽,所述轨槽的内侧均固定连接有轴杆,本技术中,通过设置的挡盘、转钮、推环和收卷轮等结构实现了腔室的视窗观察镜可以通过可转动复位的挡盘进行保护。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及材料加工,具体为一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室


技术介绍

1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法,而真空镀膜装置腔室的观察窗为了屏蔽腔室内辐射射线或电磁波通常会采用具有真空遮蔽性能的观察镜。

2、现有腔室的视窗观察镜通常通过法兰盘安装在观察管道的一端,使工作人员可以在装置运行过程中观察镀膜腔室的内部工况,但装置镀膜过程中观察镜容易被镀膜材料所涂覆进而影响观察效果,导致每隔一段时间就需要更换视窗的观察镜,这样不仅浪费了观察镜,也增加了工人的劳动强度降低了生产效率,因此,根据上述问题提出一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室,以解决现有腔室的视窗观察镜需要经常更换的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:

3、一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室,包括腔体和观察管,所述观察管的外侧安装有法兰盖,所述观察管与法兰盖之间安装有观察镜,所述观察管的内侧开设有转槽,所述观察管的内侧设置有挡盘,所述挡盘的上侧固定连接有连接件,所述连接件的上端固定连接有转钮,所述挡盘的下侧固定连接有连接杆,所述连接杆的下端固定连接有收卷轮,所述收卷轮的外侧固定连接有弹性绳,所述弹性绳的另一端与腔体的外端面固定连接,所述观察管的内壁两侧均开设有轨槽,所述轨槽的内侧均固定连接有轴杆,所述轴杆的外侧均滑动连接有轨块,所述轴杆的外侧均套接有弹簧,所述轨块的外侧固定连接有推环,所述推环的外侧固定连接有密封圈,所述轨块的外侧均固定连接有隔板。

4、优选的,所述挡盘的外曲面与观察管的内壁相贴合,所述挡盘的两侧倒角均为圆角设置,所述连接杆与连接件的外端面均与观察管的导孔内壁相贴合。

5、优选的,所述转钮设置在转槽的内侧,所述转钮、连接件、连接杆和收卷轮的圆心均位于均为同一轴线,所述连接件与连接杆均固定在挡盘的中间位置。

6、优选的,所述弹簧均设置在轨槽的内壁与轨块的外端面之间,所述轨块均设置在弹簧的前侧,所述隔板均设置在一组轨槽之间,所述隔板的外曲面均与观察管的内壁相贴合。

7、优选的,所述推环与密封圈均设置在挡盘的后侧,所述密封圈的外端面与挡盘的后端面相贴合,所述推环的外曲面与观察管的内壁相贴合,所述推环的直径与密封圈的直径大小相同。

8、与现有技术相比,本技术的有益效果是:

9、本技术中,通过设置的挡盘、转钮、推环和收卷轮等结构使挡盘可以在不使用观察镜时保护观察镜,而可转动的挡盘使观察镜可以在需要时观察腔体内的工况,配合弹簧动作的推环以及配合弹性绳使用的收卷轮可以对挡盘进行自动复位,避免工作人员忘记复位,实现了腔室的视窗观察镜可以通过可转动复位的挡盘进行保护,解决了现有腔室的视窗观察镜需要经常更换的问题。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室,包括腔体(1)和观察管(2),其特征在于:所述观察管(2)的外侧安装有法兰盖(4),所述观察管(2)与法兰盖(4)之间安装有观察镜(3),所述观察管(2)的内侧开设有转槽(5),所述观察管(2)的内侧设置有挡盘(8),所述挡盘(8)的上侧固定连接有连接件(7),所述连接件(7)的上端固定连接有转钮(6),所述挡盘(8)的下侧固定连接有连接杆(9),所述连接杆(9)的下端固定连接有收卷轮(10),所述收卷轮(10)的外侧固定连接有弹性绳(11),所述弹性绳(11)的另一端与腔体(1)的外端面固定连接,所述观察管(2)的内壁两侧均开设有轨槽(12),所述轨槽(12)的内侧均固定连接有轴杆(13),所述轴杆(13)的外侧均滑动连接有轨块(14),所述轴杆(13)的外侧均套接有弹簧(15),所述轨块(14)的外侧固定连接有推环(16),所述推环(16)的外侧固定连接有密封圈(17),所述轨块(14)的外侧均固定连接有隔板(18)。

2.根据权利要求1所述的一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室,其特征在于:所述挡盘(8)的外曲面与观察管(2)的内壁相贴合,所述挡盘(8)的两侧倒角均为圆角设置,所述连接杆(9)与连接件(7)的外端面均与观察管(2)的导孔内壁相贴合。

3.根据权利要求1所述的一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室,其特征在于:所述转钮(6)设置在转槽(5)的内侧,所述转钮(6)、连接件(7)、连接杆(9)和收卷轮(10)的圆心均位于均为同一轴线,所述连接件(7)与连接杆(9)均固定在挡盘(8)的中间位置。

4.根据权利要求1所述的一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室,其特征在于:所述弹簧(15)均设置在轨槽(12)的内壁与轨块(14)的外端面之间,所述轨块(14)均设置在弹簧(15)的前侧,所述隔板(18)均设置在一组轨槽(12)之间,所述隔板(18)的外曲面均与观察管(2)的内壁相贴合。

5.根据权利要求1所述的一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室,其特征在于:所述推环(16)与密封圈(17)均设置在挡盘(8)的后侧,所述密封圈(17)的外端面与挡盘(8)的后端面相贴合,所述推环(16)的外曲面与观察管(2)的内壁相贴合,所述推环(16)的直径与密封圈(17)的直径大小相同。

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【技术特征摘要】

1.一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室,包括腔体(1)和观察管(2),其特征在于:所述观察管(2)的外侧安装有法兰盖(4),所述观察管(2)与法兰盖(4)之间安装有观察镜(3),所述观察管(2)的内侧开设有转槽(5),所述观察管(2)的内侧设置有挡盘(8),所述挡盘(8)的上侧固定连接有连接件(7),所述连接件(7)的上端固定连接有转钮(6),所述挡盘(8)的下侧固定连接有连接杆(9),所述连接杆(9)的下端固定连接有收卷轮(10),所述收卷轮(10)的外侧固定连接有弹性绳(11),所述弹性绳(11)的另一端与腔体(1)的外端面固定连接,所述观察管(2)的内壁两侧均开设有轨槽(12),所述轨槽(12)的内侧均固定连接有轴杆(13),所述轴杆(13)的外侧均滑动连接有轨块(14),所述轴杆(13)的外侧均套接有弹簧(15),所述轨块(14)的外侧固定连接有推环(16),所述推环(16)的外侧固定连接有密封圈(17),所述轨块(14)的外侧均固定连接有隔板(18)。

2.根据权利要求1所述的一种带有真空遮蔽功能的视窗腔室,其特征在于:所述挡盘(8)的外曲面与观察管(2...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨喆王东东王刚侯钧翊党魁
申请(专利权)人:苏州凡特真空溅镀科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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