【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电化学分析领域，尤其涉及一种适用于tof-sims的样品组件制备方法及样品组件。
技术介绍
1、电池技术，尤其是锂离子电池技术，在现代能源存储和电子设备中扮演着关键角色。电池的性能，包括其能量密度、充放电循环寿命和安全性，极大程度上取决于电池极片的微观结构和化学组成。因此，对电池极片进行详细的分析对于电池设计和性能优化至关重要。
2、质谱分析，特别是飞行时间二次离子质谱仪(tof-sims)技术，因其在表面和微观尺度分析上的高灵敏度和高分辨率，已成为电池材料研究中的重要工具。这种技术可以提供关于电池极片表面和界面的详细化学信息，对于理解电池内部的化学和电化学过程非常重要。
3、然而，现有的电池极片由于附着力不足致使样品脱离基材，要制成截面就更困难；此外，在进行tof-sims测试时要求测试面平整，样品能立起来，并且tof-sims对样品的尺寸有要求，常规的氩离子抛光挡板因为尺寸过大，无法跟样品一起送进样品仓测试，因而需要样品跟挡板分离开。再者，在对其截面进行质谱测试过程中因为样品难以立起并可能出现破损和变形，难以得到高精度的质谱分析结果。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供一种适用于tof-sims的样品组件制备方法。
2、另，本申请还提供一种由上述制备方法制备的样品组件。
3、一种适用于tof-sims的样品组件制备方法，包括步骤：
4、于载样板的一侧设置待处理样品，所述待处理样品包括伸出所述载样板的边缘的
5、于所述待处理样品背离所述载样板的一侧设置抛光挡板，部分所述凸出部伸出所述抛光挡板的边缘，获得待处理样品组件；
6、采用离子束对伸出所述抛光挡板的边缘的部分所述凸出部进行研磨，从而所述待处理样品上形成与所述抛光挡板齐平的抛光截面，以及
7、移除所述抛光挡板，获得所述样品，其中，所述样品包括所述载样板及设置于所述载样板一侧的具有所述抛光截面的待测样品。
8、在一些可能的实施例中，所述待处理样品为电极微片，所述待处理样品的制备方法包括步骤：
9、于一玻璃基板设置电池极片；
10、于电池极片施压以切割所述电池极片，获得所述电极微片。
11、在一些可能的实施例中，所述待处理样品组件还包括粘接带，所述粘接带缠绕所述抛光挡板以及所述载样板，所述样品组件制备方法还包括步骤：
12、于离子抛光后移除所述粘接带。
13、在一些可能的实施例中，步骤“于载样板的一侧设置待处理样品”还包括：
14、设置所述凸出部伸出所述载样板的边缘的距离为20～60微米。
15、在一些可能的实施例中，步骤“于所述待处理样品背离所述载样板的一侧设置抛光挡板”还包括：
16、设置所述抛光挡板凸出所述载样板边缘的距离为10～30微米，以及
17、设置所述凸出部伸出所述抛光挡板的边缘的距离为10～30微米。
18、在一些可能的实施例中，步骤“于载样板的一侧设置待处理样品”包括：
19、于所述载样板的一侧设置银胶，以及于所述银胶设置所述待处理样品。
20、在一些可能的实施例中，包括：采用氩离子束对伸出所述抛光挡板的边缘的部分所述凸出部进行研磨。
21、一种由上所述的适用于tof-sims的样品组件制备方法制备的样品，包括载样板以及设置于所述载样板一侧的待测样品，所述待测样品包括伸出所述载样板的边缘的凸出部，所述凸出部具有抛光截面。
22、在一些可能的实施例中，所述待测样品有目标侧及与所述目标侧相对的非目标侧，所述抛光截面连接所述目标侧与所述非目标侧之间，所述目标层背向所述载样板设置。
23、在一些可能的实施例中，所述待测样品粘接于所述载样板，所述载样板为硅片。
24、本申请提供的适用于tof-sims的样品组件制备方法通过离子束对抛光截面进行了表面清洁，减少了外来污染源的信号。而且，所述样品中的载样板可以为所述待测样品提供辅助支撑和稳固，使得所述待测样品可稳定地直立，从而保证所述抛光截面稳定，通过所述tof-sims可以对所述抛光截面进行精准的表面和界面分析。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种适用于TOF-SIMS的样品组件制备方法，其特征在于，包括步骤：
2.如权利要求1所述的样品组件制备方法，其特征在于，所述待处理样品为电池微片，所述待处理样品的制备方法包括步骤：
3.如权利要求1所述的样品组件制备方法，其特征在于，所述待处理样品组件还包括粘接带，所述粘接带缠绕所述抛光挡板以及所述载样板，所述样品组件制备方法还包括步骤：
4.如权利要求1所述的样品组件制备方法，其特征在于，步骤“于载样板的一侧设置待处理样品”还包括：
5.如权利要求1所述的样品组件制备方法，其特征在于，步骤“于所述待处理样品背离所述载样板的一侧设置抛光挡板”还包括：
6.如权利要求1所述的样品组件制备方法，其特征在于，步骤“于载样板的一侧设置待处理样品”包括：
7.如权利要求1所述的样品组件制备方法，其特征在于，包括：采用氩离子束对伸出所述抛光挡板的边缘的部分所述凸出部进行研磨。
8.一种由权利要求1至7中任意一项所述的适用于TOF-SIMS的样品组件制备方法制备的样品组件，其特征在于，所述样品组件包括载样
9.如权利要求8所述的样品组件，其特征在于，所述待测样品有目标侧及与所述目标侧相对的非目标侧，所述抛光截面连接所述目标侧与所述非目标侧之间，所述目标层背向所述载样板设置。
10.如权利要求8所述的样品组件，其特征在于，所述待测样品粘接于所述载样板，所述载样板为硅片。
...【技术特征摘要】
1.一种适用于tof-sims的样品组件制备方法，其特征在于，包括步骤：
2.如权利要求1所述的样品组件制备方法，其特征在于，所述待处理样品为电池微片，所述待处理样品的制备方法包括步骤：
3.如权利要求1所述的样品组件制备方法，其特征在于，所述待处理样品组件还包括粘接带，所述粘接带缠绕所述抛光挡板以及所述载样板，所述样品组件制备方法还包括步骤：
4.如权利要求1所述的样品组件制备方法，其特征在于，步骤“于载样板的一侧设置待处理样品”还包括：
5.如权利要求1所述的样品组件制备方法，其特征在于，步骤“于所述待处理样品背离所述载样板的一侧设置抛光挡板”还包括：
6.如权利要求1所述的样品组件制备方法，其特征在于，步骤“于载样板的一侧设...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘燕芳，石楚琪，许燕娜，李晓静，李宝华，
申请(专利权)人：清华大学深圳国际研究生院，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。