【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体制造领域，尤其是涉及一种加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法。
技术介绍
1、砷化镓太阳电池具有高转换效率、抗辐照性能强的优点，在航天领域广泛应用。砷化镓太阳电池采用在4英寸或6英寸基底晶圆上进行外延，之后进行光刻、电极制备、减反射膜等工艺，从而制备出具有高可靠性能的砷化镓太阳电池。目前采用印刷作业制备砷化镓太阳电池栅线，采用印刷作业的方式，可以使砷化镓太阳电池的制备实现全自动流转，有效降低成本。传统砷化镓太阳电池为保证上电极栅线牢固度，在上电极光刻后会进行溶液腐蚀清洗，再去进行蒸镀。但是，由于光刻胶的特殊性，无法使用有机溶液对电池进行清洗，只能使用无机酸碱类溶液，这就无法完全清除栅线图形内残留的光刻胶，导致电池存在掉栅的隐患。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法。
2、本专利技术采用的技术方案是：一种加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，在砷化镓表层上沉积掩膜牺牲层，在掩膜牺牲层上进行栅线图形光刻，光刻后通过等离子体轰击电离气体清除栅线图形内残胶，去除栅线图形内掩膜牺牲层，蒸镀制备电极栅线，去除多余的光刻胶和掩膜牺牲层，得到具有栅线的砷化镓电池片。
3、优选地，掩膜牺牲层为氧化铝或氧化钛。
4、优选地，掩膜牺牲层厚度为1nm-100μm。
5、优选地，通过腐蚀或者干法蚀刻方式去除掩膜牺牲层。
6、优选地，具体制备方法如下：
7、步骤一：太
8、步骤二：在掩膜层表面进行栅线光刻，得到栅线图形；
9、步骤三：对栅线图形中的残胶进行清除，通过等离子体轰击电离气体清除栅线图形内残胶，同时保证栅线图形外光刻胶完整；
10、步骤四：去除栅线图形中的掩膜牺牲层，并对栅线图形范围进行蒸镀，制备电极栅线；
11、步骤五：依次去除多余的光刻胶和掩膜牺牲层，得到蒸镀有电极栅线的砷化镓电池片。
12、优选地，步骤二中，通过光刻上胶-曝光-显影得到栅线图形。
13、优选地，步骤三中，将等离子体机台通入氧气，打开电浆轰击，通过电离气体去除栅线图形内残胶。
14、优选地，浸泡氢氧化钠溶液或氢氟酸溶液去除氧化铝掩膜牺牲层，浸泡氢氟酸溶液去除氧化钛掩膜牺牲层。
15、本专利技术具有的优点和积极效果是：通过等离子体轰击电离气体的方式清洗栅线图形中残留的光刻胶，能够避免栅线蒸镀在残胶上，影响栅线的固定，从而导致掉栅现象；另外设置有掩膜牺牲层，避免等离子体轰击时对砷化镓表层产生影响；本方法中，掩膜牺牲层并不参与形成砷化镓电池片，只在制备过程中产生作用，因此掩膜牺牲层能够选择范围广泛，工艺易于实现。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，其特征在于：在砷化镓表层上沉积掩膜牺牲层，在掩膜牺牲层上进行栅线图形光刻，光刻后通过等离子体轰击电离气体清除栅线图形内残胶，去除栅线图形内掩膜牺牲层，蒸镀制备电极栅线，去除多余的光刻胶和掩膜牺牲层，得到具有栅线的砷化镓电池片。
2.根据权利要求1所述的加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，其特征在于：掩膜牺牲层为氧化铝或氧化钛。
3.根据权利要求2所述的加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，其特征在于：掩膜牺牲层厚度为1nm-100μm。
4.根据权利要求1所述的加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，其特征在于：通过腐蚀或者干法蚀刻方式去除掩膜牺牲层。
5.根据权利要求1-4中任一所述的加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，其特征在于：具体制备方法如下：
6.根据权利要求5所述的加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，其特征在于：步骤二中，通过光刻上胶-曝光-显影得到栅线图形。
7.根据权利要求5所述的加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，其特征在于：步骤三中，将等离子体机台通入
8.根据权利要求5所述的加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，其特征在于：浸泡氢氧化钠溶液或氢氟酸溶液去除氧化铝掩膜牺牲层，或者，浸泡氢氟酸溶液去除氧化钛掩膜牺牲层。
...【技术特征摘要】
1.一种加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，其特征在于：在砷化镓表层上沉积掩膜牺牲层，在掩膜牺牲层上进行栅线图形光刻，光刻后通过等离子体轰击电离气体清除栅线图形内残胶，去除栅线图形内掩膜牺牲层，蒸镀制备电极栅线，去除多余的光刻胶和掩膜牺牲层，得到具有栅线的砷化镓电池片。
2.根据权利要求1所述的加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，其特征在于：掩膜牺牲层为氧化铝或氧化钛。
3.根据权利要求2所述的加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，其特征在于：掩膜牺牲层厚度为1nm-100μm。
4.根据权利要求1所述的加强砷化镓太阳电池栅线牢固度的方法，其特征在于：通过腐蚀或者干法蚀刻...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡蝶，程保义，郭志胜，崔鹏，铁剑锐，肖志斌，李晓东，杜永超，梁存宝，王鑫，张建港，徐贺，
申请(专利权)人：中电科蓝天科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。