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【技术实现步骤摘要】
【】本专利技术专利申请主张2023年05月02日提出申请的编号为63/463,427名称是”probe card supporting device”的美国专利临时申请案的国际优先权,前述案件的内容通过引用并入本文,并且成为说明书的一部分。本专利技术涉及一种探针卡保护盒,尤其涉及一种探针卡的定位环及快拆式保护盒。
技术介绍
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技术介绍
1、随着科技的进步,半导体组件已经普遍地见于各式各样的电子装置中。在半导体组件相关的制造工艺中,半导体晶圆在进入封装工艺前会先进行测试。探针卡(probecard)即为半导体晶圆与测试系统的接口,连接于待测半导体晶圆与测试系统间,探针卡上设有若干探针(probe),探针(probe)可与半导体晶圆上的焊垫(pad)或凸块(bump)电性接触,使半导体晶圆能经由探针卡与测试系统电性连接,以达到量测目的。
2、探针卡在测试使用前或维修前,为了保护上面的探针,已知的作法是提供保护盖于探针卡上。然而目前在探针卡的存放、测试或是维修的过程中,仍具有以下缺点:由于皆以人工搬运拿取探针卡,容易在取放过程中碰触到探针而造成损坏。另外在半导体晶圆测试过程中,若是保护盖因人为疏忽未自探针卡上取下,更会发生测试错误甚至是损坏测试机台的状况。
技术实现思路
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技术实现思路
1、本专利技术提供一种探针卡的定位环及保护盒,当保护盖与其连接的探针卡一同置放至定位环上时,定位环的斜槽使保护盖上的卡扣件作动,进而脱离与探针卡的卡扣状态,
2、本专利技术的种探针卡的保护盒,其特征在于,包括:定位环以及盒体,定位环用以承置及定位探针卡,定位环具有快拆件;盒体设有配置槽,对应于快拆件配置,并且用于与快拆件配合对接;快拆件可拆卸地与配置槽对接,用以将定位环可拆卸地扣合于盒体内。
3、本专利技术的探针卡的定位环,其特征在于:可拆卸地设置于保护盒内并具有斜槽,定位环用以承置及定位探针卡,探针卡上连接有保护盖,保护盖包括用以卡扣于探针卡的卡扣件;其中,当保护盖及与其连接的探针卡一同置放至定位环上时,斜槽使卡扣件作动进而脱离与探针卡的卡扣状态,从而让探针卡与保护盖处于可分离状态;其中当使用第一手段取出置放于定位环上的探针卡时,探针卡与保护盖分离,从而让保护盖停留于定位环上;当使用第二手段取出置放于定位环上的保护盖及探针卡时,卡扣件脱离斜槽并恢复与探针卡的卡扣状态。
4、本专利技术的提出探针卡的保护盒,其特征在于,包括:定位环、盒体、上盖以及开关件,定位环用以承置及定位探针卡,定位环具有快拆件;盒体设有配置槽,对应于快拆件配置,并且用于与快拆件配合对接,其中快拆件可拆卸地与配置槽对接,用以将定位环可拆卸地扣合于盒体内;上盖与盒体配合以界定容置定位环与探针卡的容置空间;开关件设置于盒体上,上盖设有卡榫,对应于开关件的位置,其中开关件用以锁扣于卡榫,从而锁固上盖与盒体。
5、本专利技术的具有以下有益的效果:
6、利用定位环来卸除保护盖与探针卡间的卡扣,可以达到快速便利地取出探针卡的效果。当以不同的方式自定位环上取出探针卡时,保护盖可以脱离探针卡或是重新卡扣于探针卡,一方面可以避免人工取放探针卡时因触碰造成损坏的问题,另一方面亦有助于流程的自动化。此外,定位环可拆卸地设置于保护盒内,可以快速更换定位环以对应不同型式的探针卡,提升应用上的弹性。再者,保护盒设置有开关件及卡榫,可以达到自动化锁扣及解锁的效果。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种探针卡的保护盒,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的保护盒,其特征在于:所述快拆件为弹性扣合结构,所述快拆件包括抵靠件及一对肩部,所述抵靠件抵靠于所述盒体的内侧墙,所述对肩部连接于所述抵靠件的两侧,所述盒体更设有压扣件,位于所述配置槽,所述压扣件压扣于所述对肩部,以固定所述定位环。
3.如权利要求2所述的保护盒,其特征在于:当所述抵靠件受力离开所述内侧墙一距离时,所述对肩部脱离所述压扣件,使得所述定位环为可拆卸状态。
4.一种探针卡的定位环,其特征在于:所述定位环用以承置及定位所述探针卡,并可拆卸地设置于保护盒内,所述定位环上设置有斜槽,所述探针卡上连接有保护盖,所述保护盖包括用以卡扣于所述探针卡的卡扣件;
5.如权利要求4所述的定位环,其特征在于:当使用所述第二手段取出所述保护盖及所述探针卡后,所述保护盖更用于连接于治具,从而将所述探针卡及所述保护盖进行分离,其中所述治具有本体,所述本体两侧各为倾斜面,使所述卡扣件作动进而脱离与所述探针卡的所述卡扣状态。
6.如权利要求4所述的定位环,其特征在于:所述保护
7.如权利要求4所述的定位环,其特征在于:所述卡扣件具有斜柄部,所述斜槽用以与所述斜柄部互动,所述斜槽具有导引斜面,所述导引斜面与水平面间具有第一夹角,所述斜柄部与所述水平面间具有小于所述第一夹角的第二夹角。
8.一种探针卡的保护盒,其特征在于,包括:
9.如权利要求8所述的保护盒,其特征在于:所述开关件为旋转式的弹性扣件,用于藉由第一手段按压后旋转,使所述开关件脱离与所述卡榫的锁扣,从而让所述上盖处于可取出状态。
10.如权利要求8所述的保护盒,其特征在于:所述开关件为推压式的弹性扣件,用于藉由第二手段按压后使所述开关件脱离与所述卡榫的锁扣,从而让所述上盖处于可取出状态。
...【技术特征摘要】
1.一种探针卡的保护盒,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的保护盒,其特征在于:所述快拆件为弹性扣合结构,所述快拆件包括抵靠件及一对肩部,所述抵靠件抵靠于所述盒体的内侧墙,所述对肩部连接于所述抵靠件的两侧,所述盒体更设有压扣件,位于所述配置槽,所述压扣件压扣于所述对肩部,以固定所述定位环。
3.如权利要求2所述的保护盒,其特征在于:当所述抵靠件受力离开所述内侧墙一距离时,所述对肩部脱离所述压扣件,使得所述定位环为可拆卸状态。
4.一种探针卡的定位环,其特征在于:所述定位环用以承置及定位所述探针卡,并可拆卸地设置于保护盒内,所述定位环上设置有斜槽,所述探针卡上连接有保护盖,所述保护盖包括用以卡扣于所述探针卡的卡扣件;
5.如权利要求4所述的定位环,其特征在于:当使用所述第二手段取出所述保护盖及所述探针卡后,所述保护盖更用于连接于治具,从而将所述探针卡及所述保护盖进行分离,其中所述治具有本体,所述本体两侧各为倾斜面,使所述卡扣件...
【专利技术属性】
技术研发人员:邱铭干,潘咏晋,褚育辰,黄启专,
申请(专利权)人:家登精密工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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