System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 探针卡的定位环及保护盒制造技术_技高网

探针卡的定位环及保护盒制造技术

技术编号:40512867 阅读:26 留言:0更新日期:2024-03-01 13:29
本发明专利技术公开了一种探针卡的定位环及保护盒,保护盒包括定位环、盒体、上盖及开关件,定位环有快拆件,盒体设有对应快拆件配置的配置槽,用来与快拆件对接,以将定位环可拆卸地扣合于盒体内,定位环包括斜槽,探针卡上连接有保护盖,保护盖包括用以卡扣于探针卡的卡扣件,当保护盖及探针卡一同置放至定位环上时,斜槽使卡扣件作动而脱离与探针卡的卡扣状态,让探针卡与保护盖处于可分离状态;开关件设置于盒体上,上盖设有对应于开关件的卡榫,开关件用以锁扣于卡榫,以锁固上盖与盒体。本发明专利技术通过定位环可以达成探针卡在取放时有保护功能,而自动化设备抓取时可以自动卸除保护盖的效果,提升对于探针的保护性并有助于测试流程的自动化。

【技术实现步骤摘要】

【】本专利技术专利申请主张2023年05月02日提出申请的编号为63/463,427名称是”probe card supporting device”的美国专利临时申请案的国际优先权,前述案件的内容通过引用并入本文,并且成为说明书的一部分。本专利技术涉及一种探针卡保护盒,尤其涉及一种探针卡的定位环及快拆式保护盒。


技术介绍

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技术介绍

1、随着科技的进步,半导体组件已经普遍地见于各式各样的电子装置中。在半导体组件相关的制造工艺中,半导体晶圆在进入封装工艺前会先进行测试。探针卡(probecard)即为半导体晶圆与测试系统的接口,连接于待测半导体晶圆与测试系统间,探针卡上设有若干探针(probe),探针(probe)可与半导体晶圆上的焊垫(pad)或凸块(bump)电性接触,使半导体晶圆能经由探针卡与测试系统电性连接,以达到量测目的。

2、探针卡在测试使用前或维修前,为了保护上面的探针,已知的作法是提供保护盖于探针卡上。然而目前在探针卡的存放、测试或是维修的过程中,仍具有以下缺点:由于皆以人工搬运拿取探针卡,容易在取放过程中碰触到探针而造成损坏。另外在半导体晶圆测试过程中,若是保护盖因人为疏忽未自探针卡上取下,更会发生测试错误甚至是损坏测试机台的状况。


技术实现思路

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技术实现思路

1、本专利技术提供一种探针卡的定位环及保护盒,当保护盖与其连接的探针卡一同置放至定位环上时,定位环的斜槽使保护盖上的卡扣件作动,进而脱离与探针卡的卡扣状态,让探针卡与保护盖处于可分离状态,藉此可以达成探针卡在取放时有保护功能,而自动化设备抓取时可以自动卸除保护盖的效果,提升对于探针的保护性并有助于测试流程的自动化。

2、本专利技术的种探针卡的保护盒,其特征在于,包括:定位环以及盒体,定位环用以承置及定位探针卡,定位环具有快拆件;盒体设有配置槽,对应于快拆件配置,并且用于与快拆件配合对接;快拆件可拆卸地与配置槽对接,用以将定位环可拆卸地扣合于盒体内。

3、本专利技术的探针卡的定位环,其特征在于:可拆卸地设置于保护盒内并具有斜槽,定位环用以承置及定位探针卡,探针卡上连接有保护盖,保护盖包括用以卡扣于探针卡的卡扣件;其中,当保护盖及与其连接的探针卡一同置放至定位环上时,斜槽使卡扣件作动进而脱离与探针卡的卡扣状态,从而让探针卡与保护盖处于可分离状态;其中当使用第一手段取出置放于定位环上的探针卡时,探针卡与保护盖分离,从而让保护盖停留于定位环上;当使用第二手段取出置放于定位环上的保护盖及探针卡时,卡扣件脱离斜槽并恢复与探针卡的卡扣状态。

4、本专利技术的提出探针卡的保护盒,其特征在于,包括:定位环、盒体、上盖以及开关件,定位环用以承置及定位探针卡,定位环具有快拆件;盒体设有配置槽,对应于快拆件配置,并且用于与快拆件配合对接,其中快拆件可拆卸地与配置槽对接,用以将定位环可拆卸地扣合于盒体内;上盖与盒体配合以界定容置定位环与探针卡的容置空间;开关件设置于盒体上,上盖设有卡榫,对应于开关件的位置,其中开关件用以锁扣于卡榫,从而锁固上盖与盒体。

5、本专利技术的具有以下有益的效果:

6、利用定位环来卸除保护盖与探针卡间的卡扣,可以达到快速便利地取出探针卡的效果。当以不同的方式自定位环上取出探针卡时,保护盖可以脱离探针卡或是重新卡扣于探针卡,一方面可以避免人工取放探针卡时因触碰造成损坏的问题,另一方面亦有助于流程的自动化。此外,定位环可拆卸地设置于保护盒内,可以快速更换定位环以对应不同型式的探针卡,提升应用上的弹性。再者,保护盒设置有开关件及卡榫,可以达到自动化锁扣及解锁的效果。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针卡的保护盒,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的保护盒,其特征在于:所述快拆件为弹性扣合结构,所述快拆件包括抵靠件及一对肩部,所述抵靠件抵靠于所述盒体的内侧墙,所述对肩部连接于所述抵靠件的两侧,所述盒体更设有压扣件,位于所述配置槽,所述压扣件压扣于所述对肩部,以固定所述定位环。

3.如权利要求2所述的保护盒,其特征在于:当所述抵靠件受力离开所述内侧墙一距离时,所述对肩部脱离所述压扣件,使得所述定位环为可拆卸状态。

4.一种探针卡的定位环,其特征在于:所述定位环用以承置及定位所述探针卡,并可拆卸地设置于保护盒内,所述定位环上设置有斜槽,所述探针卡上连接有保护盖,所述保护盖包括用以卡扣于所述探针卡的卡扣件;

5.如权利要求4所述的定位环,其特征在于:当使用所述第二手段取出所述保护盖及所述探针卡后,所述保护盖更用于连接于治具,从而将所述探针卡及所述保护盖进行分离,其中所述治具有本体,所述本体两侧各为倾斜面,使所述卡扣件作动进而脱离与所述探针卡的所述卡扣状态。

6.如权利要求4所述的定位环,其特征在于:所述保护盖包括盖体、侧壁及设置于所述侧壁的第一把手,所述第一把手对应所述探针卡的第二把手,所述第二手段经由所述第二把手与所述第一把手同时取出所述保护盖与所述探针卡。

7.如权利要求4所述的定位环,其特征在于:所述卡扣件具有斜柄部,所述斜槽用以与所述斜柄部互动,所述斜槽具有导引斜面,所述导引斜面与水平面间具有第一夹角,所述斜柄部与所述水平面间具有小于所述第一夹角的第二夹角。

8.一种探针卡的保护盒,其特征在于,包括:

9.如权利要求8所述的保护盒,其特征在于:所述开关件为旋转式的弹性扣件,用于藉由第一手段按压后旋转,使所述开关件脱离与所述卡榫的锁扣,从而让所述上盖处于可取出状态。

10.如权利要求8所述的保护盒,其特征在于:所述开关件为推压式的弹性扣件,用于藉由第二手段按压后使所述开关件脱离与所述卡榫的锁扣,从而让所述上盖处于可取出状态。

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【技术特征摘要】

1.一种探针卡的保护盒,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的保护盒,其特征在于:所述快拆件为弹性扣合结构,所述快拆件包括抵靠件及一对肩部,所述抵靠件抵靠于所述盒体的内侧墙,所述对肩部连接于所述抵靠件的两侧,所述盒体更设有压扣件,位于所述配置槽,所述压扣件压扣于所述对肩部,以固定所述定位环。

3.如权利要求2所述的保护盒,其特征在于:当所述抵靠件受力离开所述内侧墙一距离时,所述对肩部脱离所述压扣件,使得所述定位环为可拆卸状态。

4.一种探针卡的定位环,其特征在于:所述定位环用以承置及定位所述探针卡,并可拆卸地设置于保护盒内,所述定位环上设置有斜槽,所述探针卡上连接有保护盖,所述保护盖包括用以卡扣于所述探针卡的卡扣件;

5.如权利要求4所述的定位环,其特征在于:当使用所述第二手段取出所述保护盖及所述探针卡后,所述保护盖更用于连接于治具,从而将所述探针卡及所述保护盖进行分离,其中所述治具有本体,所述本体两侧各为倾斜面,使所述卡扣件...

【专利技术属性】
技术研发人员:邱铭干潘咏晋褚育辰黄启专
申请(专利权)人:家登精密工业股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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