【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路行业半导体专用温控设备，尤其涉及一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置及方法。
技术介绍
1、先进集成电路工艺制程中，半导体温控装置(chiller)为主设备提供恒温液体，由于主设备对半导体温控装置的液体流量精度要求比较高，为了更好的满足主设备的流量要求，需要在出厂前对半导体专用温控设备的流量依照主设备的要求进行调试和设置，以保证在客户现场满足主设备的工艺要求。
2、一般一台半导体温控装置需要接入多台主设备，即半导体温控装置需要通过多分支流量控制系统分别连接多个主设备，而目前用于半导体温控装置的多分支流量控制系统主要通过手动调节手阀进行调节，来调试半导体半导体温控装置的分支流量。
3、上述现有的多分支流量控制系统调试过程中，调节一路分支流量，其他支路的流量都会受到影响，从而导致其他支路流量同时需要进行调节，包括主路流量也要调节，导致调节难度大，调节过程时间长；而且，手动调节手阀也无法精准的调节出所需流量，容易产生调节误差，导致无法满足主设备的流量要求，影响主设备的运行。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置及方法，精准地控制半导体温控装置出口的分支流量，一台半导体温控装置的可以满足多台主设备需求，同时各支路流量都可自行调节，各支路互不影响，实现了自动化调节代替人工手阀调节，不仅提高了调节流量的一致性和准确性，同时降低了人工参与程度，提高了流量调节效率。
2、本专利技术提供一种用于半导体专
3、所述进液管线连通半导体温控装置和主设备，用于将所述半导体温控装置输出的恒温液体输送至所述主设备；所述回液管线连通所述半导体温控装置和所述主设备，用于将流经所述主设备的恒温液体输送至所述半导体温控装置；
4、每条所述进液管线上串接有电动调节阀和流量计，所述电动调节阀和所述流量计均与控制器电连接，所述控制器用于接收所述流量计测得的流量信号，并与所述主设备的预设流量值进行比对，然后根据比对结果控制所述电动调节阀进行流量调节。
5、根据本专利技术提供的一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置，所述电动调节阀为电动三通阀，所述电动三通阀的第一通道口通过所述进液管线与所述半导体温控装置连通，所述电动三通阀的第二通道口通过所述进液管线与所述主设备连通，所述电动三通阀的第三通道口通过管线连通所述回液管线。
6、根据本专利技术提供的一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置，所述电动三通阀与所述半导体温控装置之间的所述进液管线上设置有第一阀体。
7、根据本专利技术提供的一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置，所述第一阀体为电动阀体或机械阀体，在所述第一阀体为电动阀体时，所述电动阀体电连接于所述控制器。
8、根据本专利技术提供的一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置，所述电动三通阀与所述主设备之间的所述进液管线上设置有第一机械手阀，所述回液管线上设置有第二机械手阀。
9、根据本专利技术提供的一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置，所述流量计位于所述电动调节阀的出口侧，所述第一机械手阀位于所述流量计和所述主设备之间的所述进液管线上；所述第二机械手阀位于所述电动调节阀与所述回液管线的连接点和所述主设备之间的所述进液管线上。
10、根据本专利技术提供的一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置，所述用于半导体专用温控装置的流量控制装置还包括人机交互面板，所述人机交互面板与所述控制器电连接。
11、根据本专利技术提供的一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置，所述半导体温控装置设置有输液主管线和回液主管线，每条所述进液管线连通所述输液主管线，每条所述回液管线连通所述回液主管线。
12、本专利技术还提供一种用于半导体专用温控装置的流量控制方法，适用于上述任意一项用于半导体专用温控装置的流量控制装置，包括：
13、s1、根据各个主设备的预设流量值，调整与所述主设备对应的循环管路中的第一阀体的开度，以使经过所述第一阀体的恒温液体流量大于对应的所述预设流量值；
14、s2、通过流量计获取各个循环管路的流量值，并与对应的主设备的预设流量值进行比对；
15、s3、根据比对结果调节对应循环管路中的电动调节阀的开度，使得经过所述电动调节阀的恒温液体流量与所述预设流量值相等。
16、根据本专利技术提供的一种用于半导体专用温控装置的流量控制方法，所述根据比对结果调节对应循环管路中的电动调节阀的开度包括：
17、在所述流量计获取的流量值小于对应所述主设备的预设流量值的情况下，控制所述电动调节阀开度增大；
18、在所述流量计获取的流量值大于对应所述主设备的预设流量值的情况下，控制所述电动调节阀开度减小。
19、本专利技术提供一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置及方法，精准地控制半导体温控装置出口的分支流量，一台半导体温控装置的可以满足多台主设备需求，同时各支路流量都可自行调节，各支路互不影响，实现了自动化调节代替人工手阀调节，不仅提高了调节流量的一致性和准确性，同时降低了人工参与程度，提高了流量调节效率。
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1.一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，包括至少两条并联设置的循环管路，每条所述循环管路包括进液管线(1)和回液管线(2)；
2.根据权利要求1所述的用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，所述电动调节阀(5)为电动三通阀，所述电动三通阀的第一通道口通过所述进液管线(1)与所述半导体温控装置(3)连通，所述电动三通阀的第二通道口通过所述进液管线(1)与所述主设备(4)连通，所述电动三通阀的第三通道口通过管线连通所述回液管线(2)。
3.根据权利要求2所述的用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，所述电动三通阀与所述半导体温控装置(3)之间的所述进液管线(1)上设置有第一阀体(8)。
4.根据权利要求3所述的用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，所述第一阀体(8)为电动阀体或机械阀体，在所述第一阀体(8)为电动阀体时，所述电动阀体电连接于所述控制器(7)。
5.根据权利要求2所述的用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，所述电动三通阀与所述主设备(4)之间的所述进液管线(1)
6.根据权利要求5所述的用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，所述流量计(6)位于所述电动调节阀(5)的出口侧，所述第一机械手阀(9)位于所述流量计(6)和所述主设备(4)之间的所述进液管线(1)上；所述第二机械手阀(10)位于所述电动调节阀(5)与所述回液管线(2)的连接点和所述主设备(4)之间的所述进液管线(1)上。
7.根据权利要求1～5中任意一项所述的用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，所述用于半导体专用温控装置的流量控制装置还包括人机交互面板(11)，所述人机交互面板(11)与所述控制器(7)电连接。
8.根据权利要求7所述的用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，所述半导体温控装置(3)设置有输液主管线(12)和回液主管线(13)，每条所述进液管线(1)连通所述输液主管线(12)，每条所述回液管线(2)连通所述回液主管线(13)。
9.一种用于半导体专用温控装置的流量控制方法，适用于权利要求1至8中任意一项所述的用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，包括：
10.根据权利要求9所述的用于半导体专用温控装置的流量控制方法，其特征在于，所述根据比对结果调节对应循环管路中的电动调节阀(5)的开度包括：
...【技术特征摘要】
1.一种用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，包括至少两条并联设置的循环管路，每条所述循环管路包括进液管线(1)和回液管线(2)；
2.根据权利要求1所述的用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，所述电动调节阀(5)为电动三通阀，所述电动三通阀的第一通道口通过所述进液管线(1)与所述半导体温控装置(3)连通，所述电动三通阀的第二通道口通过所述进液管线(1)与所述主设备(4)连通，所述电动三通阀的第三通道口通过管线连通所述回液管线(2)。
3.根据权利要求2所述的用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，所述电动三通阀与所述半导体温控装置(3)之间的所述进液管线(1)上设置有第一阀体(8)。
4.根据权利要求3所述的用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，所述第一阀体(8)为电动阀体或机械阀体，在所述第一阀体(8)为电动阀体时，所述电动阀体电连接于所述控制器(7)。
5.根据权利要求2所述的用于半导体专用温控装置的流量控制装置，其特征在于，所述电动三通阀与所述主设备(4)之间的所述进液管线(1)上设置有第一机械手阀(9)，所述回液管线(2)上设置有第二机械手阀(10)。
6.根据权利要求5...
【专利技术属性】
技术研发人员：鲁元进，李文博，贾正帅，曹小康，芮守祯，何茂东，董春辉，滕汉生，
申请(专利权)人：安徽京仪自动化装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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