【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种有序多孔氧化铝薄膜及其透明导电玻璃复合基底的制备方法,其特征在于,通过磁控溅射法在透明导电玻璃上分别沉积钛层、钨层和铝层,然后对溅射得到的铝层进行退火热处理和阳极氧化处理,得到多孔阳极氧化铝膜,最后对多孔阳极氧化铝膜进行扩孔与氧化阻挡层的去除,制备得到有序多孔氧化铝薄膜。
【技术特征摘要】
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