【技术实现步骤摘要】
本申请涉及准分子激光气体混配，特别是涉及一种氟混合类准分子激光气体批量生产装置。
技术介绍
1、准分子激光，是指受激二聚体所产生的激光。之所以产生称为准分子，是因为它不是稳定的分子，是在激光混合气体受到外来能量的激发所引起的一系列物理及化学反应中曾经形成但转瞬即逝的分子，其寿命仅为几十毫微秒。193nm arf准分子激光气体，所产生的是波长为193nm的准分子激光，它是一种超紫外线光波，此波长的激光吸收范围窄，激光的能量几乎完全被角膜上皮细胞和基质吸收，超过这个范围的组织不会吸收到激光，每一个激光脉冲可以切削0.2到0.25um厚度的生物组织，所以周围的组织不会损伤。准分子激光与生物组织作用时发生光化反应。组织受到远紫外光激光作用时，会断裂分子之间的结合键，将组织直接分离成挥发性的碎片而消散无踪，对周围组织则没有影响，达到对角膜的重塑目的，能精确消融人眼角膜预计去除的部分空间精确度达细胞水平，不损伤周围组织。它的波长短，不会穿透人的眼角膜，因此对于眼球内部的组织没有任何不良的作用。
2、准分子激光在医学上用于屈光不正的治疗，是目前临床上应用比较普遍、安全、快捷、有效、稳定的屈光不正治疗方法。随着中国老龄化程度的加深以及青少年不良用眼习惯问题的持续，我国眼科医疗服务市场持续较快增长。屈光手术对诊疗设备、耗材、以及193纳米arf准分子激光气的精细化要求较高。
3、对于批量混配过程中微量组分的计算方法与精准控制方法把控尤为重要。当进行批量充装过程，或与独立充装的计算与充装量控制不同，需要进行更加精确的计算，包
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种氟混合类准分子激光气体批量生产装置。
2、本专利技术提供的技术方案如下：
3、一种氟混合类准分子激光气体批量生产装置，包括纯氟充装单元、中间产品充装单元、平衡气体充装单元、产品批量充装单元、用于原料给料环境净化与尾气排放控制的公用工程单元和尾气净化单元，所述公用工程单元、中间产品充装单元、平衡气体充装单元和纯氟充装单元并列设置，并分别通过输气管道一与产品批量充装单元连接用于准分子激光气体批量充装；所述公用工程单元、中间产品充装单元、平衡气体充装单元分别通过输气管道二与尾气净化单元连接用于准分子激光气体批量充装前及充装后的尾气净化；所述输气管道一与输气管道二之间有重合，输气输气管道一与输气管道二上均设有若干个单向阀和控制开度的控制阀。
4、优选地，所述公用工程单元包括并列设置的hp-he高压氦气置换吹扫管、lp-he高压氦气置换吹扫管，所述hp-he高压氦气置换吹扫管上设有高压氦气控制阀ecv-he-01和单向阀，所述hp-he高压氦气置换吹扫管、lp-he高压氦气置换吹扫管分别与输气管道一、输气管道二连接，所述lp-he高压氦气置换吹扫管上设有低压氦气控制阀ecv-he-02和单向阀，所述公用工程单元与尾气净化单元连接的输气管道二上依次分别设有抽真空阀ecv-vac-01、抽真空阀ecv-vac-02、真空泵和单向阀，所述抽真空阀ecv-vac-01、抽真空阀ecv-vac-02之间设有压力监测器pt-04；所述输气管道二上设有泄压阀ecv-vnt-02。
5、优选地，所述纯氟充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一上设有纯氟充装控制阀bpv-f2-01和纯氟充装控制阀bpv-f2-02，所述纯氟充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一、中间产品充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一形成的两个连接管道相交，相交点位于纯氟充装控制阀bpv-f2-01和纯氟充装控制阀bpv-f2-02之间的管道上，所述中间产品充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一上氟隔断控制阀bpv-f2-03。
6、优选地，所述纯氟充装控制阀bpv-f2-01的开度控制范围为10％～50％，纯氟充装控制阀bpv-f2-01一侧的连接管道一上设有压力监测器pt-01。
7、优选地，所述中间产品充装单元包括含有中间产品的气瓶，所述中间产品为惰性气体，中间产品充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一上设有中间产品控制阀pcv-inert-01。
8、优选地，所述中间产品控制阀pcv-inert-01的设定值控制在1.5-2倍于计算压力值以保证中间产品充入量控制与安全。
9、优选地，所述平衡气体充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一上设有氖气充装阀ecv-ne-01和单向阀。
10、优选地，所述产品批量充装单元包括若干个依次排列的产品钢瓶，排列在前端的产品钢瓶和排列在尾端的产品钢瓶分别设有电子天平用于对比监测和精准控制充装重量达到计算配方值。
11、优选地，所述尾气净化单元包括两条控制线路，其中一条控制线路上设有尾气排放控制阀pcv-vnt-01，另一条控制线路上设有尾气排放阀ecv-vnt-02，两条控制线路均与公用工程单元连接。
12、优选地，所述纯氟充装单元、中间产品充装单元、平衡气体充装单元、产品批量充装单元、公用工程单元和尾气净化单元均通过plc/hmi自动净化检测顺控程序进行控制，一键操作，减少人为操作干预，更利于提高整个生产过程的精确性。
13、本申请相对于现有技术存在如下优点：
14、1、本申请的氟混合类准分子激光气体批量生产装置通过纯氟充装单元、中间产品充装单元、平衡气体充装单元、产品批量充装单元、公用工程单元和尾气净化单元的设置，可以实现准分子激光气体批量且精确充装，且充装过程中安全性较高，环保程度也较高；
15、2、本申请的氟混合类准分子激光气体批量生产装置通过公用工程单元的设置，生产准备前期能更有效果的净化管道环境，通过hp-he,lp-he的置换吹，扫真空与静态真空的净化，满足更高纯度气体需求；
16、3、本申请的氟混合类准分子激光气体批量生产装置通过尾气净化单元的设置，对装置生产过程中产生的有毒有害等不安全气体进行排放控制与排放处理，满足安全排放规范；
17、4、由于氟气剧毒和强氧化的特性，在生产准备与生产过程中对于管道的净化处理与排放处理步骤复杂，且需要多量的氦气进行净化处理，时间与原材料使用成本高，1支含氟类混配产品钢瓶准备工作占整个生产周期的80％，实际进入充装步骤仅需20％时间，采用本申请的批量充装的技术方案将成几何倍数的节省时间与原材料的使用，产品成本控制将得到提升。
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1.一种氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，包括纯氟充装单元、中间产品充装单元、平衡气体充装单元、产品批量充装单元、用于原料给料环境净化与尾气排放控制的公用工程单元和尾气净化单元，所述公用工程单元、中间产品充装单元、平衡气体充装单元和纯氟充装单元并列设置，并分别通过输气管道一与产品批量充装单元连接用于准分子激光气体批量充装；所述公用工程单元、中间产品充装单元、平衡气体充装单元分别通过输气管道二与尾气净化单元连接用于准分子激光气体批量充装前及充装后的尾气净化；所述输气管道一与输气管道二之间有重合，输气输气管道一与输气管道二上均设有若干个单向阀和控制开度的控制阀。
2.根据权利要求1所述的氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，所述公用工程单元包括并列设置的HP-HE高压氦气置换吹扫管、LP-HE高压氦气置换吹扫管，所述HP-HE高压氦气置换吹扫管上设有高压氦气控制阀ECV-HE-01和单向阀，所述HP-HE高压氦气置换吹扫管、LP-HE高压氦气置换吹扫管分别与输气管道一、输气管道二连接，所述LP-HE高压氦气置换吹扫管上设有控制阀低压氦气ECV-HE
3.根据权利要求1所述的氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，所述纯氟充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一上设有纯氟充装控制阀BPV-F2-01和纯氟充装控制阀BPV-F2-02，所述纯氟充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一、中间产品充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一形成的两个连接管道相交，相交点位于纯氟充装控制阀BPV-F2-01和纯氟充装控制阀BPV-F2-02之间的管道上，所述中间产品充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一上氟隔断控制阀BPV-F2-03。
4.根据权利要求3所述的氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，所述纯氟充装控制阀BPV-F2-01的开度控制范围为10％～50％，控纯氟充装制阀BPV-F2-01一侧的连接管道一上设有压力监测器PT-01。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，所述中间产品充装单元包括含有中间产品的气瓶，所述中间产品为惰性气体，中间产品充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一上设有中间产品控制阀PCV-INERT-01。
6.根据权利要求5所述的氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，所述中间产品控制阀PCV-INERT-01的设定值控制在1.5-2倍于计算压力值以保证中间产品充入量控制与安全。
7.根据权利要求1-4中任一项所述的氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，所述平衡气体充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一上设有氖气充装阀ECV-NE-01和单向阀。
8.根据权利要求1-4中任一项所述的氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，所述产品批量充装单元包括若干个依次排列的产品钢瓶，排列在前端的产品钢瓶和排列在尾端的产品钢瓶分别设有电子天平用于对比监测和精准控制充装重量达到计算配方值。
9.根据权利要求1-4中任一项所述的氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，所述尾气净化单元包括两条控制线路，其中一条控制线路上设有尾气排放控制阀PCV-VNT-01，另一条控制线路上设有尾气排放阀ECV-VNT-02，两条控制线路均与公用工程单元连接。
10.根据权利要求1-4中任一项所述的氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，所述纯氟充装单元、中间产品充装单元、平衡气体充装单元、产品批量充装单元、公用工程单元和尾气净化单元均通过PLC/HMI自动净化检测顺控程序进行控制。
...【技术特征摘要】
1.一种氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，包括纯氟充装单元、中间产品充装单元、平衡气体充装单元、产品批量充装单元、用于原料给料环境净化与尾气排放控制的公用工程单元和尾气净化单元，所述公用工程单元、中间产品充装单元、平衡气体充装单元和纯氟充装单元并列设置，并分别通过输气管道一与产品批量充装单元连接用于准分子激光气体批量充装；所述公用工程单元、中间产品充装单元、平衡气体充装单元分别通过输气管道二与尾气净化单元连接用于准分子激光气体批量充装前及充装后的尾气净化；所述输气管道一与输气管道二之间有重合，输气输气管道一与输气管道二上均设有若干个单向阀和控制开度的控制阀。
2.根据权利要求1所述的氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，所述公用工程单元包括并列设置的hp-he高压氦气置换吹扫管、lp-he高压氦气置换吹扫管，所述hp-he高压氦气置换吹扫管上设有高压氦气控制阀ecv-he-01和单向阀，所述hp-he高压氦气置换吹扫管、lp-he高压氦气置换吹扫管分别与输气管道一、输气管道二连接，所述lp-he高压氦气置换吹扫管上设有控制阀低压氦气ecv-he-02和单向阀，所述公用工程单元与尾气净化单元连接的输气管道二上依次分别设有抽真空阀ecv-vac-01、ecv-vac-02、真空泵和单向阀，所述抽真空阀ecv-vac-01、抽真空阀ecv-vac-02之间设有压力监测器pt-04；所述输气管道二上设有泄压阀ecv-vnt-02。
3.根据权利要求1所述的氟混合类准分子激光气体批量生产装置，其特征在于，所述纯氟充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一上设有纯氟充装控制阀bpv-f2-01和纯氟充装控制阀bpv-f2-02，所述纯氟充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一、中间产品充装单元与产品批量充装单元之间的连接管道一形成的两个连接管道相交，相交点位于纯氟充装控制阀bpv-f2-01和纯氟充装控制阀bpv-f2-02之间的管道上，所述中间产品充装单元与产...
【专利技术属性】
技术研发人员：周臻，胡新明，
申请(专利权)人：岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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