低温泵及低温泵的监控方法技术

本发明专利技术提供一种低温泵及低温泵的监控方法，其实现适合于安装低温泵的真空装置中的真空处理的运行状态的监视。控制单元在对１级低温板的目标温度的控制中进行第１判定和第２判定，所述第１判定判定２级低温板是否升温至比在真空装置中设定的２级低温板上限温度设定为低的温度的警戒温度以上，所述第２判定判定２级低温板是否在将警戒温度作为上限设定的温度范围持续设定时间以上地被升温。控制单元也可以在对目标温度的控制中进行第３判定：判定排气运行中的２级低温板温度从在低温泵的启动最初测量的２级低温板的最低到达温度偏离的状态是否持续比设定时间更长地设定的持续时间以上。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种低温泵，从进行真空处理的真空装置的真空腔排放气体，其特征在于，具备：　　１级低温板；　　控制单元，将１级低温板控制在目标温度；　　２级低温板，与１级低温板的温度联动而比１级低温板被冷却至更低温，　　所述控制单元在对所述目标温度的控制中进行第１判定和第２判定，　　所述第１判定判定２级低温板是否被升温至警戒温度以上，所述警戒温度被设定为比在所述真空装置中设定的２级低温板上限温度低的温度，　　所述第２判定判定２级低温板是否在将所述警戒温度作为上限而设定的温度范围持续设定时间以上地被升温。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：木村敏之，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]