【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，应用于薄膜金属化制程，具体涉及承载晶圆的载片台在薄膜沉积工艺中的上下运动机构。
技术介绍
1、在半导体技术中，薄膜溅射是金属互联的主要工艺手段，在金属溅射沉积过程中，需要对承载晶圆的载片台的位置高低进行精确控制，以满足沉积薄膜的均匀性的要求。在以往的设计中，有些采用气缸驱动定位方式，有些采用的是步进电机的控制，有些采用的是传统的遮挡式原点定位的方式，有些驱动机构采用的是相对摩擦较高的蜗杆机构，往往导致定位进度低、定位不准、运动卡顿以及抖动的问题。本设计就是基于解决这些问题的基础上提出来的。
技术实现思路
1、本技术针对现有技术存在的问题和不足，提供一种晶圆载片台升降装置。
2、本技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：
3、本技术提供一种晶圆载片台升降装置，其特点在于，其包括固定在pvd腔体底部的固定基座，所述固定基座的顶部固定有法兰，所述法兰的顶部同轴固定有波纹管的底部，所述波纹管的顶端穿设pvd腔体的底部并与加热盘的底部相固定，所述加热盘的顶部固定承载有晶圆的载片台，所述法兰的底部同轴固定有直线轴承的顶端，所述直线轴承的底端穿设固定基座，所述固定基座的底部固定有上轴承座和c型支架，所述上轴承座置于c型支架内，所述c型支架的底部固定有l型支架，所述l型支架的横支架上固定有伺服马达，所述伺服马达的输出轴穿设l型支架的横支架后固定有主动轮，与所述主动轮同一水平面设置有从动轮，所述主动轮和从动轮通过同步带缠绕联动，所述从动轮的顶部同轴固定有
4、本技术由伺服马达通过同步带轮驱动丝杆转动，从而使丝杆上的螺母形成上下运动，同步联动夹箍、固定轴、加热盘和载片台，可精准控制载片台上下位置，完成在晶圆表面薄膜沉降工艺中各工艺位置的平稳运行和准确定位，运行平稳无卡阻抖动，满足晶圆在金属薄膜的制程中对工艺位置的要求。
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1.一种晶圆载片台升降装置，其特征在于，其包括固定在PVD腔体底部的固定基座，所述固定基座的顶部固定有法兰，所述法兰的顶部同轴固定有波纹管的底部，所述波纹管的顶端穿设PVD腔体的底部并与加热盘的底部相固定，所述加热盘的顶部固定承载有晶圆的载片台，所述法兰的底部同轴固定有直线轴承的顶端，所述直线轴承的底端穿设固定基座，所述固定基座的底部固定有上轴承座和C型支架，所述上轴承座置于C型支架内，所述C型支架的底部固定有L型支架，所述L型支架的横支架上固定有伺服马达，所述伺服马达的输出轴穿设L型支架的横支架后固定有主动轮，与所述主动轮同一水平面设置有从动轮，所述主动轮和从动轮通过同步带缠绕联动，所述从动轮的顶部同轴固定有定位轴承，所述定位轴承内放置有可旋转的丝杆的底端，所述丝杆的顶端放置在上轴承座内，所述丝杆上套设有螺母，所述螺母与夹箍相固定，所述夹箍夹设有固定轴的底端，所述夹箍的顶部与直线轴承的底部之间有一定的间距，所述固定轴的顶端依次穿设直线轴承、法兰和波纹管后与加热盘相固定。
2.如权利要求1所述的晶圆载片台升降装置，其特征在于，所述C型支架的一侧架上开设有第一长条孔，所
3.如权利要求2所述的晶圆载片台升降装置，其特征在于，所述C型支架的相对侧架上开设有第二长条孔，所述第二长条孔的内壁上下部分别固定有安全限位上限的第二上位置传感器和安全限位下限的第二下位置传感器，所述第二上位置传感器的位置高于第一上位置传感器的位置，所述第二下位置传感器的位置低于第一下位置传感器的位置，所述夹箍上且与第二长条孔相对的侧面上部固定有第二上位置挡片、下部固定有第二下位置挡片。
4.如权利要求3所述的晶圆载片台升降装置，其特征在于，所述夹箍上且与第二长条孔相对的侧面上固定有第二固定板，所述第二固定板的上部固定有第二上位置挡片、下部固定有第二下位置挡片。
5.如权利要求4所述的晶圆载片台升降装置，其特征在于，所述夹箍上且与第一长条孔相对的侧面上固定有第一固定板，所述第一固定板的上部固定有第一上位置挡片、下部固定有第一下位置挡片，所述第一固定板的长度小于第二固定板的长度。
6.如权利要求2所述的晶圆载片台升降装置，其特征在于，所述第一长条孔上固定有竖向滑轨，所述竖向滑轨的上下部分别滑配有第一上滑块和第一下滑块，所述第一上滑块的表面固定有第一上位置传感器，所述第一下滑块的表面固定有第一下位置传感器，所述第一上滑块和第一下滑块分别与竖向滑轨之间存在摩擦力，使得第一上滑块和第一下滑块静止在竖向滑轨上时不会向下滑动。
7.如权利要求1所述的晶圆载片台升降装置，其特征在于，所述L型支架的竖支架外侧固定有下轴承座，所述下轴承座套设在丝杆上。
8.如权利要求1所述的晶圆载片台升降装置，其特征在于，所述法兰与直线轴承一体成型。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆载片台升降装置，其特征在于，其包括固定在pvd腔体底部的固定基座，所述固定基座的顶部固定有法兰，所述法兰的顶部同轴固定有波纹管的底部，所述波纹管的顶端穿设pvd腔体的底部并与加热盘的底部相固定，所述加热盘的顶部固定承载有晶圆的载片台，所述法兰的底部同轴固定有直线轴承的顶端，所述直线轴承的底端穿设固定基座，所述固定基座的底部固定有上轴承座和c型支架，所述上轴承座置于c型支架内，所述c型支架的底部固定有l型支架，所述l型支架的横支架上固定有伺服马达，所述伺服马达的输出轴穿设l型支架的横支架后固定有主动轮，与所述主动轮同一水平面设置有从动轮，所述主动轮和从动轮通过同步带缠绕联动，所述从动轮的顶部同轴固定有定位轴承，所述定位轴承内放置有可旋转的丝杆的底端，所述丝杆的顶端放置在上轴承座内，所述丝杆上套设有螺母，所述螺母与夹箍相固定，所述夹箍夹设有固定轴的底端，所述夹箍的顶部与直线轴承的底部之间有一定的间距，所述固定轴的顶端依次穿设直线轴承、法兰和波纹管后与加热盘相固定。
2.如权利要求1所述的晶圆载片台升降装置，其特征在于，所述c型支架的一侧架上开设有第一长条孔，所述第一长条孔的内壁上下部分别固定有对工作区间上限进行限位的第一上位置传感器和对工作区间下限进行限位的第一下位置传感器，所述夹箍上且与第一长条孔相对的侧面上部固定有第一上位置挡片、下部固定有第一下位置挡片。
3.如权利要求2所述的晶圆载片台升降装置，其特征在于，所述c型支架的相对侧架上开设有第二长条孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：王开兵，孙及，姜靖，张强，盛勇峰，
申请(专利权)人：上海悦匠实业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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