一种侧吹式退火炉制造技术

本技术公开了一种侧吹式退火炉，包括退火炉主体：所述退火炉主体的下侧设置有侧吹单元，所述侧吹单元包括固定箱，所述固定箱固定连接在退火炉主体的下侧，所述固定箱的底部设置有扇叶，所述固定箱的内侧且位于扇叶的上方固定连接有加热框，所述固定箱的前后内壁之间转动连接有多个转杆一，所述转杆一的外侧固定连接有转筒，所述转筒的外侧固定连接有打散板，多个所述转杆一前端的外侧均固定连接有齿轮件。通过设置有固定箱、扇叶、加热框、转杆一、转筒、打散板、齿轮件、齿板、控制块与凸轮，便于扇叶转动将热风吹到退火炉主体中过程，凸轮转动控制打散板摆动，使进入到热风气流被打散，便于使热气流分布均匀。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及退火炉，特别涉及一种侧吹式退火炉。

技术介绍

1、退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜。

2、在使用退火炉时，使用在侧边的热风机向炉内通热风，便于进行加热，但这种结构使用时，热气流的方向单一，在吹入炉内时，加热不均匀，使气流分布不均匀，容易出现加热不均匀的效果。

技术实现思路

1、为了克服现有技术中使用热风机吹风时，气流方向单一，使加热不均匀的不足，本技术的目的之一在于提供一种侧吹式退火炉。

2、本技术的目的之一采用如下技术方案实现：一种侧吹式退火炉，包括退火炉主体：所述退火炉主体的下侧设置有侧吹单元；

3、所述侧吹单元包括固定箱，所述固定箱固定连接在退火炉主体的下侧，所述固定箱的底部设置有扇叶，所述固定箱的内侧且位于扇叶的上方固定连接有加热框，所述固定箱的前后内壁之间转动连接有多个转杆一，所述转杆一的外侧固定连接有转筒，所述转筒的外侧固定连接有打散板，多个所述转杆一前端的外侧均固定连接有齿轮件，所述固定箱的前侧开设有滑槽，所述滑槽的内侧滑动连接有滑块，所述滑块的外侧固定连接有连接块，所述连接块的外侧固定连接有齿板，所述齿板的前侧固定连接有控制块，所述固定箱的前侧转动连接有转杆二，所述转杆二的外侧固定连接有凸轮，所述滑块的外侧与滑槽的内壁之间固定连接有弹簧。

4、根据所述的一种侧吹式退火炉，所述齿轮件与齿板啮合连接。便于齿板控制齿轮件转动。

5、根据所述的一种侧吹式退火炉，所述固定箱的下侧固定连接有底板，所述底板的外侧转动连接有转杆三，所述转杆三通过带连接方式与转杆二连接，所述固定箱的下侧设置有电机，所述电机输出端的外侧固定连接有锥齿轮二，所述转杆三的外侧固定连接有锥齿轮一。便于电机控制转杆二转动。

6、根据所述的一种侧吹式退火炉，所述锥齿轮一与锥齿轮二啮合连接。

7、根据所述的一种侧吹式退火炉，所述电机的输出端与扇叶固定连接。便于电机控制扇叶转动。

8、根据所述的一种侧吹式退火炉，所述加热框的内侧设置有加热丝。便于对进入产生热气流。

9、根据所述的一种侧吹式退火炉，所述固定箱的外侧设置有防护罩。便于对固定箱零部件进行保护。

10、根据所述的一种侧吹式退火炉，所述凸轮与控制块滑动连接。

11、有益效果：

12、通过设置有固定箱、扇叶、加热框、转杆一、转筒、打散板、齿轮件、齿板、控制块与凸轮，便于扇叶转动将热风吹到退火炉主体中过程，凸轮转动控制打散板摆动，使进入到热风气流被打散，便于使热气流分布均匀。

13、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。

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【技术保护点】

1.一种侧吹式退火炉，其特征在于，包括退火炉主体(1)：所述退火炉主体(1)的下侧设置有侧吹单元(3)；

2.根据权利要求1所述的一种侧吹式退火炉，其特征在于，所述齿轮件(307)与齿板(308)啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种侧吹式退火炉，其特征在于，所述固定箱(301)的下侧固定连接有底板(316)，所述底板(316)的外侧转动连接有转杆三(315)，所述转杆三(315)通过带连接方式与转杆二(314)连接，所述固定箱(301)的下侧设置有电机(319)，所述电机(319)输出端的外侧固定连接有锥齿轮二(318)，所述转杆三(315)的外侧固定连接有锥齿轮一(317)。

4.根据权利要求3所述的一种侧吹式退火炉，其特征在于，所述锥齿轮一(317)与锥齿轮二(318)啮合连接。

5.根据权利要求3所述的一种侧吹式退火炉，其特征在于，所述电机(319)的输出端与扇叶(302)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种侧吹式退火炉，其特征在于，所述加热框(303)的内侧设置有加热丝。

7.根据权利要求1所述的一种侧吹式退火炉，其特征在于，所述固定箱(301)的外侧设置有防护罩(2)。

8.根据权利要求1所述的一种侧吹式退火炉，其特征在于，所述凸轮(313)与控制块(312)滑动连接。

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【技术特征摘要】

1.一种侧吹式退火炉，其特征在于，包括退火炉主体(1)：所述退火炉主体(1)的下侧设置有侧吹单元(3)；

2.根据权利要求1所述的一种侧吹式退火炉，其特征在于，所述齿轮件(307)与齿板(308)啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种侧吹式退火炉，其特征在于，所述固定箱(301)的下侧固定连接有底板(316)，所述底板(316)的外侧转动连接有转杆三(315)，所述转杆三(315)通过带连接方式与转杆二(314)连接，所述固定箱(301)的下侧设置有电机(319)，所述电机(319)输出端的外侧固定连接有锥齿轮二(318)，所述转杆三(315)的外侧固定连接有锥...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔立新，范国斌，李培彬，黄秀忠，陈效良，赵强，李峰，
申请(专利权)人：山东创新板材有限公司，
类型：新型
国别省市：