一种PE管的外部快速气相沉积装置制造方法及图纸

本技术涉及气相沉积设备技术领域，且公开了一种PE管的外部快速气相沉积装置，包括一级沉积室，所述一级沉积室的上方设置有排气涡轮，所述一级沉积室内对应排气涡轮的上方设置有吸气口，所述一级沉积室内部的底部设置有调整丝杆，所述调整丝杆上设置有两个二级沉积室，所述一级沉积室的下方设置有供气盒。该PE管的外部快速气相沉积装置，通过设置两个缓冲区，有效提高了核心反应区的气体浓度，减少了反应气的泄漏，节约成本的同时，有效保证反应质量，多余的气体溢出二级沉积室后在一级沉积室内继续缓慢反应，两次反应的方式大大提高了沉积速度，可以有效提高生产效率，解决产能不足的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气相沉积设备，具体为一种pe管的外部快速气相沉积装置。

技术介绍

1、pe管因其优异的理化特性，被广泛用于化工生产中，而为进一步提高其工程能力，使其在特定外部环境下仍能保持较好的性能，同时具备强度高、耐腐蚀等特性，还需对其表面进行复杂加工，其中气相沉积因其不改变管径，对其基本性能几乎不影响的同时，可对管内壁或外壁进行类似涂布加工一样形成致密的膜，因而有广泛的应用前景，但现有的管外气相沉积设备对于长管件的沉积效果较差，易有气体泄漏，因而生产成本高，产能低下，使得其加工成本居高不下。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、依智能制造发展要求，针对现有技术的不足，本技术提供了一种pe管的外部快速气相沉积装置，具备氛围气利用率高，沉积速度快的优点，解决了上述
技术介绍
中的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述氛围气利用率高，沉积速度快的目的，本技术提供如下技术方案：

5、一种pe管的外部快速气相沉积装置，包括一级沉积室，所述一级沉积室的上方设置有排气涡轮，所述一级沉积室内对应排气涡轮的上方设置有吸气口，所述一级沉积室内部的底部设置有调整丝杆，所述调整丝杆上设置有两个二级沉积室，所述一级沉积室的下方设置有供气盒。

6、优选的，所述一级沉积室包括外壳，所述外壳的左侧内部设置有隔离板，所述外壳的左侧端部设置有入口端板，所述入口端板的左侧设置有滚动轮，所述外壳的右侧端部设置有出口端板，所述出口端板的右侧设置有缓冲塞。p>

7、优选的，所述隔离板与外壳截面形状适配，其与中部待加工靶管间相对密封，隔断外壳内部空间。

8、优选的，所述滚动轮为以靶棒轴线中心对称设置的三个夹持轮，其上方的轮轴耦接驱动电机。

9、优选的，所述调整丝杆左侧部分设置有槽纹，两个二级沉积室分别耦接在左侧有槽纹外和右侧无槽纹外，并与一级沉积室下底面的固定槽适配。

10、优选的，所述二级沉积室包括支撑环，所述支撑环的下方设置有进气口，所述支撑环内设置有环形气腔，所述环形气腔对应支撑环中间高度位置设置有向内的两个出气口，所述支撑环的侧面设置有与待加工靶管适配的密封环，所述进气口下端设置有安装座。

11、优选的，所述环形气腔与支撑环形状适配，下部与进气口连通。

12、优选的，所述安装座内设置有相应与供气盒连接的气管及与调整丝杆适配的螺纹。

13、优选的，所述供气盒内设置有相应的加热丝及对应的气路软管与两个二级沉积室相连。

14、(三)有益效果

15、与现有技术相比，本技术提供了一种pe管的外部快速气相沉积装置，具备以下有益效果：

16、1、该pe管的外部快速气相沉积装置，通过设置闭合的两级缓冲区，将反应区与气氛区隔离，有效提高了核心反应区的气体浓度，减少了反应气的泄漏，节约成本的同时，有效保证反应质量。

17、2、该pe管的外部快速气相沉积装置，通过将多余的气体溢出收集形成一级沉积室，后在一级沉积室内继续缓慢反应，大大提高了沉积速度，有效提高生产效率，解决产能不足的问题，同时防止有害气体泄漏，为密封装置增设了保险，提高设备安全性。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种PE管的外部快速气相沉积装置，包括一级沉积室(1)，其特征在于：所述一级沉积室(1)的上方设置有排气涡轮(2)，所述一级沉积室(1)内对应排气涡轮(2)的上方设置有吸气口(3)，所述一级沉积室(1)内部的底部设置有调整丝杆(4)，所述调整丝杆(4)上设置有两个二级沉积室(5)，所述一级沉积室(1)的下方设置有供气盒(6)。

2.根据权利要求1所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置，其特征在于：所述一级沉积室(1)包括外壳(11)，所述外壳(11)的左侧内部设置有隔离板(12)，所述外壳(11)的左侧端部设置有入口端板(13)，所述入口端板(13)的左侧设置有滚动轮(14)，所述外壳(11)的右侧端部设置有出口端板(15)，所述出口端板(15)的右侧设置有缓冲塞(16)。

3.根据权利要求2所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置，其特征在于：所述隔离板(12)与外壳(11)截面形状适配，其与中部待加工靶管间相对密封，隔断外壳(11)内部空间。

4.根据权利要求2所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置，其特征在于：所述滚动轮(14)为以靶棒轴线中心对称设置的三个夹持轮，其上方的轮轴耦接驱动电机。

5.根据权利要求1所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置，其特征在于：所述调整丝杆(4)左侧部分设置有槽纹，两个二级沉积室(5)分别耦接在左侧有槽纹外和右侧无槽纹外，并与一级沉积室(1)下底面的固定槽适配。

6.根据权利要求1所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置，其特征在于：所述二级沉积室(5)包括支撑环(51)，所述支撑环(51)的下方设置有进气口(52)，所述支撑环(51)内设置有环形气腔(53)，所述环形气腔(53)对应支撑环(51)中间高度位置设置有向内的两个出气口(54)，所述支撑环(51)的侧面设置有与待加工靶管适配的密封环(55)，所述进气口(52)下端设置有安装座(56)。

7.根据权利要求6所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置，其特征在于：所述环形气腔(53)与支撑环(51)形状适配，下部与进气口(52)连通。

8.根据权利要求6所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置，其特征在于：所述安装座(56)内设置有相应与供气盒(6)连接的气管及与调整丝杆(4)适配的螺纹。

9.根据权利要求1所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置，其特征在于：所述供气盒(6)内设置有相应的加热丝及对应的气路软管与两个二级沉积室(5)相连。

...

【技术特征摘要】

1.一种pe管的外部快速气相沉积装置，包括一级沉积室(1)，其特征在于：所述一级沉积室(1)的上方设置有排气涡轮(2)，所述一级沉积室(1)内对应排气涡轮(2)的上方设置有吸气口(3)，所述一级沉积室(1)内部的底部设置有调整丝杆(4)，所述调整丝杆(4)上设置有两个二级沉积室(5)，所述一级沉积室(1)的下方设置有供气盒(6)。

2.根据权利要求1所述的一种pe管的外部快速气相沉积装置，其特征在于：所述一级沉积室(1)包括外壳(11)，所述外壳(11)的左侧内部设置有隔离板(12)，所述外壳(11)的左侧端部设置有入口端板(13)，所述入口端板(13)的左侧设置有滚动轮(14)，所述外壳(11)的右侧端部设置有出口端板(15)，所述出口端板(15)的右侧设置有缓冲塞(16)。

3.根据权利要求2所述的一种pe管的外部快速气相沉积装置，其特征在于：所述隔离板(12)与外壳(11)截面形状适配，其与中部待加工靶管间相对密封，隔断外壳(11)内部空间。

4.根据权利要求2所述的一种pe管的外部快速气相沉积装置，其特征在于：所述滚动轮(14)为以靶棒轴线中心对称设置的三个夹持轮，其上方的轮轴耦接驱动电机。

5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵瑜，张海斌，李明，
申请(专利权)人：江西建邦装配式建筑有限公司，
类型：新型
国别省市：