【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种芯片生产设备，特别涉及芯片生产中，与清洗机配套使用的输送机构。
技术介绍
1、中国专利数据库中，公开了一种用于芯片清洗的托盘加盖和拆盖输送系统，其公开号：cn116281797a，公开日：20230623；该装置包括：上料机，配置有依次布置的层叠分料机构、层叠加盖机构，所述层叠分料机构能够将成摞托盘一一输送给层叠加盖机构并通过层叠加盖机构将所述托盘加盖后输出后进行清洗；下料机，配置有依次布置的层叠拆盖机构、层叠堆料机构，清洗完毕的所述托盘被输送至层叠拆盖机构中拆盖后运送至所述层叠堆料机构使得多个拆盖后的所述托盘成摞布置。其通过设置层叠分料机构、层叠加盖机构、层叠堆料机构、层叠拆盖机构等设备实现托盘的自动装盖、拆盖，能够进行连续的流水线式清洗作业。
2、公开号cn208923056u的专利技术专利公开了一种二极管芯片清洗固定与输送装置，其公开日：20190531；该装置包括废液槽、清洗喷头、载物网、固定网、输送梁、牵引线，废液槽上方设置载物网，载物网上方设置固定网，用于固定二极管芯片，固定网由液压缸驱动工作，液压缸安装在输送梁上，输送梁上安装有机械臂和机械手，输送梁上设置有滑轨与固定横梁上的固定轨道相配合，固定横梁上方安装有电机，电机驱动控制绕线轮，绕线轮带动牵引线拉动输送梁运动，实现对二极管芯片的输送，载物网下方和上方均设置有清洗喷头实现对二极管芯片的清洗工作。
3、现有技术的不足之处在于：
4、1.芯片或固定芯片的托盘均需要通过输送机构进行输送，目前的输送机构通常采用的是直
5、2.芯片或固定芯片的托盘在清洗时，通过清洗液冲洗刻蚀过的芯片，冲洗装置保持不动，芯片保持前进，冲洗效果取决于芯片是否保持稳定，现有的输送机构在输送过程中，并未将芯片或芯片托盘进行足够好固定，从而影响清洗的效果。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种用于芯片清洗的装载机构，使得芯片在输送时，可设置在转弯轨道上，其导向运动顺畅；在清洗时，装在有芯片的托盘更好地被固定。
2、本专利技术的目的是这样实现的：一种用于芯片清洗的装载机构，包括由导轨侧板、导轨底板和输送链板组成的输送轨道，输送链板安装在导轨侧板和导轨底板之间；所述输送链板上活动设置有下支架，下支架的中心设置有轴承座，轴承座内经轴承安装有立轴，下支架的两侧下缘设有水平向外延伸的翼板，翼板上安装有导轮，导轮的外边缘突出与翼板两侧外并限制在两侧的导轨侧板之间，立轴上端固定在上支架的下侧，上支架上可转动地设置有正反牙丝杆，正反牙丝杆的正压段和反牙段上分别啮合设置有螺母座，两螺母座上侧固定有用于夹持芯片托盘的夹持滚动机构；每个上支架的下侧对应设有至少两个下支架。
3、本专利技术工作时，通过正反牙丝杆驱动螺母座相向或相背运动，夹持滚动机构夹持住装在有芯片的芯片托盘，然后经输送链板带动整个装置沿输送轨道运动，可以顺畅地进入清洗及烘干装置内，将刻蚀后的芯片进行清洗和烘干。与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：
4、1. 除输送轨道外的整个装置可以作为芯片输送、转运的载体，芯片托盘内可以装载微连接的多个芯片。
5、2. 可以在转弯轨道内顺畅运动，导轮起导向、扶正作用，保证转弯顺畅，这样使得芯片加工生产线的各功能设备之间的布置更加灵活，生产线不需要布置成直线型。
6、3.芯片托盘放置和取出比较方便。
7、该装置可用于芯片的清洗生产线上，在芯片清洗时，装在有芯片的托盘被更好地固定，从而使得清洗更方便，不会因清洗液的冲击导致移位。
8、进一步地，所述夹持滚动机构包括固定在螺母座上侧的移动板，移动板上固定有托辊支架，托辊支架的上侧固定有夹头，左右两侧的夹头相向设置形成用于夹持芯片托盘的夹持口，芯片托盘下侧支承在多个托棍上，托辊轴两端插入到托辊支架上设置的导向孔中。该方案中，托辊具有托持和滚动的双重作用，在夹持芯片托盘时，导向孔可容托辊轴插入，托辊支架起轴承的作用，转动正反牙丝杆微松开对芯片托盘后，芯片托盘可先后方向顺畅移动，在输送轨道上连续设置多个组件，托辊可以形成一个滚动轨道，装载托盘可以在不同的上支架上侧移动，从而使得芯片托盘取出和放入均很方便。
9、进一步地，所述夹头的相向面上设有弹性垫板。弹性垫板保证了夹持更加稳定。
10、进一步地，托辊支架采用耐磨聚氨酯材料制成。一方面聚氨酯材料可降低重量，另一方面其均有良好的耐磨作用，可保证长期安全可靠运行。
11、进一步地，所述上支架两侧设有丝杆座，正反牙丝杆可转动地安装在丝杆座上，正反牙丝杆的一端穿过丝杆座之一，并在伸出端设有锁紧旋钮。
12、进一步地，每个上支架对应设有两个下支架，每侧翼板上安装的导轮至少有两个。
13、进一步地，所述导轮经导轮轴安装在翼板上，导轮轴下端设有锥形凸榫向下伸出翼板外，输送链板上对应设有插孔，锥形凸榫对应插入所述插孔中。
14、进一步地，立轴上端安装在固定座内，固定座经螺栓固定在上支架的下侧。
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1.一种用于芯片清洗的装载机构，包括由导轨侧板（20）、导轨底板（22）和输送链板（21）组成的输送轨道，输送链板（21）安装在导轨侧板（20）和导轨底板（22）之间；其特征在于：所述输送链板（21）上活动设置有下支架（10），下支架（10）的中心设置有轴承座（1），轴承座（1）内经轴承（14）安装有立轴（13），下支架（10）的两侧下缘设有水平向外延伸的翼板（12），翼板（12）上安装有导轮（11），导轮（11）的外边缘突出与翼板（12）两侧外并限制在两侧的导轨侧板（20）之间，立轴（13）上端固定在上支架（2）的下侧，上支架（2）上可转动地设置有正反牙丝杆（5），正反牙丝杆（5）的正压段和反牙段上分别啮合设置有螺母座（16），两螺母座（16）上侧固定有用于夹持芯片托盘（24）的夹持滚动机构；每个上支架（2）的下侧对应设有至少两个下支架（10）。
2.根据权利要求1所述的一种用于芯片清洗的装载机构，其特征在于：所述夹持滚动机构包括固定在螺母座（16）上侧的移动板（3），移动板（3）上固定有托辊支架（8），托辊支架（8）的上侧固定有夹头（7），左右两侧的夹头（7）相向
3.根据权利要求2所述的一种用于芯片清洗的装载机构，其特征在于：所述夹头（7）的相向面上设有弹性垫板（25）。
4.根据权利要求2所述的一种用于芯片清洗的装载机构，其特征在于：托辊支架（8）采用耐磨聚氨酯材料制成。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种用于芯片清洗的装载机构，其特征在于：所述上支架（2）两侧设有丝杆座（17），正反牙丝杆（5）可转动地安装在丝杆座（17）上，正反牙丝杆（5）的一端穿过丝杆座（17）之一，并在伸出端设有锁紧旋钮9。
6.根据权利要求1-4任一项所述的一种用于芯片清洗的装载机构，其特征在于：每个上支架（2）对应设有两个下支架（10），每侧翼板（12）上安装的导轮（11）至少有两个。
7.根据权利要求6所述的一种用于芯片清洗的装载机构，其特征在于：所述导轮（11）经导轮轴安装在翼板（12）上，导轮轴下端设有锥形凸榫（19）向下伸出翼板（12）外，输送链板（21）上对应设有插孔，锥形凸榫（19）对应插入所述插孔中。
8.根据权利要求1-4任一项所述的一种用于芯片清洗的装载机构，其特征在于：立轴（13）上端安装在固定座（15）内，固定座（15）经螺栓固定在上支架（2）的下侧。
...【技术特征摘要】
1.一种用于芯片清洗的装载机构，包括由导轨侧板（20）、导轨底板（22）和输送链板（21）组成的输送轨道，输送链板（21）安装在导轨侧板（20）和导轨底板（22）之间；其特征在于：所述输送链板（21）上活动设置有下支架（10），下支架（10）的中心设置有轴承座（1），轴承座（1）内经轴承（14）安装有立轴（13），下支架（10）的两侧下缘设有水平向外延伸的翼板（12），翼板（12）上安装有导轮（11），导轮（11）的外边缘突出与翼板（12）两侧外并限制在两侧的导轨侧板（20）之间，立轴（13）上端固定在上支架（2）的下侧，上支架（2）上可转动地设置有正反牙丝杆（5），正反牙丝杆（5）的正压段和反牙段上分别啮合设置有螺母座（16），两螺母座（16）上侧固定有用于夹持芯片托盘（24）的夹持滚动机构；每个上支架（2）的下侧对应设有至少两个下支架（10）。
2.根据权利要求1所述的一种用于芯片清洗的装载机构，其特征在于：所述夹持滚动机构包括固定在螺母座（16）上侧的移动板（3），移动板（3）上固定有托辊支架（8），托辊支架（8）的上侧固定有夹头（7），左右两侧的夹头（7）相向设置形成用于夹持芯片托盘（24）的夹持口，芯片托盘（24）下侧支承在多个托棍（6）上，托辊轴（4）两端插入到托辊支架（8）...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾天刚，俞斌强，刘国强，
申请(专利权)人：江苏奥力威传感高科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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