【技术实现步骤摘要】
：本专利技术涉及一种高精度紫外复刻镜头及其成像方法。
技术介绍
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技术介绍
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1、光刻工艺的作用是将掩膜版上的几何图形转移到晶圆表面的光刻胶上。首先光刻胶处理设备把光刻胶旋涂到晶圆表面，再经过分步重复曝光和显影处理之后，在晶圆上形成需要的图形。目前，掩膜式光刻设备在生产和装配过程中的高精度难以保证。
技术实现思路
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技术实现思路
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1、本专利技术针对上述现有技术存在的问题做出改进，即本专利技术所要解决的技术问题是提供一种高精度紫外复刻镜头及其成像方法，设计合理，具有高远心度、低畸变的特点，适用于长工作距离的场景。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种高精度紫外复刻镜头，所述镜头的光学系统由从物方到像方沿光轴依次排布的前组透镜、孔径光阑和后组透镜组成，所述前组透镜和后组透镜关于孔径光阑对称分布，所述前组透镜由从物方到像方沿光轴依次排布的第一正透镜、第二正透镜、第三正透镜以及第四负透镜组成；所述后组透镜由从物方到像方沿光轴依次排布的第五负透镜、第六正透镜、第七正透镜以及第八正透镜组成。
3、进一步的，第一正透镜与第二正透镜之间的空气间隙为58.78mm；所述第二正透镜与第三正透镜之间的空气间隙为18.38mm；所述第三正透镜与第四负透镜之间的空气间隙为1mm；所述第四负透镜与孔径光阑之间的空气间隙为12.33mm；所述孔径光阑与第五负透镜之间的空气间隙为12.33mm；所述第五负透镜与第六正透镜之间的空气间隙为1mm
4、进一步的，第一正透镜、第二正透镜、第三正透镜、第四负透镜、第五负透镜、第六正透镜、第七正透镜以及第八正透镜的透镜材料全部采用紫外高透过高均匀性玻璃，透镜材料在波长400-406nm范围10mm厚度的内部透射率≥0.997；第一正透镜、第二正透镜、第三正透镜、第四负透镜、第五负透镜、第六正透镜、第七正透镜以及第八正透镜的光学表面均镀有紫外增透膜，紫外增透膜在长400-406nm范围增透膜透射率≥0.998。
5、进一步的，第一正透镜和第五正透镜的焦距均满足：150＜f＜200；第二正透镜和第六正透镜的焦距均满足：100＜f＜130；第三正透镜和第七正透镜的焦距均满足：50＜f＜60；第四负透镜和第八负透镜的焦距均满足：-25＜f＜-30；其中f为透镜焦距。
6、进一步的，第一正透镜、第四负透镜、第五负透镜以及第八正透镜的折射率满足1.55＜nd＜1.65，色散系数满足35≤vd≤50；第二正透镜、第三正透镜、第六正透镜以及第七正透镜的折射率满足1.45＜nd＜1.65，色散系数满足60≤vd≤80；nd为d线波长折射率，vd为色散系数、体现光学材料的色散程度的常数。
7、进一步的，所述光学系统满足00＜(φ/f)*l＜150，φ为视场直径，f为前组或后组焦距，l为共轭距总长。
8、进一步的，在前组透镜和后组透镜中至少包含一个透镜的折射率温度系数dn/dt在波长400-406nm范围，温度梯度dn等于20℃的条件下，满足-1.0e-6/℃≤dn/dt≤1.0e-6/℃。
9、进一步的，所述光学系统为等比例成像，放大倍率m＝-1×。
10、进一步的，镜头的设计工作波段为400-406nm紫外光波段；光学系统的物方和像方视场直径φ为24mm，物方和像方数值孔径na为0.06。
11、本专利技术采用的另外一种技术方案是：一种高精度紫外复刻镜头的成像方法，成像时：光线从物方到像方依次通过第一正透镜、第二正透镜、第三正透镜、第四负透镜、孔径光阑、第五负透镜、第六正透镜、第七正透镜以及第八正透镜后进行成像。
12、与现有技术相比，本专利技术具有以下效果：本专利技术设计合理，具有高远心度、低畸变的特点，适用于长工作距离的场景；采用紫外波段透过率高的材料，无胶合件，保证了整体的透过率。
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1.一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：所述镜头的光学系统由从物方到像方沿光轴依次排布的前组透镜、孔径光阑和后组透镜组成，所述前组透镜和后组透镜关于孔径光阑对称分布，所述前组透镜由从物方到像方沿光轴依次排布的第一正透镜、第二正透镜、第三正透镜以及第四负透镜组成；所述后组透镜由从物方到像方沿光轴依次排布的第五负透镜、第六正透镜、第七正透镜以及第八正透镜组成。
2.根据权利要求1所述的一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：第一正透镜与第二正透镜之间的空气间隙为58.78mm；所述第二正透镜与第三正透镜之间的空气间隙为18.38mm；所述第三正透镜与第四负透镜之间的空气间隙为1mm；所述第四负透镜与孔径光阑之间的空气间隙为12.33mm；所述孔径光阑与第五负透镜之间的空气间隙为12.33mm；所述第五负透镜与第六正透镜之间的空气间隙为1mm；所述第六正透镜与第七正透镜之间的空气间隙为18.38mm；所述第七正透镜与第八正透镜之间的空气间隙为58.78mm。
3.根据权利要求1所述的一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：第一正透镜、第二正透镜、第三正透镜、第四负透镜、
4.根据权利要求1所述的一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：第一正透镜和第五正透镜的焦距均满足：150＜f＜200；第二正透镜和第六正透镜的焦距均满足：100＜f＜130；第三正透镜和第七正透镜的焦距均满足：50＜f＜60；第四负透镜和第八负透镜的焦距均满足：-25＜f＜-30；其中f为透镜焦距。
5.根据权利要求1所述的一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：第一正透镜、第四负透镜、第五负透镜以及第八正透镜的折射率满足1.55＜nd＜1.65，色散系数满足35≤vd≤50；第二正透镜、第三正透镜、第六正透镜以及第七正透镜的折射率满足1.45＜nd＜1.65，色散系数满足60≤vd≤80；nd为d线波长折射率，vd为色散系数、体现光学材料的色散程度的常数。
6.根据权利要求1所述的一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：所述光学系统满足00＜(Φ/f)*L＜150，Φ为视场直径，f为前组或后组焦距，L为共轭距总长。
7.根据权利要求1所述的一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：在前组透镜和后组透镜中至少包含一个透镜的折射率温度系数dn/dt在波长400-406nm范围，温度梯度dn等于20℃的条件下，满足-1.0E-6/℃≤dn/dt≤1.0E-6/℃。
8.根据权利要求1所述的一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：所述光学系统为等比例成像，放大倍率M＝-1×。
9.根据权利要求1所述的一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：镜头的设计工作波段为400-406nm紫外光波段；光学系统的物方和像方视场直径Φ为24mm，物方和像方数值孔径NA为0.06。
10.一种高精度紫外复刻镜头的成像方法，其特征在于：包括采用如权利要求1-9中任意一项所述的短波红外消垂轴色差镜头，成像时：光线从物方到像方依次通过第一正透镜、第二正透镜、第三正透镜、第四负透镜、孔径光阑、第五负透镜、第六正透镜、第七正透镜以及第八正透镜后进行成像。
...【技术特征摘要】
1.一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：所述镜头的光学系统由从物方到像方沿光轴依次排布的前组透镜、孔径光阑和后组透镜组成，所述前组透镜和后组透镜关于孔径光阑对称分布，所述前组透镜由从物方到像方沿光轴依次排布的第一正透镜、第二正透镜、第三正透镜以及第四负透镜组成；所述后组透镜由从物方到像方沿光轴依次排布的第五负透镜、第六正透镜、第七正透镜以及第八正透镜组成。
2.根据权利要求1所述的一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：第一正透镜与第二正透镜之间的空气间隙为58.78mm；所述第二正透镜与第三正透镜之间的空气间隙为18.38mm；所述第三正透镜与第四负透镜之间的空气间隙为1mm；所述第四负透镜与孔径光阑之间的空气间隙为12.33mm；所述孔径光阑与第五负透镜之间的空气间隙为12.33mm；所述第五负透镜与第六正透镜之间的空气间隙为1mm；所述第六正透镜与第七正透镜之间的空气间隙为18.38mm；所述第七正透镜与第八正透镜之间的空气间隙为58.78mm。
3.根据权利要求1所述的一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：第一正透镜、第二正透镜、第三正透镜、第四负透镜、第五负透镜、第六正透镜、第七正透镜以及第八正透镜的透镜材料全部采用紫外高透过高均匀性玻璃，透镜材料在波长400-406nm范围10mm厚度的内部透射率≥0.997；第一正透镜、第二正透镜、第三正透镜、第四负透镜、第五负透镜、第六正透镜、第七正透镜以及第八正透镜的光学表面均镀有紫外增透膜，紫外增透膜在长400-406nm范围增透膜透射率≥0.998。
4.根据权利要求1所述的一种高精度紫外复刻镜头，其特征在于：第一正透镜和第五正透镜的焦距均满足：150＜f＜200；第二正透镜和第六正透镜的焦距均满足：100＜f＜130...
【专利技术属性】
技术研发人员：游海斌，吴长炎，
申请(专利权)人：福州宏旭科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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