一种便于清理的真空镀膜设备制造技术

技术编号:40443999 阅读:9 留言:0更新日期:2024-02-22 23:05
本技术公开了一种便于清理的真空镀膜设备,涉及真空镀膜设备技术领域,为解决现有技术中目前具有自清洁功能的真空镀膜设备是采用刷子对真空镀膜设备的内壁进行清洁,利用离心力将刷子与真空镀膜设备的内壁接触,但是这样刷子与内壁的附着力低,清理效果不够好的问题。所述真空镀膜机本体的内部分别设置有用于清理工作的刮板和刷子,所述刷子固定在所述刮板的一侧,所述真空镀膜机本体的内部设置有用于调节所述刮板横向位置的伸缩机构,所述伸缩机构与所述刮板之间通过伸缩杆连接,所述伸缩杆与伸缩机构滑动连接,所述真空镀膜机本体上设置有供气机构,所述供气机构包括气泵和中转。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜设备,具体为一种便于清理的真空镀膜设备


技术介绍

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种,由于真空镀膜机在进行镀膜的时候,必须通过加热装置将其内部的温度加热至很高的温度后,才能够开始镀膜工作,当完成镀膜后,待其内部温度降下来后进行取料;

2、例如申请公开号为cn218812063u,一种便于清洁的真空镀膜机,包括底座和转盘,所述转盘的上表面固定连接有立杆,所述立杆外表面的一侧固定连接有支撑柱,所述支撑柱的一端套接有套筒;所述支撑柱的外表面套接有弹簧,所述套筒的一端固定连接有刮板,所述刮板的一侧固定连接有耐高温刷;

3、上述申请的真空镀膜机,通过套筒、弹簧、刮板和耐高温刷的设置,使用过程中当镀膜完成,将成品取出后可启动电机,带动活动杆高速旋转,使转盘转动后带动立杆同时转动,利用立杆高速转动使套筒受到离心力作用,并在支撑柱上向外伸出此时弹簧被挤压变形,使刮板向外移动使耐高温刷接触镀膜机体内壁,利用耐高温刷将内壁的残留物刷掉,具有自动清理的作用,当电机转速变慢后或镀膜时,使支撑柱的离心力变小,利用弹簧的弹性顶动套筒,使套筒在支撑柱上复位,使得耐高温刷离开镀膜机体内壁,利用离心力将刷子与真空镀膜设备的内壁接触,但是这样刷子与内壁的附着力低,清理效果不够好,因此市场急需研制一种便于清理的真空镀膜设备来帮助人们解决现有的问题。>

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种便于清理的真空镀膜设备,以解决上述
技术介绍
中提出的目前具有自清洁功能的真空镀膜设备是采用刷子对真空镀膜设备的内壁进行清洁,利用离心力将刷子与真空镀膜设备的内壁接触,但是这样刷子与内壁的附着力低,清理效果不够好的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种便于清理的真空镀膜设备,包括用于真空镀膜的真空镀膜机本体和用于密封所述真空镀膜机本体的筒罩,所述真空镀膜机本体的内部分别设置有用于清理工作的刮板和刷子,所述刷子固定在所述刮板的一侧,所述真空镀膜机本体的内部设置有用于调节所述刮板横向位置的伸缩机构,所述伸缩机构与所述刮板之间通过伸缩杆连接,所述伸缩杆与伸缩机构滑动连接。

3、通过上述技术方案,利用伸缩机构主动对伸缩杆进行伸缩调节,而伸缩杆与刮板连接,从而当需要清理真空镀膜设备的内壁时,伸缩机构通过伸缩杆将刮板和刷子与真空镀膜机本体的内壁接触,并且压力可以保持恒定,从而提高刷子与内壁的附着力,提高清理的效果。

4、本技术在一较佳示例中可以进一步配置为:所述真空镀膜机本体上设置有供气机构,所述供气机构包括气泵和中转箱,所述中转箱的一侧设置有用于与所述气泵连通的连接管。

5、通过上述技术方案,供气工作主要由气泵提供,气泵利用连接管与中转箱连通,可以保持供气工作稳定运行。

6、本技术在一较佳示例中可以进一步配置为:所述真空镀膜机本体内设置有输气机构,所述真空镀膜机本体包括中空管和分流箱,所述中转箱和分流箱均与中空管连通,所述分流箱的一侧设置有与所述伸缩机构连通的输气管。

7、通过上述技术方案,通过中转箱向中空管输送高压气流,中空管再通过分流箱向输气管输送气流,最后通过输气管向伸缩机构输送气流。

8、本技术在一较佳示例中可以进一步配置为:所述伸缩机构内滑动连接有活塞,所述活塞与所述伸缩杆连接,所述伸缩机构内设置有用于驱使所述活塞回位的回位弹簧。

9、通过上述技术方案,活塞受到高压气流会压缩回位弹簧,并顶着伸缩杆向伸缩机构的外侧移动,而回位弹簧在断流后可将活塞回位。

10、本技术在一较佳示例中可以进一步配置为:所述真空镀膜机本体上设置有用于驱使所述中空管转动的驱动机构,所述驱动机构包括电机和减速器。

11、通过上述技术方案,电机通过减速器减速后驱使中空管转动。

12、本技术在一较佳示例中可以进一步配置为:所述真空镀膜机本体上设置有用于固定所述电机的支座,所述中空管的外侧设置有用于悬挂物品的挂架,所述中空管的外侧分别设置有用于保护物品的第一挡物板和第二挡物板

13、通过上述技术方案,中空管转动时,可带动挂架、第一挡物板和第二挡物板旋转。

14、与现有技术相比,本技术的有益效果是:

15、1.该技术利用伸缩机构主动对伸缩杆进行伸缩调节,而伸缩杆与刮板连接,从而当需要清理真空镀膜设备的内壁时,伸缩机构通过伸缩杆将刮板和刷子与真空镀膜机本体的内壁接触,并且压力可以保持恒定,从而提高刷子与内壁的附着力,提高清理的效果。

16、2.该技术通过中转箱的设置,可在中空管旋转的过程中,气泵依旧可以向中空管的内部输送气流,从而使得刮板和刷子可以一直与真空镀膜机本体的内壁强力接触,使得对真空镀膜机本体内壁的清理工作更加稳定。

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【技术保护点】

1.一种便于清理的真空镀膜设备,包括用于真空镀膜的真空镀膜机本体(1)和用于密封所述真空镀膜机本体(1)的筒罩(2),其特征在于:所述真空镀膜机本体(1)的内部分别设置有用于清理工作的刮板(3)和刷子(4),所述刷子(4)固定在所述刮板(3)的一侧,所述真空镀膜机本体(1)的内部设置有用于调节所述刮板(3)横向位置的伸缩机构(17),所述伸缩机构(17)与所述刮板(3)之间通过伸缩杆(19)连接,所述伸缩杆(19)与伸缩机构(17)滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种便于清理的真空镀膜设备,其特征在于:所述真空镀膜机本体(1)上设置有供气机构,所述供气机构包括气泵(12)和中转箱(13),所述中转箱(13)的一侧设置有用于与所述气泵(12)连通的连接管(14)。

3.根据权利要求2所述的一种便于清理的真空镀膜设备,其特征在于:所述真空镀膜机本体(1)内设置有输气机构,所述真空镀膜机本体(1)包括中空管(5)和分流箱(15),所述中转箱(13)和分流箱(15)均与中空管(5)连通,所述分流箱(15)的一侧设置有与所述伸缩机构(17)连通的输气管(16)。

4.根据权利要求1所述的一种便于清理的真空镀膜设备,其特征在于:所述伸缩机构(17)内滑动连接有活塞(18),所述活塞(18)与所述伸缩杆(19)连接,所述伸缩机构(17)内设置有用于驱使所述活塞(18)回位的回位弹簧(20)。

5.根据权利要求3所述的一种便于清理的真空镀膜设备,其特征在于:所述真空镀膜机本体(1)上设置有用于驱使所述中空管(5)转动的驱动机构,所述驱动机构包括电机(10)和减速器(11)。

6.根据权利要求5所述的一种便于清理的真空镀膜设备,其特征在于:所述真空镀膜机本体(1)上设置有用于固定所述电机(10)的支座(9),所述中空管(5)的外侧设置有用于悬挂物品的挂架(6),所述中空管(5)的外侧分别设置有用于保护物品的第一挡物板(7)和第二挡物板(8)。

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【技术特征摘要】

1.一种便于清理的真空镀膜设备,包括用于真空镀膜的真空镀膜机本体(1)和用于密封所述真空镀膜机本体(1)的筒罩(2),其特征在于:所述真空镀膜机本体(1)的内部分别设置有用于清理工作的刮板(3)和刷子(4),所述刷子(4)固定在所述刮板(3)的一侧,所述真空镀膜机本体(1)的内部设置有用于调节所述刮板(3)横向位置的伸缩机构(17),所述伸缩机构(17)与所述刮板(3)之间通过伸缩杆(19)连接,所述伸缩杆(19)与伸缩机构(17)滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种便于清理的真空镀膜设备,其特征在于:所述真空镀膜机本体(1)上设置有供气机构,所述供气机构包括气泵(12)和中转箱(13),所述中转箱(13)的一侧设置有用于与所述气泵(12)连通的连接管(14)。

3.根据权利要求2所述的一种便于清理的真空镀膜设备,其特征在于:所述真空镀膜机本体(1)内设置有输气机构,所述真空镀膜机本体(1)包括中空管(5)和分流箱(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱海涛韩振
申请(专利权)人:百川未来新能源技术上海有限公司
类型:新型
国别省市:

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