【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显示面板制程，尤其涉及一种显示面板的曝光图形补偿方法和装置。
技术介绍
1、目前的显示面板制程工艺中，在曝光工艺之后，为了提高生产效率，一般采用的是移动显影方式，在显影开始之前，显示面板表面会均匀喷上显影液，然后由承载显示面板的移动辊移动显示面板，在移动过程中进行显影。
2、但其存在的问题是，在移动辊移动显示面板的过程中，显示面板上的显影液由于惯性的作用，会在沿显示面板移动的方向上，部分后移，造成显示面板前端显影液变少，后端显影液变多，进而，导致显示面板的前端的显影时间短，后端的显影时间长，使得显示面板的前端和后端显影时间不一致，从而出现显影出的图案与预期显影图案不一致的情况，由此，不能满足对显示面板上显影图案的预期要求，使得产品良率下降。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种显示面板的曝光图形补偿方法和装置，以解决相关技术中的移动显影工艺形成的显影图案无法符合预期要求的问题。
2、根据本专利技术的一方面，提供了一种显示面板的曝光图形补偿方法，包括：
3、获取历史被曝光显示面板在移动显影工艺后的各显影图案对应的第一图案线宽；
4、根据各所述第一图案线宽与预设显影图案线宽之间的差值，确定待曝光显示面板在曝光工艺中各曝光图案对应的各线宽补偿值；
5、根据各所述线宽补偿值与预设曝光图案线宽，确定所述待曝光显示面板在曝光工艺中各曝光图案对应的各第二图案线宽；
6、根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光
7、其中，所述第一预设关系为所述第一间距与所述第二图案线宽之间的关系。
8、可选地，所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括：
9、在前一所述第二图案线宽对应的所述第一间距下，所述待曝光显示面板位于所述曝光镜组的焦面以上时，
10、若当前所述第二图案线宽小于前一所述第二图案线宽时，则调整所述待曝光显示面板远离所述曝光镜组，以增大所述第一间距；
11、若当前所述第二图案线宽大于前一所述第二图案线宽时，则调整所述待曝光显示面板靠近所述曝光镜组，以减小所述第一间距，其中，所述待曝光显示面板位于所述曝光镜组的焦面上时，对应的所述第二图案线宽最小。
12、可选地，所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括：
13、在前一所述第二图案线宽对应的所述第一间距下，所述待曝光显示面板位于所述曝光镜组的焦面以下时，
14、若当前所述第二图案线宽小于前一所述第二图案线宽时，则调整所述待曝光显示面板靠近所述曝光镜组，以减小所述第一间距；
15、若当前所述第二图案线宽大于前一所述第二图案线宽时，则调整所述待曝光显示面板远离所述曝光镜组，以增大所述第一间距；
16、其中，所述待曝光显示面板位于所述曝光镜组的焦面上时，对应的所述第二图案线宽最小。
17、可选地，所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括：
18、在前一所述第二图案线宽对应的所述第一间距下，所述待曝光显示面板位于所述曝光镜组的焦面上时，
19、若当前所述第二图案线宽大于前一所述第二图案线宽时，则调整所述待曝光显示面板靠近所述曝光镜组，以减小所述第一间距，其中，所述待曝光显示面板位于所述曝光镜组的焦面上时，对应的所述第二图案线宽最小。
20、可选地，使得沿预设路径曝光时能够在所述待曝光显示面板上曝光出与各所述第二图案线宽对应的曝光图案包括：
21、基于当前所述第一间距，控制所述待曝光显示面板沿第一方向移动；
22、控制所述待曝光显示面板沿第二方向移动，直至位于预设曝光位置；
23、控制所述待曝光显示面板自所述预设曝光位置沿第三方向移动，进行曝光，形成与当前所述第一间距对应的所述第二图案线宽的曝光图案；
24、依次循环前述步骤，对所述待曝光显示面板进行曝光；
25、其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直，所述第一方向垂直于所述待曝光显示面板所在的平面，所述第二方向为所述待曝光显示面板在移动显影工艺中的移动方向或者移动方向的反方向。
26、可选地，所述根据各所述线宽补偿值与所述预设曝光图案线宽，确定所述待曝光显示面板在曝光工艺中各曝光图案对应的各第二图案线宽包括：
27、当所述第一图案线宽大于所述预设显影图案线宽时，所述线宽补偿值为正线宽补偿值，所述第二图案线宽为所述预设曝光图案线宽与所述正线宽补偿值的差值；
28、当所述第一图案线宽小于所述预设显影图案线宽时，所述线宽补偿值为负线宽补偿值，所述第二图案线宽为所述预设曝光图案线宽与所述负线宽补偿值的差值；
29、若所述待曝光显示面板上的光刻胶为正光刻胶，当所述第一图案线宽大于所述预设显影图案线宽时，所述线宽补偿值为正线宽补偿值，所述第二图案线宽为所述预设曝光图案线宽与所述正线宽补偿值之和；
30、当所述第一图案线宽小于所述预设显影图案线宽时，所述线宽补偿值为负线宽补偿值，所述第二图案线宽为所述预设曝光图案线宽与所述负线宽补偿值之和。
31、根据本专利技术的第二方面，提供了一种显示面板的曝光图形补偿装置，用于实现本专利技术任一实施例所述的显示面板的曝光图形补偿方法，所述显示面板的曝光图形补偿装置，包括：
32、曝光光源，用于出射曝光光束；
33、掩模版，位于所述曝光光束传输的路径中，所述曝光光束经过所述掩模版形成曝光图案光束，所述掩模版包括多个相同的掩模图形；
34、曝光镜组，位于所述曝光图案光束传输的路径中，用于对所述曝光图案光束进行整形，形成整形曝光光束；
35、位移台，位于所述整形曝光光束传输的路径中，用于承载待曝光显示面板；
36、控制器，与所述位移台的驱动组件电连接，用于控制所述驱动组件输出驱动信号，以控制所述位移台能够在空间三轴方向上移动；
37、其中，所述掩模版与所述位移台位置相对固定，并能够同步移动，并在同步移动时，所述曝光光束对应覆盖所述掩模版中的一个掩模图形。
38、可选地，还包括：曝光光束形状约束件，包括弧形镂空部和约束件主体，位于所述曝光光源与所述掩模版之间，所述弧形镂空部用于约束所述曝光光源出射的所述曝光光束形成弧形曝光光束，所述曝光光束形状约束件与所述曝光光源位置相对固定。
39、可选地，所述曝光镜组包括：
40、第一调整镜组，位于所述曝光图案光束传输的路径上，用于调整所述曝光图案光束形成第一调整光束；
41、第一反射镜，位于所述第一调整光束传输的路径上，用于反射所述第一调整光束形成第一反射光束；
42、凹面反射本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种显示面板的曝光图形补偿方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法，其特征在于，所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括：
3.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法，其特征在于，所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括：
4.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法，其特征在于，所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括：
5.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法，其特征在于，使得沿预设路径曝光时能够在所述待曝光显示面板上曝光出与各所述第二图案线宽对应的曝光图案包括：
6.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法，其特征在于，所述根据各所述线宽补偿值与预设曝光图案线宽，确定所述待曝光显示面板在曝光工艺中各曝光图案对应的各第二图案线宽包括：
7.一种显示面板的曝光图形补偿装置，其特征在于，用于实现如权利要求1-6任一项所述的显示面板的曝光图形补偿方法，所
8.根据权利要求7所述的显示面板的曝光图形补偿装置，其特征在于，还包括：曝光光束形状约束件，包括弧形镂空部和约束件主体，位于所述曝光光源与所述掩模版之间，所述弧形镂空部用于约束所述曝光光源出射的所述曝光光束形成弧形曝光光束，所述曝光光束形状约束件与所述曝光光源位置相对固定。
9.根据权利要求7或8所述的显示面板的曝光图形补偿装置，其特征在于，所述曝光镜组包括：
10.根据权利要求9所述的显示面板的曝光图形补偿装置，其特征在于，
...【技术特征摘要】
1.一种显示面板的曝光图形补偿方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法，其特征在于，所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括：
3.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法，其特征在于，所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括：
4.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法，其特征在于，所述根据第一预设关系调整曝光镜组与所述待曝光显示面板之间的第一间距包括：
5.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法，其特征在于，使得沿预设路径曝光时能够在所述待曝光显示面板上曝光出与各所述第二图案线宽对应的曝光图案包括：
6.根据权利要求1所述的显示面板的曝光图形补偿方法，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄远科，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：发明
国别省市：
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