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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及钨合金材料,尤其涉及一种钛掺杂的钨合金丝及其制备方法。
技术介绍
1、硅片尺寸变大有利于在不增加设备和人力的情况下增加硅片产出,进而摊低硅片成本;硅片薄片化可以在硅片面积不变的情况下压缩用料,从而降低硅耗和硅成本;但大尺寸及薄片化会影响碎片率,切割难度进一步加大,切割技术门槛进一步提高。为顺应硅片技术的发展潮流,切割技术也将不断进步,从目前情况来看,金刚线切割技术仍将作为未来相当长一段时间内主流的硅片切割技术。
2、金刚线的丝径目前已经接近极限,无法制备出更细的切割工具,以满足大尺寸硅片切割。且现有的钨合金丝仅专注于强度的提升,在高硬度材料-如半导体材料蓝宝石、碳化硅,硅片、磁性材料的切割,高精密器械及高温炉牵引的线缆或绳索等应用中,需要寻找一种同时具备良好的抗下垂性能和扭转性能的钨合金丝,使得其在各个领域的实际应用中满足现实的各种需求。
技术实现思路
1、本专利技术旨在一定程度上解决相关技术问题。为此,本专利技术的目的在于提供一种钛掺杂的钨合金丝及其制备方法,该钨合金丝具有良好的抗下垂性能和扭转性能,能有效提高钨合金丝制备切割工具的效率。
2、为了实现上述目的,本申请采用如下技术方案:一种钛掺杂的钨合金丝,所述钨合金丝包含钨和钛的氧化物;
3、所述钛掺杂的钨合金丝中钛的氧化物含量为20-800ppm。
4、进一步的,所述钨合金丝还包含金属元素m,所述金属元素m为铊、钽、铌、钍、锆、铪、铼、钼中的一种或多种。
6、进一步的,所述钛的氧化物为金红石型的二氧化钛。
7、进一步的,所述钨合金丝的抗拉强度为5000mpa以上。
8、一种钛掺杂的钨合金丝的制备方法,包括:掺杂混料、压制、烧结、轧制、旋锻、拉丝。
9、进一步的,所述掺杂混料包括:将费氏粒度在0.5-5μm的钨粉和费氏粒度为0.5-5μm的钛的氧化物粉均匀混合,形成粉末混合料。
10、进一步的,所述压制包括:采用等静压方式将粉末混合料经过200mpa压力压制成压坯,并在1000-1400℃氢气气氛下对压坯进行预烧结,增加压坯强度。
11、进一步的,所述压制包括:所述烧结包括:将进行预烧结的压坯在1500-2700℃氢气氛围中保温2-10h进行致密化处理,获得相对致密度为90-99%的烧结坯条。
12、进一步的,所述拉丝时各模序的压缩率为5-45%。
13、本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点:本专利技术提供的钨合金丝,包含钨和钛的氧化物;钨合金丝的线径小于等于40μm,抗拉强度为5000mpa以上,同时具备良好的抗下垂性能和扭转性能,能够扩大钨合金丝的应用范围,提高钨合金丝制备切割工具等的成型效率。
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1.一种钛掺杂的钨合金丝,其特征在于,所述钨合金丝包含钨和钛的氧化物;
2.根据权利要求1所述的一种钛掺杂的钨合金丝,其特征在于,所述钨合金丝还包含金属元素M,所述金属元素M为铊、钽、铌、钍、锆、铪、铼、钼中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的一种钛掺杂的钨合金丝,其特征在于,所述钨合金丝的线径小于等于40μm。
4.根据权利要求1所述的一种钛掺杂的钨合金丝,其特征在于,所述钛的氧化物为金红石型的二氧化钛。
5.根据权利要求1所述的一种钛掺杂的钨合金丝,其特征在于,所述钨合金丝的抗拉强度为5000MPa以上。
6.一种钛掺杂的钨合金丝的制备方法,其特征在于,包括:掺杂混料、压制、烧结、轧制、旋锻、拉丝。
7.根据权利要求6所述的一种钛掺杂的钨合金丝的制备方法,其特征在于,所述掺杂混料包括:将费氏粒度在0.5-5μm的钨粉和费氏粒度为0.5-5μm的钛的氧化物粉均匀混合,形成粉末混合料。
8.根据权利要求7所述的一种钛掺杂的钨合金丝的制备方法,其特征在于,所述压制包括:采用等静压方式将粉末混合料
9.根据权利要求6所述的一种钛掺杂的钨合金丝的制备方法,其特征在于,所述烧结包括:将进行预烧结的压坯在1500-2700℃氢气氛围中保温2-10h进行致密化处理,获得相对致密度为90-99%的烧结坯条。
10.根据权利要求6所述的一种钛掺杂的钨合金丝的制备方法,其特征在于,所述拉丝时各模序的压缩率为5-45%。
...【技术特征摘要】
1.一种钛掺杂的钨合金丝,其特征在于,所述钨合金丝包含钨和钛的氧化物;
2.根据权利要求1所述的一种钛掺杂的钨合金丝,其特征在于,所述钨合金丝还包含金属元素m,所述金属元素m为铊、钽、铌、钍、锆、铪、铼、钼中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的一种钛掺杂的钨合金丝,其特征在于,所述钨合金丝的线径小于等于40μm。
4.根据权利要求1所述的一种钛掺杂的钨合金丝,其特征在于,所述钛的氧化物为金红石型的二氧化钛。
5.根据权利要求1所述的一种钛掺杂的钨合金丝,其特征在于,所述钨合金丝的抗拉强度为5000mpa以上。
6.一种钛掺杂的钨合金丝的制备方法,其特征在于,包括:掺杂混料、压制、烧结、轧制、旋锻、拉丝。
7.根据权利要求6所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈伟东,付胜,赖富国,孙超,钱磊,薛泽林,高树雄,冯国德,李灏,陈焕涛,甘桂清,
申请(专利权)人:广东翔鹭新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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