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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种气体分离膜,其包括以下的层:
2.如权利要求1所述的气体分离膜,其中,所述缓冲层(ii)包含含有4.5至9原子%的式(1)的基团的M的表面。
3.如权利要求1或2所述的气体分离膜,其中,各个M独立地为硅、钛、锆或铝。
4.如前述权利要求中任一项所述的气体分离膜,其中,所述缓冲层(ii)的氧-碳(O/C)比为大于0.7至1.7。
5.如前述权利要求中任一项所述的气体分离膜,其中,所述缓冲层(ii)的氧-碳(O/C)比为0.7至1.5。
6.如前述权利要求中任一项所述的气体分离膜,其中,所述辨别层(iii)的氧-硅(O/总Si)比为1.8至100。
7.如前述权利要求中任一项所述的气体分离膜,其中,所述缓冲层(ii)中的M的原子%在所述缓冲层(ii)的整个厚度上基本上恒定,并且所述辨别层(iii)中的M的原子%随着与所述缓冲层(ii)的距离减小而降低。
8.一种用于形成前述权利要求中任一项所述的气体分离膜的方法,其包括以下步骤:
9.如权利要求8所述的方法,其中,步骤(a)在一种或
10.如权利要求8或9所述的方法,其中,步骤(a)在不含氧的气氛中进行,并且步骤(b)在含氧的气氛中进行。
11.如权利要求8至10中任一项所述的方法,其中,通过等离子体处理过程将层(ii)施加到层(i)上。
12.一种气体分离模块,其包含权利要求1至7中任一项所述的气体分离膜。
13.权利要求1至7中任一项所述的气体分离膜或权利要求12所述的气体分离模块用于分离气体和/或净化进料气体的用途。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种气体分离膜,其包括以下的层:
2.如权利要求1所述的气体分离膜,其中,所述缓冲层(ii)包含含有4.5至9原子%的式(1)的基团的m的表面。
3.如权利要求1或2所述的气体分离膜,其中,各个m独立地为硅、钛、锆或铝。
4.如前述权利要求中任一项所述的气体分离膜,其中,所述缓冲层(ii)的氧-碳(o/c)比为大于0.7至1.7。
5.如前述权利要求中任一项所述的气体分离膜,其中,所述缓冲层(ii)的氧-碳(o/c)比为0.7至1.5。
6.如前述权利要求中任一项所述的气体分离膜,其中,所述辨别层(iii)的氧-硅(o/总si)比为1.8至100。
7.如前述权利要求中任一项所述的气体分离膜,其中,所述缓冲层(ii)中的m的原子%在所述缓冲层(ii)的整个厚度上基本上恒定,并且所述辨别层(iii)中的m的原子%随着与所述缓冲层(ii)的距离减小而降低。
8.一种用于形成前述权利要求中任一项所述的气体分离膜的方法,其包括以下步骤:
9.如权利要求8所述的方法,其中...
【专利技术属性】
技术研发人员:S·A·斯塔罗斯京,E·A·M·弗米尔,伊丹雄二郎,
申请(专利权)人:富士胶片制造欧洲有限公司,
类型:发明
国别省市:
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