【技术实现步骤摘要】
本申请涉及信息，尤其涉及一种光罩排程及提前调度算法、设备及介质。
技术介绍
1、晶圆厂生产通常需要使用很多光罩，光罩（或称为掩模版、reticle）是一种用于光刻过程的关键组件，通常需要在不同的生产步骤和机台之间进行运输。为了确保光罩在运输和存储过程中不受到污染，一种名为smif（standard mechanical interface）盒的容器通常被用于包裹光罩。光罩smif盒（reticle smif pod）是一种专为光罩设计的smif盒。它不仅提供物理保护，防止掉落或碰撞造成的损坏，还提供了气密的封装，以防止微粒或其他污染物进入。这些smif盒通常还配备有特定的机械接口，以便能与生产线上的其他设备（如负载口、运输系统等）无缝对接。使用这种高度标准化的容器有助于减少在生产过程中所需的手动操作，从而减少了错误和污染的风险。同时，因为这些容器具有标准的尺寸和接口，所以它们也便于自动化运输和存储。
2、晶圆厂需要在洁净室内设置裸光罩储存器。如果空间足够容纳所有光罩和光罩smif盒，则可以安装光罩盒储存器。如果没有裸光罩储存器，搬运作业的模式就相对简单。当安装了裸光罩储存器后，光罩的运输作业模式就变得复杂。需要考虑将空的光罩盒从光罩盒储存器运送到裸光罩储存器，然后将光罩移动到光刻机台。卸下光刻机台上的光罩时，需要决定是将光罩附带光罩盒移回光罩盒储存器，还是移至裸光罩储存器。这将需要复杂的逻辑来决定最合适的运输模式。
3、无论是从裸光罩储存器中搬出光罩去往机台，或是从光刻机台装载要退出光刻制程的光罩，都需要
4、光罩需要周期性地接受检查设备如iris（integrated reticle inspectionsystem集成掩模检测系统）和starlight（掩模版缺陷扫描系统）的检测，以确保光刻时光罩上没有缺陷。为此，晶圆厂会为光罩设置检查条件，例如每间隔一段时间需要接受检车或每加工一定数量的晶圆后需要接受检查。当光罩达到检查条件后，光罩不能继续执行光刻生产任务，需要进行缺陷检查。
5、在国内已公开的专利中，长江存储提出了一种光罩资源处理方法，包括：响应于光罩调度指令，获取具有光罩盒的多个光刻制程机台，光罩调度指令基于光罩的光罩调度任务生成；确定多个光刻制程机台对应的空光罩盒总量；在空光罩盒总量大于零的情况下，从多个光刻制程机台中选取目标光罩盒，采用目标光罩盒暂存光罩；在空光罩盒总量等于零的情况下，将光罩存储至光罩存储设备。这一光罩资源处理方法声称，在光刻制程机台的空光罩盒总量大于零的情况下，采用光刻制程机台的目标光罩盒存储光罩，可以减少光罩资源进入光罩存储设备的次数，减轻光罩存储设备的负荷。另一方面，采用光刻制程机台作为光罩暂存设备，可以提高光罩搬运效率，避免光罩资源等待过久，从而提高生产效率。
6、然而，专利技术人发现相关技术中至少存在如下技术问题：
7、光罩调度指令基于光罩的光罩调度任务生成。传统上，光罩调度任务是在晶圆批次被分派到光刻机台时触发，我们称之为拉动式触发。这可能导致机台等待而造成产能损失。故本申请则提出一种推动式触发方法，根据光罩的未来使用情况和维护周期提前触发光罩调度任务。调度排产算法事实上已经预测和锁定了晶圆批次的在光刻机台上的分派，在调度排产的计划期内，根据光罩的使用情况和维护生命周期，生成整个计划期内的光罩调度任务。光罩上的缺陷会严重影响光刻的质量。本申请基于光刻机排产调度算法的结果，在排产算法的计划期内，预计光罩需要接受检查的时间，并生成光罩的检查调度。
技术实现思路
1、本申请的一个目的是提供一种光罩排程及提前调度算法、设备及介质，至少用以解决上述
技术介绍
中提出的缺陷。
2、为实现上述目的，本申请的一些实施例提供了以下几个方面：
3、第一方面，本申请的一些实施例还提供了一种光罩排程及提前调度算法，包括：
4、配置光罩进行搬运作业的作业时间；
5、分别计算距离下次集成掩模检测系统和掩模版缺陷扫描系统检查光罩的剩余时间和剩余晶圆加工数量；
6、根据光刻机排产调度结果获取每个光罩的生产作业计划；
7、按时间顺序遍历光罩的未来晶圆加工批次和加工位置，并根据遍历结果生成搬运调度任务；
8、检测前后两个晶圆加工批次之间的时间间隔及加工地点；
9、在遍历光罩的所有光刻作业任务时，集成掩模检测系统和掩模版缺陷扫描系统分别对光罩所加工的晶圆数量进行累积；
10、汇总所有光罩检查任务，输出每个光罩检查任务的检查机台和检查开始时间，同时创建光罩检查调度任务。
11、当系统执行时间到达光照调度任务表中的激活时间后，由光罩搬运系统创建光罩搬运调度指令，分配执行搬运任务。
12、作为本申请的一种优选技术方案：所述光罩在光刻机台、检查机台、光罩存储器之间进行搬运作业。
13、作为本申请的一种优选技术方案：所述生产作业计划包括光罩的作业时间、作业机台和加工晶圆批次种类。
14、作为本申请的一种优选技术方案：所述按时间顺序遍历光罩的目标晶圆加工批次，并根据遍历结果生成搬运调度任务的步骤中，根据遍历结果进行分析，如果后一晶圆批次所处的加工机台不同于前一晶圆批次所处的加工机台，则查询从前一加工机台搬往后一加工机台所需的毛搬运时间和净搬运时间，利用后一晶圆批次的光刻步骤作业开始时间减去毛搬运作业时间，得到推荐搬运时间，利用后一晶圆批次的光刻步骤作业开始时间减去净搬运作业时间，得到最晚搬运时间。然后生成搬运调度任务；
15、所述搬运调度任务包括光罩编号，出发点编号，目的地编号，任务激活时间，推荐搬运时间和最晚搬运时间。
16、作为本申请的一种优选技术方案：所述检测前后两个晶圆加工批次之间的时间间隔及加工地点的步骤中，若前后两个晶圆加工批次之间的时间间隔超过用户配置时间，且加工地点不同，则分别生成两个调度任务；
17、所述两个调度任务中，第一个任务将光罩从前一个晶圆批次的位置调出，调入后一个光刻地点附近的光罩存储器，激活时间和推荐搬运时间均为前一个晶圆批次的光刻作业结束时间，最晚搬运时间为推荐搬运时间后延1小时；第二个调度任务将光罩从光罩存储器调入后一个光刻地点，其推荐搬运时间为后一晶圆批次的光刻步骤作业开始时间前去毛搬运作业时间，最晚搬运时间等于后一晶圆批次的光刻步骤作业开始时间减去净搬运作业时间，激活时间为推荐搬运时间提前半小时。
18、作为本申请的一种优选技术方案：所述在遍历光罩的所有光刻作业任务时，集成掩模检测系统和掩模版缺陷扫描系统分别对光罩所加工的晶圆数量进行累积的步骤中，根据累积结果创建光罩检查任务，所述光罩检查任务包含以下信息：出发点，检查类型，激活时间，剩余待加工的晶圆批次本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种光罩排程及提前调度算法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光罩排程及提前调度算法，其特征在于，所述光罩在光刻机台、检查机台、光罩存储器之间进行搬运作业。
3.根据权利要求1所述的光罩排程及提前调度算法，其特征在于，所述生产作业计划包括光罩的作业时间、作业机台和加工晶圆批次种类。
4.根据权利要求2所述的光罩排程及提前调度算法，其特征在于，所述按时间顺序遍历光罩的目标晶圆加工批次，并根据遍历结果生成搬运调度任务的步骤中，根据遍历结果进行分析，如果后一晶圆批次所处的加工机台不同于前一晶圆批次所处的加工机台，则查询从前一加工机台搬往后一加工机台所需的毛搬运时间和净搬运时间，利用后一晶圆批次的光刻步骤作业开始时间减去毛搬运作业时间，得到推荐搬运时间，利用后一晶圆批次的光刻步骤作业开始时间减去净搬运作业时间，得到最晚搬运时间，然后生成搬运调度任务；
5.根据权利要求2所述的光罩排程及提前调度算法，其特征在于，所述检测前后两个晶圆加工批次之间的时间间隔及加工地点的步骤中，若前后两个晶圆加工批次之间的时间间隔超过用户配置时间，且
6.根据权利要求4所述的光罩排程及提前调度算法，其特征在于，所述在遍历光罩的所有光刻作业任务时，集成掩模检测系统和掩模版缺陷扫描系统分别对光罩所加工的晶圆数量进行累积的步骤中，根据累积结果创建光罩检查任务，所述光罩检查任务包含以下信息：出发点，检查类型，激活时间，剩余待加工的晶圆批次数量，剩余待加工的晶圆片数和剩余待加工的晶圆批次中最紧急的工艺等待时间。
7.根据权利要求1所述的光罩排程及提前调度算法，其特征在于，所述光罩检查调度任务包括出发点，检查类型，激活时间，剩余待加工的晶圆批次数量，剩余待加工的晶圆片数，剩余待加工的晶圆批次中最紧急的工艺等待时间，目的地机台，检查开始时间，推荐搬运时间和最晚搬运时间。
8.根据权利要求1所述的光罩排程及提前调度算法，其特征在于，所述分配执行搬运任务在加工/检查任务开始前完成。
9.一种计算机设备，其特征在于，所述设备包括：一个或多个处理器；以及存储有计算机程序指令的存储器，所述计算机程序指令在被执行时使所述处理器执行如权利要求1-8任意一项所述的方法。
10.一种计算机可读介质，其上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令可被处理器执行以实现如权利要求1-8任意一项所述的方法。
...【技术特征摘要】
1.一种光罩排程及提前调度算法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的光罩排程及提前调度算法，其特征在于，所述光罩在光刻机台、检查机台、光罩存储器之间进行搬运作业。
3.根据权利要求1所述的光罩排程及提前调度算法，其特征在于，所述生产作业计划包括光罩的作业时间、作业机台和加工晶圆批次种类。
4.根据权利要求2所述的光罩排程及提前调度算法，其特征在于，所述按时间顺序遍历光罩的目标晶圆加工批次，并根据遍历结果生成搬运调度任务的步骤中，根据遍历结果进行分析，如果后一晶圆批次所处的加工机台不同于前一晶圆批次所处的加工机台，则查询从前一加工机台搬往后一加工机台所需的毛搬运时间和净搬运时间，利用后一晶圆批次的光刻步骤作业开始时间减去毛搬运作业时间，得到推荐搬运时间，利用后一晶圆批次的光刻步骤作业开始时间减去净搬运作业时间，得到最晚搬运时间，然后生成搬运调度任务；
5.根据权利要求2所述的光罩排程及提前调度算法，其特征在于，所述检测前后两个晶圆加工批次之间的时间间隔及加工地点的步骤中，若前后两个晶圆加工批次之间的时间间隔超过用户配置时间，且加工地点不同，则分别生成两个调度任务；
6.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：史圣镐，
申请(专利权)人：上海朋熙半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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