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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及环保、化工,具体涉及一种废弃研磨剂无害化处理工艺。
技术介绍
1、半导体、硅片加工行业在进行pcb板、硅片生产加工过程中会使用大量研磨剂(研磨液),研磨剂在储存过程中储存容器上部和下部的有部分研磨剂由于工艺要求高会被撇弃,但该研磨剂仍然具有极高的稳定性和良好的抗磨性;同时由于各行业、企业产品要求差异导致研磨剂通用性差,该类废弃的研磨剂遂具有较好的品质但再利用应用于其他机械加工等行业的可能也较低。
2、由于废弃研磨剂不同于研磨废水,其仍然具有和研磨剂同样的性质,化学性质稳定、长期放置不沉淀分层;而研磨废水由于使用后化学性质变化,成分以水为主含有大量铁、硅等其他金属,放置易分层沉淀。
3、研磨废水一般采用混凝的方法既能够将有害物质分离达到无害化处置的目的,但废弃研磨剂由于性质更稳定相较于研磨废水处理难度更大,通过实验发现使用混凝法无法达到对其无害化处理的目的。
4、目前常规工艺采用中和法将废研磨剂与废液配伍后无害化处置,采用该方法在处置过程中研磨剂中的硅类等有害成分不会被分离去除会随着中和后的废水进入蒸发器、膜系统,导致蒸发器结垢、腐蚀,膜污染、堵塞,影响设备健康;同时采用该方法时处理量小,很难实现大规模连续处理。
5、为了避免上述工艺的弊端,保障后续工艺单元、设备高效稳定运行,同时能更高效、彻底处置废研磨剂,开发新的规模化的处置工艺十分有必要,因此本专利技术研究设计出一种废弃研磨剂无害化处理工艺。
技术实现思路
1、因此,
2、为了解决上述问题,本专利技术提供一种废弃研磨剂无害化处理工艺,其包括以下步骤:
3、将收集的废弃研磨液泵入均质池进行均质混匀处理;
4、对均质处理后的所述废弃研磨液进行破稳处理;
5、将破稳处理后的所述废弃研磨液通入絮凝沉淀池,加入絮凝剂絮凝后,进行固液分离,得到废水和泥渣;
6、对所述废水通入生化池进入生化处理,对所述泥渣进行安全填埋。
7、进一步地,所述均质处理包括:
8、控制搅拌速率为300~350r/min,搅拌20~30min。
9、进一步地,所述破稳处理为:向均质处理后的所述废弃研磨液中加入破稳剂,持续搅拌;
10、所述破稳处理中的搅拌速率为300~500r/min,所述搅拌时间不大于20min。
11、进一步地,所述破稳剂包括:含钙物料、含铁物料和高盐废水处理的蒸发浓缩液;
12、所述破稳处理中,所述含钙物料、含铁物料和高盐废水处理的蒸发浓缩液单独或复配加入。
13、进一步地,所述含钙物料包括钙盐和/或含有钙离子的废液,所述含铁物料包括铁盐和/或含有铁离子的废液;
14、优选地,所述钙盐选自氯化钙、碳酸钙、硫酸钙、氢氧化钙中的至少一种;
15、优选地,所述铁盐选自氯化亚铁、硫酸亚铁中的至少一种;
16、所述含钙物料、含铁物料按质量比计,所述质量比为1~5:2~2.5;
17、所述高盐废水处理的蒸发浓缩液、含铁物料按质量比计,所述质量比为11.5~16.5:1.5~2;
18、所述含钙物料、高盐废水处理的蒸发浓缩液、含铁物料按质量比计,所述质量比为1.2~5.8:8.5~15.5:1~3。
19、进一步地,所述破稳处理后的研磨液固液分离前还包括:
20、向所述破稳处理后的研磨液中加入ph调节剂,调节ph至7~9,待所述研磨液体系稳定后再向其中添加絮凝剂并搅拌,固液分离得到废水和泥渣。
21、进一步地,所述ph调节剂采用的酸/碱调节剂包括氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化钙、碳酸钠、氧化钙、盐酸以及硫酸中的一种或多种。
22、进一步地,所述絮凝剂为pfs,所述絮凝剂的投加量为5~10mg/l,添加所述絮凝剂时的搅拌速率为70~100r/min,所述搅拌时间不大于30min;
23、所述絮凝沉淀池搅拌同时还进行曝气。
24、进一步地,所述生化处理包括:水解酸化过程和两段生物接触氧化过程,通过微生物作用将有机物、氨氮彻底分解;所述废水经过生化处理后排放,所述生化处理过程产生的剩余污泥通过污泥浓缩后焚烧处置。
25、进一步地,对所述泥渣进行填埋前,对分离后的泥渣经过检验后进入安全填埋场安全填埋,不满足填埋标准的进行稳定化固化后填埋。
26、本专利技术提供的一种废弃研磨剂无害化处理工艺具有如下有益效果:
27、本专利技术通过将废弃的研磨剂收集后加入到均质池中通过机械搅拌均匀、混合,在均质混合的废研磨剂中投加破稳剂,保持中高速搅拌以进行化学破稳,对破稳后的废弃研磨液中加入酸/碱溶液,待体系ph稳定后投加絮凝剂,进行低速搅拌,一定时间后进行固液分离,将絮凝沉淀池的废水泵入到生化系统处理,通过微生物作用将有机物质和氨氮彻底降解,固液分离后的泥渣进行安全填埋;整个过程中采用废酸、碱,高盐废水浓缩液对废弃研磨液进行破稳处理,破坏其稳定结构,使得有害物质能够高效分离去除,同时采用含铁废液利用铁离子的电中和、吸附架桥作用破稳的同时去除了部分有机物,使生化过程中废水中的有机物和氨氮更好地被降解;同时,该工艺适用于大中型、连续处理,使得废弃研磨液的无害化处置工艺技术实现自动化连续处理;而且该工艺过程中完全采用回收的废弃试剂、酸、碱及中间产品盐溶液,达到了废弃物的资源化利用 。
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1.一种废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
3.根据权利要求1所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
4.根据权利要求3所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
5.根据权利要求4所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
6.根据权利要求1所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
7.根据权利要求6所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
8.根据权利要求1所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
9.根据权利要求1所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
10.根据权利要求1所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
【技术特征摘要】
1.一种废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
3.根据权利要求1所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
4.根据权利要求3所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
5.根据权利要求4所述的废弃研磨剂无害化处理工艺,其特征在于:
<...【专利技术属性】
技术研发人员:王金博,马琦,赵卫强,秦伟,文锐,张腾,
申请(专利权)人:陕西新天地固体废物综合处置有限公司,
类型:发明
国别省市:
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