【技术实现步骤摘要】
本申请属于电镀生产设备，涉及用于电镀装置及电镀生产线。
技术介绍
1、目前，在水平连续电镀设备中，待加工件比如硅片一般需要连续通过多个槽体，而每个槽体内装有不同电镀液体或者纯水，为了防止镀液在槽体进出端过多溢流导致过多地消耗电能，通常在槽体的两侧的进出端设有挡液装置。
2、相关技术中，传统的挡液装置一般包括一对上下弹性材质制成的挡水(挡液)滚轮，工作时滚轮通过相互挤压去除硅片表面镀液。然而，这种传统的结构方式往往会使硅片表面仍有大量液体残留，造成硅片表面氧化不利于质量的控制。此外，现有的挡液装置结构还有可能造成硅片的碎片，降低了产品的良率。
3、因此，迫切需要寻求有效方案以解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少一定程度上解决上述技术问题之一。为此，本专利技术提出一种电镀装置及电镀生产线，可用以减少待镀工件如硅片表面的镀液残留，降低碎片发生的几率。
2、为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
3、根据本专利技术实施例，提供一种电镀装置，其包括：电镀槽体和设于所述电镀槽体内的至少一组吸液组件；
4、所述电镀槽体内设有多个间隔设置的挡液板，相邻的两个所述挡液板之间、所述挡液板与所述电镀槽体的设有进料口的侧壁之间、所述挡液板与所述电镀槽体的设有出料口的侧壁之间中的至少一者设有安装空间，所述吸液组件安装于所述安装空间内；
5、所述吸液组件包括沿上下方向设置的第一吸液辊和第二吸液辊，所述第一吸液辊与所述第
6、所述第一吸液辊和所述第二吸液辊均为弹性辊，所述第一吸液辊和所述第二吸液辊均包括轴件和设置于轴件外侧的包覆层，其中，所述第一吸液辊与所述第二吸液辊中的至少一者的所述轴件与所述包覆层之间具有间隙。
7、另外，根据本专利技术的电镀装置，还可以具有如下附加的技术特征：
8、在其中的一些实施方式中，所述第一吸液辊与所述第二吸液辊中的至少一者用于与驱动机构传动连接；
9、和/或，所述第一吸液辊和所述第二吸液辊均包括第一轴件和第一包覆层，所述第一包覆层包括第一套管和第一吸附层，所述第一吸附层由弹性材料制成；所述第一套管套设于所述第一轴件的外侧，所述第一吸附层包覆于所述第一套管的外侧。
10、在其中的一些实施方式中，所述第一吸液辊位于所述第二吸液辊的上方，所述第一吸液辊中，所述第一套管与所述第一轴件之间具有间隙；
11、所述第二吸液辊中，所述第一轴件用于与所述驱动机构传动连接，且所述第二吸液辊中的所述第一套管与所述第一轴件之间紧密贴合。
12、在其中的一些实施方式中，所述第一轴件采用金属材质，所述第一套管采用pvc材质，所述第一吸附层采用海绵层。
13、在其中的一些实施方式中，所述电镀装置还包括设于所述电镀槽体内的至少一组第一挡液组件，所述第一挡液组件安装于所述安装空间内，且所述第一挡液组件靠近所述挡液板。
14、在其中的一些实施方式中，所述第一挡液组件包括沿上下方向设置的第一挡液辊和第二挡液辊，所述第一挡液辊与所述第二挡液辊的轴线相互平行；
15、所述第一挡液辊与所述第二挡液辊均为弹性辊，所述第一挡液辊与所述第二挡液辊中的至少一者用于与所述驱动机构传动连接。
16、在其中的一些实施方式中，所述第一挡液辊和所述第二挡液辊均包括第二轴件、第二套管和第二吸附层，所述第二吸附层由弹性材料制成；
17、所述第二套管套设于所述第二轴件的外侧，所述第二吸附层包覆于所述第二套管的外侧；
18、所述第一挡液辊及所述第二挡液辊中至少一者的所述第二轴件用于与所述驱动机构传动连接。
19、在其中的一些实施方式中，所述第二轴件采用金属材质，所述第二套管采用pvc材质，所述第二吸附层采用海绵层。
20、在其中的一些实施方式中，所述电镀装置还包括设于所述电镀槽体内的至少一个第二挡液组件，所述第二挡液组件设于相应的所述第一挡液组件的邻近所述挡液板的一侧。
21、在其中的一些实施方式中，所述第二挡液组件包括第一挡件和第二挡件；
22、沿所述第一挡液组件的轴线方向，所述第一挡件和所述第二挡件间隔设于所述第一挡液组件的轴线的两端处。
23、在其中的一些实施方式中，所述第二挡液组件还包括第一固定块和第二固定块；
24、所述第一固定块设有第一调节槽，所述第一挡件沿所述上下方向可移动地设于所述第一调节槽中；
25、所述第二固定块设有第二调节槽，所述第二挡件沿所述上下方向可移动地设于所述第二调节槽中。
26、在其中的一些实施方式中，多个所述挡液板中，相邻的两个所述挡液板之间形成有用于容纳镀液的镀液空间，所述安装空间内未设置镀液；
27、每个所述镀液空间的两侧的所述安装空间内均设置有所述吸液组件、所述第一挡液组件和所述第二挡液组件。
28、在其中的一些实施方式中，所述安装空间内设有安装板，所述吸液组件安装于所述安装板，所述吸液组件位于所述安装空间的中部；
29、所述第一挡液组件安装于所述安装板，且所述第一挡液组件紧密贴合于所述挡液板设置，所述第二挡液组件位于第一挡液组件的邻近所述挡液板的一侧的上方。
30、根据本专利技术实施例，还提供一种电镀生产线，其包括前述的电镀装置。
31、实施本申请的技术方案，至少具有以下有益效果：
32、根据本申请提供的电镀装置，在电镀槽体内设有吸液组件，吸液组件包括第一吸液辊和第二吸液辊，第一吸液辊和第二吸液辊均为弹性辊，第一吸液辊和第二吸液辊均包括轴件和设置于轴件外侧的包覆层，第一吸液辊与第二吸液辊中的至少一者的轴件与包覆层之间具有间隙。由此，通过具有吸液功能的弹性辊的吸液组件的设置，可以吸除待镀工件如硅片表面的镀液，能够有效减少硅片表面镀液残留，从而进一步保证硅片表面质量。并且，通过使轴件与包覆层之间是有间隙的、相对活动的，不仅利于更充分的吸收镀液，而且采用活动式的结构能够降低碎片发生的概率，提高产品的良率。
33、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种电镀装置，其特征在于，包括：电镀槽体和设于所述电镀槽体内的至少一组吸液组件；
2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述第一吸液辊与所述第二吸液辊中的至少一者用于与驱动机构传动连接；
3.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述第一吸液辊位于所述第二吸液辊的上方，所述第一吸液辊中，所述第一套管与所述第一轴件之间具有间隙；
4.根据权利要求1至3任一项所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀装置还包括设于所述电镀槽体内的至少一组第一挡液组件，所述第一挡液组件安装于所述安装空间内，且所述第一挡液组件靠近所述挡液板。
5.根据权利要求4所述的电镀装置，其特征在于，所述第一挡液组件包括沿上下方向设置的第一挡液辊和第二挡液辊，所述第一挡液辊与所述第二挡液辊的轴线相互平行；
6.根据权利要求5所述的电镀装置，其特征在于，所述第一挡液辊和所述第二挡液辊均包括第二轴件、第二套管和第二吸附层，所述第二吸附层由柔性多孔材料制成；
7.根据权利要求4所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀装置还包括设于所述电镀槽体内
8.根据权利要求7所述的电镀装置，其特征在于，所述第二挡液组件包括第一挡件和第二挡件；
9.根据权利要求8所述的电镀装置，其特征在于，所述第二挡液组件还包括第一固定块和第二固定块；
10.根据权利要求7所述的电镀装置，其特征在于，多个所述挡液板中，相邻的两个所述挡液板之间形成有用于容纳镀液的镀液空间，所述安装空间内未设置镀液；
11.根据权利要求10所述的电镀装置，其特征在于，所述安装空间内设有安装板，所述吸液组件安装于所述安装板，所述吸液组件位于所述安装空间的中部；
12.一种电镀生产线，其特征在于，包括权利要求1至11任一项所述的电镀装置。
...【技术特征摘要】
1.一种电镀装置，其特征在于，包括：电镀槽体和设于所述电镀槽体内的至少一组吸液组件；
2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述第一吸液辊与所述第二吸液辊中的至少一者用于与驱动机构传动连接；
3.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述第一吸液辊位于所述第二吸液辊的上方，所述第一吸液辊中，所述第一套管与所述第一轴件之间具有间隙；
4.根据权利要求1至3任一项所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀装置还包括设于所述电镀槽体内的至少一组第一挡液组件，所述第一挡液组件安装于所述安装空间内，且所述第一挡液组件靠近所述挡液板。
5.根据权利要求4所述的电镀装置，其特征在于，所述第一挡液组件包括沿上下方向设置的第一挡液辊和第二挡液辊，所述第一挡液辊与所述第二挡液辊的轴线相互平行；
6.根据权利要求5所述的电镀装置，其特征在于，所述第一挡液辊和所述第二挡液辊均包括第二轴件、第二套...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：江苏启威星装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。