【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片验证领域，尤其涉及一种判定异常芯片的方法、装置、电子设备及存储介质。
技术介绍
1、半导体芯片制造工艺不断发展，单位面积上晶体管数量快速增加，在单个晶体管的漏电无法明显降低的制约下，单颗芯片的总漏电也在快速增加，则晶圆测试时探针承受的电流也在快速增加。而晶圆探针电流耐受值有上限，高低温测试时的芯片总电流容易达到探针的电流耐受上限。且由于制造缺陷造成的高漏电芯片，在进行不同ip(全称：intellectual property，中文:知识产权核心)测试时更容易出现预期之外的大电流，发生烧针的概率进一步增大。为保证量产测试的顺利进行，必须在正常功能测试之前将漏电偏大的芯片筛除掉。
2、然而，现阶段的测试方法仅针对某一引脚进行一次固定档位测试，异常芯片的判定条件为固定的绝对值，没有考虑不同档位之间测量值的变化是否在正常范围内。也没有考虑不同晶圆之间的体质差异，造成了部分芯片在不同电压条件下测试时的电流值增加明显，而这些芯片在后续更高的电压下大概率会出现足以烧针的大电流。因此，容易造成判定条件过宽或者过窄的情况，从而导致对异常芯片的判定不够准确。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术实施例提供一种判定异常芯片方法、装置、电子设备及存储介质，能够有效提高异常芯片判定的准确性。
2、第一方面，本专利技术实施例提供一种判定异常芯片的方法，包括：对第一晶圆上第一芯片的第一引脚，依次施加至少两个检测输入值，得到对应的检测输出值；基于所述检测输出值及预设异常
3、可选的，所述异常判定规则包含的多个异常判定条件，包括以下判定条件中的至少两个：
4、根据所述检测输出值的大小，确定所述第一芯片是否异常；
5、根据相邻两个检测输入值所对应的检测输出值的变化幅度，确定所述第一芯片是否异常；
6、根据相邻两个检测输入值所对应的输出值等级，确定所述第一芯片是否异常。
7、可选的，所述根据所述检测输出值的大小，确定所述第一芯片是否异常，包括：判断各检测输出值的大小是否超出预设输出值阈值；若任一检测输出值的大小超出预设输出值阈值，则确定所述第一芯片为异常芯片。
8、可选的，所述根据相邻两个检测输入值所对应的检测输出值的变化幅度，确定所述第一芯片是否异常，包括：基于所述检测输出值，计算相邻两个检测输入值所对应的检测输出值之间的变化幅度；判断所述变化幅度是否大于预设变化幅度阈值；若所述变化幅度大于预设变化幅度阈值，则确定所述第一芯片为异常芯片。
9、可选的，所述根据相邻两个检测输入值所对应的输出值等级，确定所述第一芯片是否异常，包括：基于预设的输出值等级，确定各检测输入值所对应的检测输出值所对应的输出值等级；基于各检测输出值所对应的输出值等级，计算相邻两个检测输入值所对应的输出值等级之间的跳变幅度；判断所述跳变幅度是否大于预设等级跳变幅度阈值；若所述跳变幅度大于预设等级跳变幅度阈值，则确定所述第一芯片为异常芯片。
10、可选的，所述对第一晶圆上第一芯片的第一引脚，依次施加至少两个检测输入值，得到对应的检测输出值，包括：对第一晶圆上第一芯片的第一引脚，依次施加至少两个检测电压值，得到对应的检测电流值；或者对第一晶圆上第一芯片的第一引脚，依次施加至少两个检测电流值，得到对应的检测电压值。
11、可选的，在对所述第一晶圆上的第一芯片进行异常检测之后，所述方法还包括：判断当前已对所述第一晶圆上进行异常检测的芯片的数量，是否达到预设芯片数量阈值；若达到预设芯片数量阈值，则基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，得到更新后的异常判定规则；基于更新后的异常判定规则，对所述第一晶圆上的剩余未检测芯片进行异常检测。
12、可选的，在检测输入值为电压值的情况下，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：将所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值中的最大值去除，得到剩余检测输出值；提取所述剩余检测输出值中的最大值；判断提取的所述剩余检测输出值中的最大值，是否小于预设输出值阈值；若提取的所述剩余检测输出值中的最大值，小于所述预设输出值阈值，则用提取的所述剩余检测输出值中的最大值，更新所述预设输出值阈值。
13、可选的，在检测输入值为电流值的情况下，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：将所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值中的最小值去除，得到剩余检测输出值；提取所述剩余检测输出值中的最小值；判断提取的所述剩余检测输出值中的最小值，是否大于预设输出值阈值；若提取的所述剩余检测输出值中的最小值，大于所述预设输出值阈值，则用提取的所述剩余检测输出值中的最小值，更新所述预设输出值阈值。
14、可选的，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，计算相邻两个检测输出值的变化幅度值；将所述变化幅度值中的最大值去除，得到剩余变化幅度值；提取所述剩余变化幅度值中的最大值；判断提取的所述剩余变化幅度值中的最大值，是否小于预设变化幅度阈值；若提取的所述剩余变化幅度值中的最大值，小于所述预设变化幅度阈值，则用提取的所述剩余变化幅度值中的最大值，更新所述预设变化幅度阈值。
15、可选的，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：将所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值中的最大值和最小值去除，得到剩余检测输出值；将所述剩余检测输出值进行等级划分，得到新的输出值等级；用所述新的输出值等级，更新预设的输出值等级。
16、可选的，在对所述第一晶圆上的各芯片进行异常检测之后，所述方法还包括：基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，得到再次更新后的异常判定规则；基于再次更新后的异常判定规则，对第二晶圆上的第一芯片的第一引脚，依次施加至少两个检测输入值，得到对应的检测输出值；其中，所述第二晶圆与所述第一晶圆为同一生产批次的晶圆；基于所述第二晶圆上的第一芯片的第一引脚的检测输出值，及所述再次更新后的异常判定规则确定所述第二晶圆上的第一芯片是否异常。
17、可选的，在检测输入值为电压值的情况下，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：计算得到所述第一晶圆上所有芯片检测输出值的中位数和方差；所述中位数加上n倍所述方差作为更新后的预设输出值阈值；其中，所述n为1至5的自然数。
18、可选的，在检本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种判定异常芯片的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述预设异常判定规则包含的多个异常判定条件，包括以下判定条件中的至少两个：
3.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述根据所述检测输出值的大小，确定所述第一芯片是否异常，包括：
4.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述根据相邻两个检测输入值所对应的检测输出值的变化幅度，确定所述第一芯片是否异常，包括：
5.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述根据相邻两个检测输入值所对应的输出值等级，确定所述第一芯片是否异常，包括：
6.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述对第一晶圆上第一芯片的第一引脚，依次施加至少两个检测输入值，得到对应的检测输出值，包括：
7.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，在对所述第一晶圆上的第一芯片进行异常检测之后，所述方法还包括：
8.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，在
9.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，在检测输入值为电流值的情况下，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
10.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
11.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
12.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，
13.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，在检测输入值为电压值的情况下，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
14.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，在检测输入值为电流值的情况下，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
15.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
16.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
17.一种判定异常芯片的装置，其特征在于，包括：
18.根据权利要求17所述的判定异常芯片的装置，其特征在于，所述异常判定模块，包括以下判定单元中的至少两个：
19.根据权利要求18所述的判定异常芯片的装置，其特征在于，所述第一判定单元，具体用于：判断各检测输出值的大小是否超出预设输出值阈值；若任一检测输出值的大小超出预设输出值阈值，则确定所述第一芯片为异常芯片。
20.根据权利要求18所述的判定异常芯片的装置，其特征在于，所述第二判定单元，包括：
21.根据权利要求18所述的判定异常芯片的装置，其特征在于，所述第三判定单元，包括：
22.根据权利要求17所述的判定异常芯片的装置，其特征在于，所述数据采集模块，具体用于：
23.根据权利要求17所述的判定异常芯片的装置，其特征在于，在异常判定模块之后，所述装置还包括：
24.根据权利要求23所述的判定异常芯片的装置，其特征在于，在检测输入值为电压值的情况下，所述第一规则更新单元，具体用于：
25.根据权利要求23所述的判定异常芯片的装置，其特征在于，在检测输入值为电流值的情况下，所述第一规则更新单元，具体用于：
26.根据权利要求23所述的判定异常芯片的装置，其特征在于，所述第一规则更新单元，具体用于：
27.根据权利要求23所述的判定异常芯片的装置，其特征在于，所述第一规则更新单元，还用于：
28.根据权利要求23所述的判定异常芯片的装置，其特征在于，
29.根据权利要求28所述的判定异常芯片的装置，其特征在于，在检测输入...
【技术特征摘要】
1.一种判定异常芯片的方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述预设异常判定规则包含的多个异常判定条件，包括以下判定条件中的至少两个：
3.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述根据所述检测输出值的大小，确定所述第一芯片是否异常，包括：
4.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述根据相邻两个检测输入值所对应的检测输出值的变化幅度，确定所述第一芯片是否异常，包括：
5.根据权利要求2所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述根据相邻两个检测输入值所对应的输出值等级，确定所述第一芯片是否异常，包括：
6.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述对第一晶圆上第一芯片的第一引脚，依次施加至少两个检测输入值，得到对应的检测输出值，包括：
7.根据权利要求1所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，在对所述第一晶圆上的第一芯片进行异常检测之后，所述方法还包括：
8.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，在检测输入值为电压值的情况下，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
9.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，在检测输入值为电流值的情况下，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
10.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
11.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
12.根据权利要求7所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，
13.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，在检测输入值为电压值的情况下，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
14.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，在检测输入值为电流值的情况下，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
15.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，再次更新所述预设异常判定规则中的至少一个异常判定条件，包括：
16.根据权利要求12所述的判定异常芯片的方法，其特征在于，所述基于所述第一晶圆上已检测的芯片的检测输出值，再次更新所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：董浩，
申请(专利权)人：海光云芯集成电路设计上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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