【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检测设备，尤其涉及一种补偿检测设备。
技术介绍
1、近年来半导体的晶体管越来越小，半导体的精度越来越高，使得对工艺制程要求也越来越高，致使良率也随之出现下降。在工厂生产的过程中，次品的产生往往不是在最后一道工序产生的，有可能在生产的第一道工序就已产生，产品一直带着瑕疵继续生产，造成生产资源的浪费，所以当前工厂都会设置工序检查，以对产品进行检测。
2、产品在检查时一般放置在平台上，再通过旋转平台调整产品角度以对产品的角度进行补偿，使得相机能够对准产品并拍摄清晰图像，但现有技术中的产品均通过人工上料，容易造成人工在平台上摆放产品的位置和模板需求位置有偏差，使得工作人员在放置时花费大量时间调整产品的位置，造成了时间的浪费，降低了检测效率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种补偿检测设备，以解决现有技术中产品均通过人工上料，容易造成人工在平台上摆放产品的位置和模板需求位置有偏差，使得工作人员在放置时花费大量时间调整产品的位置，造成了时间的浪费，降低了检测效率的问题。
2、为达上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、本专利技术提供一种补偿检测设备，包括载台以及：
4、第一水平移动组件，上述第一水平移动组件设于上述载台上；
5、旋转平台，上述旋转平台转动设于上述第一水平移动组件的驱动端；上述第一水平移动组件能够驱动上述旋转平台沿第一方向移动；上述旋转平台用于放置待测件；
6、支撑架，上述支撑架
7、对位补偿机构，上述对位补偿机构设于上述支撑架上，用于采集上述旋转平台上的上述待测件的位置信息；
8、第二水平移动组件，上述第二水平移动组件设于上述支撑架上；
9、拍照检测机构，上述拍照检测机构设于上述第二水平移动组件的驱动端；上述第二水平移动组件能够驱动上述拍照检测机构沿第二方向移动。
10、作为上述补偿检测设备的一种可选方案，上述拍照检测机构包括竖直移动组件、角度调节组件和检测相机，上述竖直移动组件设于上述第二水平移动组件的驱动端，上述角度调节组件设于上述竖直移动组件的驱动端；上述竖直移动组件用于驱动上述角度调节组件沿竖直方向移动；上述检测相机设于上述角度调节组件的驱动端，上述角度调节组件用于调节上述检测相机的水平角度。
11、作为上述补偿检测设备的一种可选方案，上述拍照检测机构还包括测距装置，上述测距装置设于上述角度调节组件的驱动端，且上述测距装置与上述检测相机沿水平方向间隔设置。
12、作为上述补偿检测设备的一种可选方案，上述拍照检测机构还包括光源组件，上述光源组件设于上述检测相机上。
13、作为上述补偿检测设备的一种可选方案，上述对位补偿机构包括两个对位相机，两个上述对位相机设于上述支撑架上，且两个上述对位相机沿上述第二方向间隔设置。
14、作为上述补偿检测设备的一种可选方案，上述对位相机沿上述第二方向可移动设于上述支撑架上。
15、作为上述补偿检测设备的一种可选方案，上述支撑架为龙门架，上述对位补偿机构和上述第二水平移动组件均设于上述支撑架的横梁上；上述第一水平移动组件沿竖直方向与上述横梁相对设置，以使上述旋转平台能够穿设于上述横梁的下方。
16、作为上述补偿检测设备的一种可选方案，上述第一水平移动组件设于上述横梁沿上述第二方向的中间位置处。
17、作为上述补偿检测设备的一种可选方案，上述对位补偿机构和上述第二水平移动组件分别位于上述横梁沿上述第一方向的相对两侧。
18、作为上述补偿检测设备的一种可选方案，上述补偿检测设备还包括支撑框架和气浮平台，上述气浮平台设于上述支撑框架上，上述载台设于上述气浮平台上。
19、本专利技术的有益效果为：
20、该补偿检测设备包括载台、第一水平移动组件、旋转平台、支撑架、对位补偿机构、第二水平移动组件和拍照检测机构。第一水平移动组件设于载台上，旋转平台转动设于第一水平移动组件的驱动端，第一水平移动组件能够驱动旋转平台沿第一方向移动，且旋转平台用于放置待测件，从而待测件的自转角度以及在第一方向上的空间位置能够得到调整。同时，支撑架设于载台上，第二水平移动组件设于支撑架上，拍照检测机构设于第二水平移动组件的驱动端，且第二水平移动组件能够驱动拍照检测机构沿第二方向移动，从而拍照检测机构在第二方向上的位置能够得到调整，进而通过第一水平移动组件、第二水平移动组件和旋转平台能够使得拍照检测机构采集待测件的任意方位角度的图像。其中，对位补偿机构设于支撑架上，用于采集旋转平台上的待测件的位置信息，从而旋转平台能够先依据待测件的位置信息驱动待测件旋转，使得待测件相对于模板摆正，再通过第一水平移动组件调节待测件在第一方向的位置，以及通过第二水平移动组件调节拍照检测机构在第二方向的位置，使得拍照检测机构能够对准待测件。该补偿检测设备降低了待测件的位置补偿难度，无需工作人员在放置时花费大量时间调整，避免了时间的浪费，提高了检测效率，且第一水平移动组件和第二水平移动组件分开设置，降低了机械结构移动对待测件位置的影响，提高了待测件的检测精度。
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1.一种补偿检测设备，其特征在于，包括载台(1)以及：
2.根据权利要求1所述的补偿检测设备，其特征在于，所述拍照检测机构(7)包括竖直移动组件(71)、角度调节组件(72)和检测相机(73)，所述竖直移动组件(71)设于所述第二水平移动组件(6)的驱动端，所述角度调节组件(72)设于所述竖直移动组件(71)的驱动端；所述竖直移动组件(71)用于驱动所述角度调节组件(72)沿竖直方向移动；所述检测相机(73)设于所述角度调节组件(72)的驱动端，所述角度调节组件(72)用于调节所述检测相机(73)的水平角度。
3.根据权利要求2所述的补偿检测设备，其特征在于，所述拍照检测机构(7)还包括测距装置(74)，所述测距装置(74)设于所述角度调节组件(72)的驱动端，且所述测距装置(74)与所述检测相机(73)沿水平方向间隔设置。
4.根据权利要求2所述的补偿检测设备，其特征在于，所述拍照检测机构(7)还包括光源组件(75)，所述光源组件(75)设于所述检测相机(73)上。
5.根据权利要求1所述的补偿检测设备，其特征在于，所述对位补偿机
6.根据权利要求5所述的补偿检测设备，其特征在于，所述对位相机(51)沿所述第二方向可移动设于所述支撑架(4)上。
7.根据权利要求1所述的补偿检测设备，其特征在于，所述支撑架(4)为龙门架，所述对位补偿机构(5)和所述第二水平移动组件(6)均设于所述支撑架(4)的横梁(41)上；所述第一水平移动组件(2)沿竖直方向与所述横梁(41)相对设置，以使所述旋转平台(3)能够穿设于所述横梁(41)的下方。
8.根据权利要求7所述的补偿检测设备，其特征在于，所述第一水平移动组件(2)设于所述横梁(41)沿所述第二方向的中间位置处。
9.根据权利要求7所述的补偿检测设备，其特征在于，所述对位补偿机构(5)和所述第二水平移动组件(6)分别位于所述横梁(41)沿所述第一方向的相对两侧。
10.根据权利要求1～9任一项所述的补偿检测设备，其特征在于，所述补偿检测设备还包括支撑框架(8)和气浮平台(9)，所述气浮平台(9)设于所述支撑框架(8)上，所述载台(1)设于所述气浮平台(9)上。
...【技术特征摘要】
1.一种补偿检测设备，其特征在于，包括载台(1)以及：
2.根据权利要求1所述的补偿检测设备，其特征在于，所述拍照检测机构(7)包括竖直移动组件(71)、角度调节组件(72)和检测相机(73)，所述竖直移动组件(71)设于所述第二水平移动组件(6)的驱动端，所述角度调节组件(72)设于所述竖直移动组件(71)的驱动端；所述竖直移动组件(71)用于驱动所述角度调节组件(72)沿竖直方向移动；所述检测相机(73)设于所述角度调节组件(72)的驱动端，所述角度调节组件(72)用于调节所述检测相机(73)的水平角度。
3.根据权利要求2所述的补偿检测设备，其特征在于，所述拍照检测机构(7)还包括测距装置(74)，所述测距装置(74)设于所述角度调节组件(72)的驱动端，且所述测距装置(74)与所述检测相机(73)沿水平方向间隔设置。
4.根据权利要求2所述的补偿检测设备，其特征在于，所述拍照检测机构(7)还包括光源组件(75)，所述光源组件(75)设于所述检测相机(73)上。
5.根据权利要求1所述的补偿检测设备，其特征在于，所述对位补偿机构(5)包括两个对位相机(51)，两个所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王忠祥，陆豪亮，管兵，冯杰，
申请(专利权)人：苏州凌云视界智能设备有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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