【技术实现步骤摘要】
本技术涉及臭氧制备领域，具体而言，涉及一种高纯度高浓度多层板式臭氧发生器及其系统。
技术介绍
1、臭氧是绿色环保的强氧化剂，臭氧用于水质消毒，化工氧化，污水处理，废气处理，空气灭菌和高级氧化等工艺应用。同时臭氧在光伏ald镀膜，硅片清洗，面板清洗，半导体制造中同样有很大的应用。在清洁的半导体环境中，臭氧与各种气体发生反应，产生al2o3，zro2，hfo2和la2o3金属氧化物，以实现薄膜沉积工艺。臭氧在半导体制造过程中也很有用，去除碳氢化合物和清洗，臭氧处理完后会变成氧气，不会产生其他副产物。臭氧在半导体工业中对臭氧发生器的要求很高，臭氧必须非常纯净；然而目前的一些臭氧发生器使用弹性密封和电极材料，会污染臭氧，无法得到一种纯度很高的臭氧气体。
2、现有技术中的臭氧发生器为单层分体式板式臭氧发生器，所述臭氧发生器需要为每个单元都配备独立的氧气进气管道、臭氧出气管道，当把这些臭氧发生器组合运行时，过多且冗余的管道会占用大量空间，提高了臭氧制备成本。
3、因此，需要一种或多种方法解决上述问题。
4、需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本技术的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种高纯度高浓度多层板式臭氧发生器，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。
2、根据本技术的一个方面，提供一种高纯度高浓度多层板式臭氧发
3、所述高压组件包括第一高压组件、第二高压组件，所述第一高压组件、第二高压组件为圆形板式结构，所述第一高压组件包括第一结构部件、第一封板，所述第一结构部件与第一封板固定连接，所述第二高压组件包括第二结构部件、第二封板，所述第二结构部件与第二封板固定连接；
4、所述低压组件包括第一低压组件、第二低压组件、第三结构部件，所述第一低压组件、第二低压组件为圆形板式结构，所述第一低压组件包括第三封板，所述第二低压组件包括第四封板，所述第三封板、第四封板与所述第三结构部件固定连接，所述第三封板与所述第一封板边缘固定连接以使所述第一高压组件与所述第一低压组件组合形成第一密闭放电室，所述第一高压组件与所述第一低压组件间包含预设间隔以形成第一放电间隙区域，所述第四封板与所述第二封板边缘固定连接以使所述第二高压组件与所述第二低压组件组合形成第二密闭放电室，所述第二高压组件与所述第二低压组件间包含预设间隔以形成第二放电间隙区域；
5、所述氧气臭氧管路包括第一氧气管路、第二氧气管路、臭氧管路，所述第一氧气管路与所述第一高压组件的第一结构部件连接，所述第一氧气管路用于将氧气输入至所述第一密闭放电室中，所述第二氧气管路与所述第二高压组件的第二结构部件连接，所述第二氧气管路用于将氧气输入至所述第二密闭放电室中，所述臭氧管路与所述低压组件的第三结构部件连接，所述臭氧管路用于将在所述第一放电间隙区域、第二放电间隙区域生成的臭氧输出；
6、所述冷却管路包括第一高压侧冷却单元、第二高压侧冷却单元、第一低压侧冷却单元、第二低压侧冷却单元，所述第一高压侧冷却单元与所述第一高压组件的第一结构部件连接，所述第一高压侧冷却单元用于基于所述第一高压侧冷却单元中流动的冷却液对所述第一高压组件冷却，所述第二高压侧冷却单元与所述第二高压组件的第二结构部件连接，所述第二高压侧冷却单元用于基于所述第二高压侧冷却单元中流动的冷却液对所述第二高压组件冷却，所述第一低压侧冷却单元、第二低压侧冷却单元与所述低压组件的第三结构部件连接，所述第一低压侧冷却单元用于基于所述第一低压侧冷却单元中流动的冷却液对所述第一低压组件冷却，所述第二低压侧冷却单元用于基于所述第二低压侧冷却单元中流动的冷却液对所述第二低压组件冷却。
7、在本技术的一种示例性实施例中，在所述高压组件的所述第一高压组件还包括第一阻挡介质陶瓷板、第一导热粘合剂、第二导热粘合剂、第一高压隔离绝缘件、第一高压导电元件、第一导电导热粘合剂、第二高压导电元件，其中：
8、所述第一高压隔离绝缘件通过所述第二导热粘合剂所述第一封板连接，所述第一高压隔离绝缘件用于将所述第二导热粘合剂传导的热量经所述第一封板传导至所述第一结构部件中的第一高压侧冷却单元中循环的冷却液；
9、所述第一高压导电元件为预设厚度的金属银层，所述第一高压导电元件通过高温烧结到第一高压隔离绝缘件的表面，所述第一高压导电元件通过第一导电导热粘合剂与所述第二高压导电元件粘接在一起，所述第一高压导电元件用于为所述第二高压导电元件供电；
10、所述第二高压导电元件为预设厚度的金属银层，所述第二高压导电元件通过高温烧结到第一阻挡介质陶瓷板的表面，以使所述第二高压导电元件在所述第一阻挡介质陶瓷板上均匀分布；
11、所述第一导热粘合剂设置粘接在所述第一导电导热粘合剂的外圈，所述第一导热粘合剂将所述第一导电导热粘合剂、第一高压导电元件、第二高压导电元件的外圈包围以防止所述第一导电导热粘合剂、第一高压导电元件、第二高压导电元件被在所述第一放电间隙区域生成的臭氧氧化腐蚀。
12、在本技术的一种示例性实施例中，在所述高压组件的所述第二高压组件还包括第二阻挡介质陶瓷板、第三导热粘合剂、第四导热粘合剂、第二高压隔离绝缘件、第三高压导电元件、第二导电导热粘合剂、第四高压导电元件，其中：
13、所述第二高压隔离绝缘件通过所述第四导热粘合剂所述第二封板连接，所述第二高压隔离绝缘件用于将所述第四导热粘合剂传导的热量经所述第二封板传导至所述第二结构部件中的第二高压侧冷却单元中循环的冷却液；
14、所述第三高压导电元件为预设厚度的金属银层，所述第三高压导电元件通过高温烧结到第二高压隔离绝缘件的表面，所述第三高压导电元件通过第二导电导热粘合剂与所述第四高压导电元件粘接在一起，所述第三高压导电元件用于为所述第四高压导电元件供电；
15、所述第四高压导电元件为预设厚度的金属银层，所述第四高压导电元件通过高温烧结到第二阻挡介质陶瓷板的表面，以使所述第四高压导电元件在所述第二阻挡介质陶瓷板上均匀分布；
16、所述第三导热粘合剂设置粘接在所述第二导电导热粘合剂的外圈，所述第三导热粘合剂将所述第二导电导热粘合剂、第三高压导电元件、第四高压导电元件的外圈包围以防止所述第二导电导热粘合剂、第三高压导电元件、第四高压导电元件被在所述第二放电间隙区域生成的臭氧氧化腐蚀。
17、在本技术的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器的还包括第一高压电缆孔、第二高压电缆孔、第三高压电缆孔、第四高压电缆孔、第五高压电缆孔、第六高压电缆孔、第七高压电缆孔、第八高压电缆孔，其中：
18、所述第一高压电缆孔、第二高压电缆孔为所述第一结构部件中的孔，所述第三高压电缆孔为所述第二导热粘合剂层中的孔，所本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种高纯度高浓度多层板式臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器包括高压组件、低压组件、氧气臭氧管路，其中：
2.如权利要求1所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器还包括冷却管路，所述冷却管路包括第一高压侧冷却单元、第二高压侧冷却单元、第一低压侧冷却单元、第二低压侧冷却单元，所述第一高压侧冷却单元与所述第一高压组件的第一结构部件连接，所述第一高压侧冷却单元用于基于所述第一高压侧冷却单元中流动的冷却液对所述第一高压组件冷却，所述第二高压侧冷却单元与所述第二高压组件的第二结构部件连接，所述第二高压侧冷却单元用于基于所述第二高压侧冷却单元中流动的冷却液对所述第二高压组件冷却，所述第一低压侧冷却单元、第二低压侧冷却单元与所述低压组件的第三结构部件连接，所述第一低压侧冷却单元用于基于所述第一低压侧冷却单元中流动的冷却液对所述第一低压组件冷却，所述第二低压侧冷却单元用于基于所述第二低压侧冷却单元中流动的冷却液对所述第二低压组件冷却；
3.如权利要求2所述的臭氧发生器，其特征在于，在所述高压组件的所述第二高压组件还包括第二阻挡介质陶瓷板、第三导热粘合剂、第四导热
4.如权利要求3所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器的还包括第一高压电缆孔、第二高压电缆孔、第三高压电缆孔、第四高压电缆孔、第五高压电缆孔、第六高压电缆孔、第七高压电缆孔、第八高压电缆孔，其中：
5.如权利要求4所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器的低压组件的第一低压组件还包括第五导热粘合剂、第三导电导热粘合剂、第一低压导电元件，其中：
6.如权利要求5所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器的低压组件的第二低压组件还包括第六导热粘合剂、第四导电导热粘合剂、第二低压导电元件，其中：
7.如权利要求6所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器的氧气臭氧管路还包括氧气入口总管：
8.如权利要求7所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器的还包括第一低压侧孔、第二低压侧孔、第三低压侧孔、第四低压侧孔，其中：
9.如权利要求2所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器的冷却管路中：
10.一种高纯度高浓度多层板式臭氧发生系统，所述臭氧发生系统由多个如权利要求1-9任意一项所述的高纯度高浓度多层板式臭氧发生器叠加组成，其特征在于，所述臭氧发生系统包括：
...【技术特征摘要】
1.一种高纯度高浓度多层板式臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器包括高压组件、低压组件、氧气臭氧管路，其中：
2.如权利要求1所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器还包括冷却管路，所述冷却管路包括第一高压侧冷却单元、第二高压侧冷却单元、第一低压侧冷却单元、第二低压侧冷却单元，所述第一高压侧冷却单元与所述第一高压组件的第一结构部件连接，所述第一高压侧冷却单元用于基于所述第一高压侧冷却单元中流动的冷却液对所述第一高压组件冷却，所述第二高压侧冷却单元与所述第二高压组件的第二结构部件连接，所述第二高压侧冷却单元用于基于所述第二高压侧冷却单元中流动的冷却液对所述第二高压组件冷却，所述第一低压侧冷却单元、第二低压侧冷却单元与所述低压组件的第三结构部件连接，所述第一低压侧冷却单元用于基于所述第一低压侧冷却单元中流动的冷却液对所述第一低压组件冷却，所述第二低压侧冷却单元用于基于所述第二低压侧冷却单元中流动的冷却液对所述第二低压组件冷却；
3.如权利要求2所述的臭氧发生器，其特征在于，在所述高压组件的所述第二高压组件还包括第二阻挡介质陶瓷板、第三导热粘合剂、第四导热粘合剂、第二高压隔离绝缘件、第三高压导电元件、第二导电导热粘合剂、第四高压导电元件...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨小强，
申请(专利权)人：天津奥尔斯曼新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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