【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体装备领域，涉及一种用于ald镀膜设备的晶圆传输装置。
技术介绍
1、集成电路产业目前已成为世界经济发展的重要支柱。在摩尔定律的引导下， 5nm技术的产品已进入市场，进一步提高了逻辑器件的运算处理速度。而随着技术节点进一步缩小，传统半导体中栅极电介质层的厚度已受限并被控制在几个纳米量级，硅基器件结构的深宽比和复杂性进一步增大，这对于可控地沉积高保型且均匀的薄膜提出了更高要求。原子层沉积(atomic layer deposition，简称“ald”)技术在沉积层的厚度控制、异形材料表面均匀程度、表面无针孔等方面具有明显优势，适用于28nm以下的半导体领域领域以及对于镀膜厚度、均匀性有较高要求或基板形状不规则等高难度镀膜应用领域，而要想实现高效率稳定的ald镀膜工艺，必须配套一台高效率高精确度的晶圆传输装置，目前，高效率可靠的晶圆的传输装置一直被国外半导体厂商所垄断。
2、国家给第三代半导体行业带来发展机遇，同时5g、新能源汽车、快充技术以及微机电系统(mems)的广泛应用，ald市场容量将迅速扩大。当前美国频繁加征关税，贸易形势严峻，摩擦涉及行业呈扩大趋势，美国垄断的第三代半导体生产工艺随时面临被限制出口的危机，用于半导体领域晶圆传输装置的引进也面临着种种危机。
3、根据国内半导体产业的发展前景及需求，需加快国产化产品产业化落地，亟需研制一台具有自主知识产权且可满足ald镀膜需求的自动化晶圆传输设备，解决半导体行业“卡脖子”难题，减少对其他国家的技术依赖，填补行业空白。
【技术保护点】
1.一种用于ALD镀膜设备的晶圆传输装置包括真空腔体1、传送模块2、动力模块3；所述传送模块2与动力模块3串联，分布于真空腔体1内部，通过动力模块3中的伺服电机303驱动进行晶圆传输作业，动力模块3中的伺服电机303位于真空腔体1外部。
2.根据权利要求1所述的一种用于ALD镀膜设备的晶圆传输装置，其特征在于，所述的真空腔体1，包括晶圆腔体101、腔盖铰链102、晶圆腔盖103、玻璃视窗104、腔盖把手105、导轨腔体106、导轨腔盖组成107；所述晶圆腔体101与导轨腔体106通过螺钉连接；所述晶圆腔体101与晶圆腔盖103之间使用腔盖铰链102连接，可以自由开合，晶圆腔盖103上设计有玻璃视窗104与腔盖把手105。所述导轨腔体106与导轨腔盖107之间使用螺钉连接，工作过程中保持关闭状态。
3.所述的传送模块2包括导轨架201、钢带从动轮202、钢带203、导轨204、晶圆机械手205、机械手臂206、钢带调节轴207、导轮208、传动座209、位置感应发射器210、位置感应接收器组成211；所述钢带203通过钢从动轮202安装在导轨架201上，通过
4.所述的动力模块包括减速器301、伺服电机302、控制器303、动密封块304、传动轴305、轴承306、钢带主动轮307、轴承封盖308组成；所述伺服电机302、减速器301与传动轴305串联，控制器303安装在伺服电机302后侧，所述传动轴305一侧通过轴承306与传动腔体106连接，同时使用动密封块304保证密封性，另一侧通过轴端封盖308与传动腔体106连接，所述钢带主动轮307安装在传动轴305上，钢带203安装在钢带主动轮307上，当伺服电机302工作时，通过减速器301带动传动轴305传动，同时带动钢带主动轮307转动，钢带203开始运动，从而带动传动座209运动，位于传动座上的机械臂206带动晶圆机械手205开始工作，从而实现传片动作。
5.根据权利要求1所述的一种用于ALD镀膜设备的晶圆传输装置，其特征在于，本专利技术使用钢带传动，可以实现精确控制传送位置的同时保证较高的传送速度。
6.根据权利要求1所述的一种用于ALD镀膜设备的晶圆传输装置，其特征在于，本专利技术使用特制陶瓷导轮与特殊处理的钢制导轨，导轨表面进过特殊处理，无需使用额外的润滑剂，符合半导体设备的设计标准。
7.根据权利要求1所述的一种用于ALD镀膜设备的晶圆传输装置，其特征在于，本专利技术将伺服电机与减速器外置，通过动密封块与真空腔体连接，保证真空密封性的同时，延长了电机使用寿命，减小了腔体体积。
...【技术特征摘要】
1.一种用于ald镀膜设备的晶圆传输装置包括真空腔体1、传送模块2、动力模块3；所述传送模块2与动力模块3串联，分布于真空腔体1内部，通过动力模块3中的伺服电机303驱动进行晶圆传输作业，动力模块3中的伺服电机303位于真空腔体1外部。
2.根据权利要求1所述的一种用于ald镀膜设备的晶圆传输装置，其特征在于，所述的真空腔体1，包括晶圆腔体101、腔盖铰链102、晶圆腔盖103、玻璃视窗104、腔盖把手105、导轨腔体106、导轨腔盖组成107；所述晶圆腔体101与导轨腔体106通过螺钉连接；所述晶圆腔体101与晶圆腔盖103之间使用腔盖铰链102连接，可以自由开合，晶圆腔盖103上设计有玻璃视窗104与腔盖把手105。所述导轨腔体106与导轨腔盖107之间使用螺钉连接，工作过程中保持关闭状态。
3.所述的传送模块2包括导轨架201、钢带从动轮202、钢带203、导轨204、晶圆机械手205、机械手臂206、钢带调节轴207、导轮208、传动座209、位置感应发射器210、位置感应接收器组成211；所述钢带203通过钢从动轮202安装在导轨架201上，通过钢带调节轴207调节张紧度，所述晶圆机械手205与机械手臂206通过螺钉连接，机械手臂206安装在传动座209上，所述导轨204有2个，对称安装在导轨架201两侧，所述导轮208通过螺钉固定在传动座209上，导轮共有4个，均布在传动座209两侧，同时卡在导轨204上，使导轨座209可以在导轨204上平稳移动，所述传动座209固定在钢带203上，通过钢带203的运动带动传动座209的移动，所述位置感应发射器210安装在传动座209后方，...
【专利技术属性】
技术研发人员：国政，梁安阁，聂翔，
申请(专利权)人：青岛四方思锐智能技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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