【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及检测，具体涉及一种检测设备及其气路稳压方法。
技术介绍
1、在对一些平面型待测件（例如晶圆）进行检测过程中，通常是通过真空吸附或气浮的方式将待测件固定在承载装置上，然后利用检测组件检测待测件表面是否存在缺陷。在使用气浮类型的承载装置对待测件进行固定时，还需要在待测件的边缘设置限位件对待测件进行定位或夹紧。为了方便对边缘的限位件进行控制，通常采用气动的方式对限位件进行控制，使限位件能够沿着承载装置的径向方向移动。
2、但是，通过气动方式对限位件进行控制时，通常对气动系统的控制精度有较高的要求，当控制精度较差时，限位件过慢移动会降低承载装置的使用效率，限位件过快移动则容易碰撞待测件，从而导致待测件损坏；另外，气动系统还用于为气浮类的承载装置进行供气，当吹气的气压不稳定时，会导致承载装置上方的待测件放置不稳定。
技术实现思路
1、本专利技术主要解决的技术问题是提供一种检测设备及其气路稳压方法，以通过稳定气路的压力达到提高控制精度的目的。
2、根据第一方面，一种实施例中提供一种检测设备，包括：
3、承载装置，所述承载装置用于支撑被测件，并带动被测件移动以使被测件被检测；所述承载装置上设有多个通气孔，所述多个通气孔通过输出气体使被测件悬浮在承载装置上面；
4、限位件，所述限位件可移动地设置在承载装置的边缘；当所述限位件位于第一位置时，所述限位件固定被测件以限制被测件相对承载装置移动，当所述承载装置带动被测件移动时限位件随被测件移动
5、气路系统，所述气路系统包括管路和多个减压阀，所述管路的进气口连接气源，所述管路的出气口分别连接承载装置和限位件；所述管路用于提供预定压力的气体至承载装置的通气孔，和提供预定压力的气体驱使所述限位件在第一位置和第二位置之间移动；多个所述减压阀依次分布在管路中，用于将气压逐级减小至所述管路的出气口所需要的预定压力；以及
6、检测组件，所述检测组件用于检测被测件是否存在缺陷。
7、一个实施例中，沿从所述管路的进气口到出气口的气流传输方向，多个所述减压阀的量程逐级减小。
8、一个实施例中，所述减压阀的出气压力值位于减压阀量程的三分之一至三分之二之间。
9、一个实施例中，所述减压阀的出气压力值为减压阀量程的中间值。
10、一个实施例中，所述管路的出气口包括连接承载装置的第一出气口和连接限位件的第二出气口，所述第一出气口与支撑被测件区域的多个通气孔连通，所述限位件包括卡头和气动驱动件，所述第二出气口与气动驱动件连通，所述气动驱动件驱动卡头在第一位置和第二位置之间移动。
11、根据第二方面，一种实施例中提供一种检测设备的气路稳压方法，包括：
12、通过管路的进气口连通气源，并输入第一压力的气体；
13、将第一压力的气体通过分布在所述管路中的多个减压阀逐级减压至第二压力的气体；
14、将第二压力的气体输送至承载装置的通气孔，以使被测件悬浮在所述承载装置上面；以及
15、将第二压力的气体输送至限位件，以驱动所述限位件在第一位置和第二位置之间移动。
16、一个实施例中，沿从所述管路的进气口到出气口的气流传输方向，多个所述减压阀的量程逐级减小。
17、一个实施例中，将所述减压阀的出气压力值与其量程的关系设置为：所述减压阀的出气压力值位于减压阀的量程的三分之一至三分之二之间。
18、根据第三方面，一种实施例中提供一种检测设备的气路稳压方法，包括：
19、检测用户输入的第一压力和第二压力，第一压力是进入管路的进气口的气体压力值，第二压力是预定所述管路的出气口输出的气体压力值；
20、计算第一压力和第二压力之间的压力倍率，所述压力倍率等于第一压力除以第二压力后取整；
21、根据压力倍率确定减压阀的数量；
22、在确定减压阀的数量后，确定每个减压阀输出气体的压力，且最靠近所述管路的出气口的减压阀输出气体的压力等于第二压力；
23、根据每个减压阀输出气体的压力确定减压阀的量程；
24、将减压阀从所述管路的进气口到出气口沿气流传输方向，按照量程逐级减小的方式依次排布在管路中。
25、一个实施例中，所述根据压力倍率确定减压阀的数量，包括：
26、检测用户输入的预定参数，所述预定参数为沿气流传输方向相邻的前一个所述减压阀出气压力和后一个所述减压阀出气压力的倍率值，或所述预定参数为所述减压阀的进气压力和出气压力的倍率值；
27、根据预定参数和压力倍率确定减压阀的数量。
28、依据上述实施例的一种检测设备，包括用于支撑并带动被测件移动的承载装置、用于限制被测件相对承载装置移动的限位件以及由主要由管路和多个减压阀组合搭建而成的气路系统，管路的进气口连接气源，管路的出气口分别与限位件和设置于承载装置的通气孔连通，用于向两者提供预定压力的气体；多个减压阀依次分布在管路中，用以将气压逐级减小至管路的出气口所需要的预定压力。通过对减压阀的具体数量、进出气压力、量程以及排布方式等进行选择配置，可有效提高气路系统的气压控制精度，实现气体的高精度稳定输出，从而为精确平稳地控制限位件移动以及将被测件稳定在承载装置上面创造有利条件。
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1.一种检测设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，沿从所述管路的进气口到出气口的气流传输方向，多个所述减压阀的量程逐级减小。
3.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述减压阀的出气压力值位于减压阀量程的三分之一至三分之二之间。
4.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述减压阀的出气压力值为减压阀量程的中间值。
5.如权利要求1-4中任一项所述的检测设备，其特征在于，所述管路的出气口包括连接承载装置的第一出气口和连接限位件的第二出气口，所述第一出气口与支撑被测件区域的多个通气孔连通，所述限位件包括卡头和气动驱动件，所述第二出气口与气动驱动件连通，所述气动驱动件驱动卡头在第一位置和第二位置之间移动。
6.如权利要求1所述的检测设备的气路稳压方法，其特征在于，包括：
7.如权利要求6所述的气路稳压方法，其特征在于，沿从所述管路的进气口到出气口的气流传输方向，多个所述减压阀的量程逐级减小。
8.如权利要求7所述的气路稳压方法，其特征在于，将所述减压阀的出气压力值
9.如权利要求1所述的检测设备的气路稳压方法，其特征在于，包括：
10.如权利要求9所述的气路稳压方法，其特征在于，所述根据压力倍率确定减压阀的数量，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，沿从所述管路的进气口到出气口的气流传输方向，多个所述减压阀的量程逐级减小。
3.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述减压阀的出气压力值位于减压阀量程的三分之一至三分之二之间。
4.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述减压阀的出气压力值为减压阀量程的中间值。
5.如权利要求1-4中任一项所述的检测设备，其特征在于，所述管路的出气口包括连接承载装置的第一出气口和连接限位件的第二出气口，所述第一出气口与支撑被测件区域的多个通气孔连通，所述限位件包括卡头和气动驱动件，所述第二出气口与气动驱...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，张龙，黄有为，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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