【技术实现步骤摘要】
本技术属于真空镀膜，具体是涉及到一种真空镀膜夹持机构及真空镀膜机。
技术介绍
1、真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。在真空镀膜时，面对镀膜基材的多样化，基片夹持旋转机构尤为重要，现有的基片夹持旋转机构无法兼具稳定性和便捷性，操作复杂费时间，不适合工作人员在真空腔室内部操作。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是提供一种夹载稳定、装卸便捷的真空镀膜夹持机构以及装备该真空镀膜夹持机构的真空镀膜机。
2、本技术的内容包括一种真空镀膜夹持机构，包括载台和基片架，载台包括安装架、弹性连接组件以及至少两个夹条，两个夹条分别设置在安装架底部的相对两侧，夹条与安装架通过弹性连接组件可移动连接，安装架与夹条之间形成安装空间，弹性连接组件的弹性复原力驱动夹条与安装架夹紧，基片架可拆卸安装在安装空间内，并沿平行于夹条的方向滑动进出安装空间。
3、更进一步地，弹性连接组件包括连接件和弹性件，连接件穿设在安装架上，且一端固定连接夹条，弹性件连接在连接件与安装架之间。
4、更进一步地，连接件为螺杆，弹性件为套设在螺杆上的弹簧，弹簧两端分别与螺杆的头部和安装架抵接。
5、更进一
6、更进一步地，还包括限位结构，限位结构设置在载台与基片架之间。
7、更进一步地，限位结构包括设置在夹条上设有凹槽，以及设置在基片架上与凹槽对齐的凸点，凹槽的延伸方向与基片架的滑动方向相同，且长度小于夹条的长度，基片架上设有两个凸点且两个凸点的距离与凹槽的长度匹配。
8、更进一步地，包括传动组件，传动组件包括依次连接的齿轮、磁流体和传动轴，齿轮与外部动力源连接，传动轴一端连接在安装架的中心。
9、更进一步地，还包括设置在基片架上方的加热件。
10、更进一步地，还包括围设在安装架四周的遮罩。
11、一种真空镀膜机，包括动力源以及上述任一项的真空镀膜夹持机构，真空镀膜夹持机构与动力源连接。
12、本技术的有益效果：
13、本技术通过弹性连接组件的弹性复原力使夹条与安装架处于夹紧状态，弹性连接组件可以带动夹条相对安装架移动，调节弹性连接组件使夹条远离安装架，基片架滑动出入夹条与安装架之间的安装空间，松开弹性连接件，在弹性复原力的驱动下夹条靠近安装架并夹紧，实现基片架装载或卸载；当基片架装载在夹条与安装架之间的安装空间时，通过弹性连接组件的弹性复原力保证夹条与安装架夹紧，从而保证基片架稳定夹持在载台上。本技术中基片架的装载和卸载方便快捷，适合工作人员在真空腔室内部操作。
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1.一种真空镀膜夹持机构，其特征是，包括载台(1)和基片架(2)，所述载台(1)包括安装架(11)、弹性连接组件(13)以及至少两个夹条(12)，两个所述夹条(12)分别设置在所述安装架(11)底部的相对两侧，所述夹条(12)与所述安装架(11)通过所述弹性连接组件(13)可移动连接，所述安装架(11)与所述夹条(12)之间形成安装空间，所述弹性连接组件(13)的弹性复原力驱动所述夹条(12)与所述安装架(11)夹紧，所述基片架(2)可拆卸安装在所述安装空间内，并沿平行于所述夹条(12)的方向滑动进出所述安装空间。
2.如权利要求1所述的真空镀膜夹持机构，其特征是，所述弹性连接组件(13)包括连接件和弹性件，所述连接件穿设在所述安装架(11)上，且一端连接所述夹条(12)，所述弹性件连接在所述连接件与所述安装架(11)之间。
3.如权利要求2所述的真空镀膜夹持机构，其特征是，所述连接件为螺杆(131)，所述弹性件为套设在所述螺杆(131)上的弹簧(132)，所述弹簧(132)两端分别与所述螺杆(131)的头部和所述安装架(11)抵接。
4.如权
5.如权利要求1所述的真空镀膜夹持机构，其特征是，还包括限位结构，所述限位结构设置在所述载台(1)与所述基片架(2)之间。
6.如权利要求5所述的真空镀膜夹持机构，其特征是，所述限位结构包括设置在所述夹条(12)上设有凹槽(121)，以及设置在所述基片架(2)上与所述凹槽(121)对齐的凸点(22)，所述凹槽(121)的延伸方向与所述基片架(2)的滑动方向相同，且长度小于所述夹条(12)的长度，所述基片架(2)上设有两个所述凸点(22)且两个所述凸点(22)的距离与所述凹槽(121)的长度匹配。
7.如权利要求1-6任一项所述的真空镀膜夹持机构，其特征是，还包括传动组件(3)，所述传动组件包括依次连接的齿轮(31)、磁流体(32)和传动轴(33)，所述齿轮(31)与外部动力源连接，所述传动轴(33)一端连接在所述安装架(11)的中心。
8.如权利要求1-6任一项所述的真空镀膜夹持机构，其特征是，还包括设置在所述基片架(2)上方的加热件(4)。
9.如权利要求1-6任一项所述的真空镀膜夹持机构，其特征是，还包括围设在所述安装架(11)四周的遮罩(5)。
10.一种真空镀膜机，其特征是，包括动力源以及如权利要求1-9任一项所述的真空镀膜夹持机构，所述真空镀膜夹持机构与所述动力源连接。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜夹持机构，其特征是，包括载台(1)和基片架(2)，所述载台(1)包括安装架(11)、弹性连接组件(13)以及至少两个夹条(12)，两个所述夹条(12)分别设置在所述安装架(11)底部的相对两侧，所述夹条(12)与所述安装架(11)通过所述弹性连接组件(13)可移动连接，所述安装架(11)与所述夹条(12)之间形成安装空间，所述弹性连接组件(13)的弹性复原力驱动所述夹条(12)与所述安装架(11)夹紧，所述基片架(2)可拆卸安装在所述安装空间内，并沿平行于所述夹条(12)的方向滑动进出所述安装空间。
2.如权利要求1所述的真空镀膜夹持机构，其特征是，所述弹性连接组件(13)包括连接件和弹性件，所述连接件穿设在所述安装架(11)上，且一端连接所述夹条(12)，所述弹性件连接在所述连接件与所述安装架(11)之间。
3.如权利要求2所述的真空镀膜夹持机构，其特征是，所述连接件为螺杆(131)，所述弹性件为套设在所述螺杆(131)上的弹簧(132)，所述弹簧(132)两端分别与所述螺杆(131)的头部和所述安装架(11)抵接。
4.如权利要求1所述的真空镀膜夹持机构，其特征是，还包括调节件(14)，所述调节件(14)穿设在所述安装架(11)上且下端与所述夹条(12)抵接。
5.如...
【专利技术属性】
技术研发人员：来华杭，顾子莺，刘杰，谢斌斌，朱冰冰，李建镇，
申请(专利权)人：杭纳半导体装备杭州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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