【技术实现步骤摘要】
本技术属于显微镜，尤其涉及一种干涉显微镜。
技术介绍
1、干涉显微物镜是最常用的显微物镜。干涉显微物镜通常包括显微物镜、分光平板和参考平板，具有结构紧凑等优点。现有技术中，为了提高分辨率，需要将微球透镜薄膜放置在待测物体的顶面，微球透镜薄膜通过在微球阵列表面涂覆上一层薄膜制得，微球透镜薄膜需要与待测物体直接接触。这种技术方案存在的缺陷是只能测量物体表面的干涉条纹，但是对于具有一定深度的孔，不能测量孔底部的干涉条纹。因此，有必要提供一种干涉显微镜。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种干涉显微镜，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术所采用的技术方案是：一种干涉显微镜，包括光源、扩束镜、第一分光镜、干涉物镜、第一聚光镜、反射镜、第二聚光镜和ccd相机；所述扩束镜和第一分光镜依次设置在光源的发射端，所述干涉物镜设置在第一分光镜的透射光路上，所述第一聚光镜设置在第一分光镜的反射光路上，所述反射镜设置在第一聚光镜的焦点位置处，所述第二聚光镜设置在反射镜的反射光路上，所述ccd相机设置在第二聚光镜的焦点位置处；
3、所述干涉物镜包括同轴依次设置的物镜组、参考镜和第二分光镜，所述物镜组设于靠近第一分光镜的一侧，所述参考镜上靠近物镜组的一面为参考面，所述第二分光镜上靠近参考镜的一面为分光面，所述参考面和分光面的整个平面上镀有分光膜。
4、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述第二聚光镜的聚光倍率为0.5。
5、
6、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述参考镜和第二分光镜的厚度相等。
7、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述分光膜为可见光波段的分光膜。
8、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述第二分光镜的直径为0.25毫米至5毫米。
9、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述扩束镜为定倍数扩束镜。
10、在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案，所述第一分光镜为透射式光栅分光镜。
11、本技术具有的有益效果为：此干涉显微镜利用白色led光源，在参考面和分光面的整个平面上镀有分光膜，不仅使视场范围更大，而且被测样品不需要直接接触干涉物镜，被测样品与干涉物镜之间的最远距离可达10毫米。
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1.一种干涉显微镜，其特征在于：包括光源(1)、扩束镜(2)、第一分光镜(3)、干涉物镜(4)、第一聚光镜(5)、反射镜(6)、第二聚光镜(7)和CCD相机(8)；所述扩束镜(2)和第一分光镜(3)依次设置在光源(1)的发射端，所述干涉物镜(4)设置在第一分光镜(3)的透射光路上，所述第一聚光镜(5)设置在第一分光镜(3)的反射光路上，所述反射镜(6)设置在第一聚光镜(5)的焦点位置处，所述第二聚光镜(7)设置在反射镜(6)的反射光路上，所述CCD相机(8)设置在第二聚光镜(7)的焦点位置处；
2.如权利要求1所述的一种干涉显微镜，其特征在于：所述第二聚光镜(7)的聚光倍率为0.5。
3.如权利要求1所述的一种干涉显微镜，其特征在于：所述光源(1)为白色LED光源。
4.如权利要求1所述的一种干涉显微镜，其特征在于：所述参考镜(42)和第二分光镜(43)的厚度相等。
5.如权利要求1所述的一种干涉显微镜，其特征在于：所述分光膜为可见光波段的分光膜。
6.如权利要求1所述的一种干涉显微镜，其特征在于：所述第二分光镜(43)
7.如权利要求1所述的一种干涉显微镜，其特征在于：所述扩束镜(2)为定倍数扩束镜。
8.如权利要求1所述的一种干涉显微镜，其特征在于：所述第一分光镜(3)为透射式光栅分光镜。
...【技术特征摘要】
1.一种干涉显微镜，其特征在于：包括光源(1)、扩束镜(2)、第一分光镜(3)、干涉物镜(4)、第一聚光镜(5)、反射镜(6)、第二聚光镜(7)和ccd相机(8)；所述扩束镜(2)和第一分光镜(3)依次设置在光源(1)的发射端，所述干涉物镜(4)设置在第一分光镜(3)的透射光路上，所述第一聚光镜(5)设置在第一分光镜(3)的反射光路上，所述反射镜(6)设置在第一聚光镜(5)的焦点位置处，所述第二聚光镜(7)设置在反射镜(6)的反射光路上，所述ccd相机(8)设置在第二聚光镜(7)的焦点位置处；
2.如权利要求1所述的一种干涉显微镜，其特征在于：所述第二聚光镜(7)的聚光倍率为0.5。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：陈恩静，
申请(专利权)人：西安恩科微纳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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