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【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于极高真空离子泵领域,具体说是一种适用于离子泵的可移动式高压电源装置与实现方法。
技术介绍
1、传统的离子泵高压控制装置是一个装置只能安装在机架或桌面,通过220v市电作为离子泵高压控制装置输入,无法在停电或者无法接入市电时使用离子泵,那么对于系统真空度维持有特殊需求场合就无法使用传统的离子泵高压控制装置,比如高端测量仪器。
技术实现思路
1、为了满足离子泵高压装置的可移动需求,本专利技术设计了一种适用于新型极高真空离子泵的可移动式高压电源装置与方法,实现了在无外接电源的情况仍然能够维持系统真空30天以上,使用简单,操作方便且稳定性高。
2、本专利技术为实现上述目的所采用的技术方案是:
3、一种可移动式离子泵高压电源装置,包括顺次相连的移动供电单元、总控开关单元、dc-dc变换单元以及高压输出单元,还包括分别与移动供电单元和高压输出单元相连的电压和电流处理单元,所述高压输出单元通过高压线缆与离子泵相连,所述移动供电单元、总控开关单元、dc-dc变换单元、高压输出单元以及电压和电流处理单元均设于移动高压电源壳体内。
4、所述移动供电单元包括:顺次相连的移动供电线缆及插座u2、移动供电电源u1以及充电单元u3,所述移动供电电源u1通过移动供电线缆及插座u2与总控开关单元相连。
5、所述总控开关单元包括船型开关u4和状态指示灯u5,所述船型开关u4分别与移动供电线缆及插座u2和dc-dc变换单元相连,船型开关u4与dc-dc变换
6、所述dc-dc变换单元包括顺次相连的低压侧转换单元u9、pwm控制单元u10、变压器单元u11、倍压整流电路单元u12,所述低压侧转换单元u9与总控开关单元相连,倍压整流电路单元u12与高压输出单元相连,所述变压器单元u11的低压侧与pwm控制单元u10相连,高压侧与倍压整流电路单元u12相连。
7、所述高压输出单元包括高压输出插座u6、高压联锁u7、接地单元u8,所述高压输出插座u6的一侧通过其插针与dc-dc转换单元相连,另一侧通过高压线缆与离子泵相连,所述高压输出插座u6依次通过高压联锁u7和接地单元u8接地,所述接地单元u8还与dc-dc变换单元相连,所述高压输出插座u6和接地单元u8分别通过螺母固定在移动高压电源壳体内。
8、所述电压和电流处理单元包括电压处理单元u13和电流处理单元u14,所述电压处理单元u13和电流处理单元u14均分别与移动供电线缆及插座u2和高压输出单元相连。
9、一种可移动式离子泵高压电源装置的实现方法,包括以下步骤:
10、移动供电单元为整个可移动式高压电源装置供电;
11、总控开关单元控制高压电源输出的启动和停止;
12、dc-dc变换单元将移动供电单元输入电压进行升压处理;
13、高压输出单元通过高压电缆将dc-dc变换单元升压后的高压电源送至离子泵;
14、电压和电流处理单元显示当前离子泵输出的电压和电流参数。
15、所述dc-dc变换单元执行以下步骤:
16、低压侧转换单元u9通过dc转换器将电压进行转换,供dc-dc变换单元使用;
17、pwm控制单元u10为变压器单元u11提供pwm信号;
18、变压器单元u11通过变比提升电源的电压;
19、倍压整流电路单元u12通过高频变压器和倍压电路实现高压输出。
20、所述高压输出单元执行以下步骤:
21、高压输出插座u6将dc-dc变换单元转换后的电源输出给离子泵;
22、高压联锁u7通过联锁端子将移动高压装置与离子泵进行互锁,以确保可移动式高压电源装置与离子泵等电位;
23、接地单元u8将可移动式高压电源装置接地。
24、本专利技术具有以下有益效果及优点:
25、1.本专利技术能够实现在系统无法接入市电情况下保持离子泵工作状态,维持系统极高真空。
26、2.本专利技术移动高压装置体积小、重量轻、容量大,能够使得离子泵在极高真空状态下工作30天以上。
27、3.本专利技术能够实现最大输出电流10ua,可满足3l-2000l全系列型号的离子泵在极高真空下的持续工作需求。
28、4.本专利技术实现了在移动式为离子泵提供电能的同时,还能够在壳体实时显示离子泵的工作电参数,可视性强。
29、5.本专利技术移动高压装置实现了一键式高压输出控制,操作简单、便捷。
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1.一种可移动式离子泵高压电源装置,其特征在于,包括顺次相连的移动供电单元、总控开关单元、DC-DC变换单元以及高压输出单元,还包括分别与移动供电单元和高压输出单元相连的电压和电流处理单元,所述高压输出单元通过高压线缆与离子泵相连,所述移动供电单元、总控开关单元、DC-DC变换单元、高压输出单元以及电压和电流处理单元均设于移动高压电源壳体内。
2.根据权利要求1所述的一种可移动式离子泵高压电源装置,其特征在于,所述移动供电单元包括:顺次相连的移动供电线缆及插座U2、移动供电电源U1以及充电单元U3,所述移动供电电源U1通过移动供电线缆及插座U2与总控开关单元相连。
3.根据权利要求1所述的一种可移动式离子泵高压电源装置,其特征在于,所述总控开关单元包括船型开关U4和状态指示灯U5,所述船型开关U4分别与移动供电线缆及插座U2和DC-DC变换单元相连,船型开关U4与DC-DC变换单元之间设有状态指示灯U5。
4.根据权利要求1所述的一种可移动式离子泵高压电源装置,其特征在于,所述DC-DC变换单元包括顺次相连的低压侧转换单元U9、PWM控制单元U
5.根据权利要求1所述的一种可移动式离子泵高压电源装置,其特征在于,所述高压输出单元包括高压输出插座U6、高压联锁U7、接地单元U8,所述高压输出插座U6的一侧通过其插针与DC-DC转换单元相连,另一侧通过高压线缆与离子泵相连,所述高压输出插座U6依次通过高压联锁U7和接地单元U8接地,所述接地单元U8还与DC-DC变换单元相连,所述高压输出插座U6和接地单元U8分别通过螺母固定在移动高压电源壳体内。
6.根据权利要求1所述的一种可移动式离子泵高压电源装置,其特征在于,所述电压和电流处理单元包括电压处理单元U13和电流处理单元U14,所述电压处理单元U13和电流处理单元U14均分别与移动供电线缆及插座U2和高压输出单元相连。
7.一种可移动式离子泵高压电源装置的实现方法,其特征在于,包括以下步骤:
8.根据权利要求7所述的一种可移动式离子泵高压电源装置的实现方法,其特征在于,所述DC-DC变换单元执行以下步骤:
9.根据权利要求7所述的一种可移动式离子泵高压电源装置的实现方法,其特征在于,所述高压输出单元执行以下步骤:
...【技术特征摘要】
1.一种可移动式离子泵高压电源装置,其特征在于,包括顺次相连的移动供电单元、总控开关单元、dc-dc变换单元以及高压输出单元,还包括分别与移动供电单元和高压输出单元相连的电压和电流处理单元,所述高压输出单元通过高压线缆与离子泵相连,所述移动供电单元、总控开关单元、dc-dc变换单元、高压输出单元以及电压和电流处理单元均设于移动高压电源壳体内。
2.根据权利要求1所述的一种可移动式离子泵高压电源装置,其特征在于,所述移动供电单元包括:顺次相连的移动供电线缆及插座u2、移动供电电源u1以及充电单元u3,所述移动供电电源u1通过移动供电线缆及插座u2与总控开关单元相连。
3.根据权利要求1所述的一种可移动式离子泵高压电源装置,其特征在于,所述总控开关单元包括船型开关u4和状态指示灯u5,所述船型开关u4分别与移动供电线缆及插座u2和dc-dc变换单元相连,船型开关u4与dc-dc变换单元之间设有状态指示灯u5。
4.根据权利要求1所述的一种可移动式离子泵高压电源装置,其特征在于,所述dc-dc变换单元包括顺次相连的低压侧转换单元u9、pwm控制单元u10、变压器单元u11、倍压整流电路单元u12,所述低压侧转换单元u9与总控开关单元相连,倍压整流电路单元u12...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶琳琳,袁方,佟雷,汪良,
申请(专利权)人:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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