【技术实现步骤摘要】
本公开涉及oled制造的，具体而言，涉及一种金属掩模版的材料属性等效方法、仿真方法及制作方法。
技术介绍
1、oled(organic light-emitting diode)即有机发光二极管，其通常包括基板上能够产生红色(r)，绿色(g)和蓝色(b)的有机发光层，上述有机层通常是通过蒸镀的方式进行沉积，在目前oled量产线的蒸镀设备中，采用fmm(fine metal mask)即精密金属掩膜版，来实现rgb像素发光层的分别沉积。
2、在利用精密金属掩膜版进行蒸镀之前，需要对精密金属掩膜版进行张网拉伸操作，由于精密金属掩模版厚度极薄、精度需求极高，如何对精密金属掩膜版进行补偿设计，以提高张网精度，是现有技术中难以解决的问题。
技术实现思路
1、为解决或改善现有技术存在的上述问题，本公开实施例第一方面提供一种金属掩模版的材料属性等效方法，这种方法包括：
2、基于金属掩模版具有孔的区域，建立金属掩模版的单元模型；
3、设置单元模型的基础材料属性；
4、获取单元模型在预设荷载作用下的第一形变量；
5、建立与单元模型尺寸相同，并且不具有孔的实体模型；
6、设置实体模型的初始材料属性；
7、获取实体模型在预设荷载作用下的第二形变量，调节初始材料属性，以使第二形变量趋近或等同于第一形变量，根据调节后的初始材料属性获得等效材料属性。
8、在上述等效方法中，与现有技术显著不同的是，不再采用完整的带有
9、可选的，基础材料属性包括金属掩模版所选用的invar箔材的密度、弹性模量和泊松比。
10、可选的，初始材料属性包括：初始弹性模量、初始剪切模量和初始泊松比；等效材料属性包括等效弹性模量、等效剪切模量和等效泊松比。
11、可选的，预设荷载选自：
12、x向拉力荷载，将单元模型或实体模型x向的一端设为固定，另一端施加拉力荷载；
13、y向拉力荷载，将单元模型或实体模型y向的一端设为固定，另一端施加拉力荷载；
14、z向拉力荷载，将单元模型或实体模型z向的一端设为固定，另一端施加拉力荷载；
15、剪切力荷载，对单元模型或实体模型的对角施加xy向的剪切力荷载；
16、其中，z向为单元模型或实体模型的厚度方向，x向、y向和z向互相垂直。
17、可选的，等效方法进一步地包括：
18、重复获取第二形变量，并且调节x向初始弹性模量、y向初始弹性模量和xy向初始泊松比中的至少之一，直至x向拉力荷载或y向拉力荷载作用下的第二形变量趋近或等同于相同荷载下的第一形变量；
19、根据调节后的初始材料属性获取x向等效弹性模量、y向等效弹性模量和xy向等效泊松比。
20、可选的，等效方法进一步地包括：
21、调节z向初始弹性模量，以使z向拉力荷载作用下的第二形变量趋近或等同于相同荷载下的第一形变量；
22、根据调节后的初始材料属性获取z向等效弹性模量。
23、可选的，等效方法进一步地包括：
24、调节xy向初始剪切模量，以使剪切力荷载下的第二形变量趋近或等同于相同荷载下的第一形变量；
25、根据调节后的初始材料属性获取xy向等效剪切模量。
26、上述等效方法旨在获得的等效材料属性包括等效弹性模量、等效剪切模量和等效泊松比。通过上述可选方案，可以获得x向等效弹性模量、y向等效弹性模量、xy向等效泊松比以及xy向等效剪切模量，同时包括z向等效弹性模量的其他方向上的等效材料属性变化较小或者不变，因此通过上述方案足以实现金属掩膜版的高精度属性等效。
27、可选的，在预设荷载为x向拉力荷载、y向拉力荷载或剪切力荷载的条件下，获取第一形变量和第二形变量x向和y向的分量；在预设荷载为z向拉力荷载的条件下，获取第一形变量和第二形变量x向、y向和z向的分量。
28、本公开实施例第二方面提供一种金属掩模版张网拉伸的仿真方法，该方法具体采用前述第一方面技术方案及其任一项优选方案中所获取的等效材料属性，对金属掩模版进行仿真运算，以获得金属掩模版张网拉伸后的仿真结果；
29、上述仿真结果包括金属掩模版张网拉伸后的形变情况、应力情况和应变情况中的至少一种。
30、本公开实施例第三方面提供一种金属掩模版的制作方法，这种制作方法具体包括前述第二方面技术方案中所描述的仿真方法。
31、综上所述，上述等效方法、仿真方法及制作方法，相比现有技术，可以更好的模拟精密金属掩模版的形态，在此基础上仿真、制作的精度均大大提高。
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1.一种金属掩模版的材料属性等效方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的材料属性等效方法，其特征在于，所述基础材料属性包括所述金属掩模版所选用的Invar箔材的密度、弹性模量和泊松比。
3.根据权利要求1所述的材料属性等效方法，其特征在于，所述初始材料属性包括：初始弹性模量、初始剪切模量和初始泊松比；所述等效材料属性包括等效弹性模量、等效剪切模量和等效泊松比。
4.根据权利要求3所述的材料属性等效方法，其特征在于，所述预设荷载选自：
5.根据权利要求4所述的材料属性等效方法，其特征在于，包括：
6.根据权利要求4所述的材料属性等效方法，其特征在于，包括：
7.根据权利要求4所述的材料属性等效方法，其特征在于，包括：
8.根据权利要求4至7任一项所述的材料属性等效方法，其特征在于，在所述预设荷载为x向拉力荷载、y向拉力荷载或剪切力荷载的条件下，获取所述第一形变量和所述第二形变量x向和y向的分量；在所述预设荷载为z向拉力荷载的条件下，获取所述第一形变量和所述第二形变量x向、y向和z向的分量。
9.一种金属掩模版张网拉伸的仿真方法，其特征在于，根据权利要求1至8任一项获得的所述等效材料属性，对金属掩模版进行仿真运算，以获得金属掩模版张网拉伸后的仿真结果；
10.一种金属掩模版的制作方法，其特征在于，包括权利要求9所述的仿真方法。
...【技术特征摘要】
1.一种金属掩模版的材料属性等效方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的材料属性等效方法，其特征在于，所述基础材料属性包括所述金属掩模版所选用的invar箔材的密度、弹性模量和泊松比。
3.根据权利要求1所述的材料属性等效方法，其特征在于，所述初始材料属性包括：初始弹性模量、初始剪切模量和初始泊松比；所述等效材料属性包括等效弹性模量、等效剪切模量和等效泊松比。
4.根据权利要求3所述的材料属性等效方法，其特征在于，所述预设荷载选自：
5.根据权利要求4所述的材料属性等效方法，其特征在于，包括：
6.根据权利要求4所述的材料属性等效方法，其特征在于，包括：...
【专利技术属性】
技术研发人员：王广成，甘帅燕，
申请(专利权)人：江苏高光半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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